温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置,包括底座,所述底座左右两侧均固定连接有滑动槽,所述滑动槽中间位置滑动连接有滑块,所述底座顶部前后两端固定连接有安装板,前端所述安装板顶部固定连接有第二电机且第二电机输出端固定连接有紧固旋套...该专利属于深圳晶至新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳晶至新材料科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置,包括底座,所述底座左右两侧均固定连接有滑动槽,所述滑动槽中间位置滑动连接有滑块,所述底座顶部前后两端固定连接有安装板,前端所述安装板顶部固定连接有第二电机且第二电机输出端固定连接有紧固旋套...