一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，包括底座，所述底座左右两侧均固定连接有滑动槽，所述滑动槽中间位置滑动连接有滑块，所述底座顶部前后两端固定连接有安装板，前端所述安装板顶部固定连接有第二电机且第二电机输出端固定连接有紧固旋套。本实用新型专利技术中，将蓝宝石晶圆棒一端安装在紧固旋套上，另一端安装在环形槽内，使用激光定位器对固定好的蓝宝石晶圆棒进行定位，激光定位器对蓝宝石晶圆棒中心轴可以进行测量，可以判断出蓝宝石晶圆棒中心轴是否在装置上，启动蓝宝石晶圆棒两侧的第一电机对蓝宝石晶圆棒两侧进行滚圆，第二电机对蓝宝石晶圆棒进行旋转，可以对晶圆棒更加均匀的滚圆。以对晶圆棒更加均匀的滚圆。以对晶圆棒更加均匀的滚圆。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置


[0001]本技术涉及蓝宝石晶圆棒加工
，尤其涉及一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置。

技术介绍

[0002]随着人们对外延芯片的需求量越来越大，对衬底用蓝宝石晶圆棒质量指标的要求也越来越高，在蓝宝石晶棒生产工艺中，由于工艺的差异以及实际操作中的误差，很容易使掏出的晶棒的结构不够规则，难以直接应用于实际生产中，因此，为了提高滚圆精度，就需要对晶棒进行滚圆操作。
[0003]目前，现有的蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置在对蓝宝石晶圆棒进行滚圆时会出现偏心操作，导致滚圆工艺出现滚圆不均匀，影响产品质量，同时对晶圆棒的中心的定位有偏差，对蓝宝石晶圆棒的中心轴不能进行准确的定位。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，包括底座，所述底座左右两侧均固定连接有滑动槽，所述滑动槽中间位置滑动连接有滑块，所述滑块顶部均固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)左右两侧均固定连接有滑动槽(19)，所述滑动槽(19)中间位置滑动连接有滑块(20)，所述滑块(20)顶部均固定连接有支撑座(10)，所述支撑座(10)顶部均固定连接有液压缸(9)，所述底座(1)顶部中心偏左右两侧均设置有滚圆辊(7)，所述滚圆辊(7)上下两端均固定连接有第一电机(6)，两个所述第一电机(6)之间固定连接有连接板(11)，所述底座(1)顶部前后两端固定连接有安装板(15)，前端所述安装板(15)顶部固定连接有第二电机(14)且第二电机(14)输出端固定连接有紧固旋套(16)，后端所述安装板(15)顶部固定连接有固定块(2)。2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，其特征在于：所述滑动槽(19)内壁前端均固定连接有导轨电机(17)，所述导轨电机(17)输出端均固定连接有导杆(18)。3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆棒滚...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓伟雄，张金穗，邓伟强，黄俊惠，李国军，
申请(专利权)人：深圳晶至新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：