下载电容式感测装置及其制作方法的技术资料

文档序号:3889940

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本发明有关于一种电容式感测装置及其制作方法,尤指一种可利用CMOS工艺大量制造并借此降低生产成本的电容式感测装置及其制作方法,其主要于一基板上依序设有一定位层、一绝缘层及一金属层,在定位层的预设位置上设有一开口部,金属层设有多个通孔,而定位...
该专利属于芯巧科技股份有限公司;梁伟成所有,仅供学习研究参考,未经过芯巧科技股份有限公司;梁伟成授权不得商用。

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