电容式感测装置及其制作方法制造方法及图纸

技术编号:3889940 阅读:173 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术有关于一种电容式感测装置及其制作方法,尤指一种可利用CMOS工艺大量制造并借此降低生产成本的电容式感测装置及其制作方法,其主要于一基板上依序设有一定位层、一绝缘层及一金属层,在定位层的预设位置上设有一开口部,金属层设有多个通孔,而定位层及绝缘层间形成两侧凹型态样的空腔部,并将一振膜卡设于空腔部内,以成为一悬浮式振膜,借此,在热胀冷缩时,空腔部内的振膜将可完全形变,以避免内应力的产生,而影响到感测的准确性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电容式感测装置,其特征在于,其构造包括有:一基板,其上表面设有一定位层,并于预设位置上设有一开口部;一第一绝缘层,设置在该定位层上,该第一绝缘层与该定位层间形成两侧凹型态样的一空腔部,一振膜将卡设在该空腔部内;及一第一金属层,设在该第一绝缘层上方,设有多个通孔,并且该振膜设于该通孔与该开口部间的相对位置上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:梁伟成林昶伸
申请(专利权)人:芯巧科技股份有限公司梁伟成
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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