本实用新型专利技术提供了一种真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置，主要包括铲渣板和间隔设置在铲渣板板面上的铲渣条，使用时，将铲渣板置于真空磁控溅射镀膜室内的传送辊道上，依靠铲渣板自身重力以及根据传送辊间距设计的铲渣条间距，随着传送辊的转动，传送辊道上的所有铲渣条能够先后同步移动至传送辊和积渣板上，使得铲渣板在传送辊道上横向移动，形成一个上下起伏的运动，能够将底板上的渣料压碎，并通过横向移动将渣料推移至积渣板边缝落入底部。该除渣装置，结构简单，能够快速高效清理积渣板上的积渣，减少人力和时间成本，提高生产效率，有效延长清渣周期，便于推广应用。便于推广应用。便于推广应用。
【技术实现步骤摘要】
一种真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置
[0001]本技术涉及了除渣装置领域，具体涉及了一种真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置。
技术介绍
[0002]目前，Low
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e节能玻璃的制备过程中通常采用真空磁控溅射镀膜技术进行镀膜。镀膜过程中，玻璃放置在间隔设置的传送辊上，由于溅射离子相互碰撞，镀膜室内会弥漫着溅射离子，并在传送辊之间的积渣接受板上形成积渣。由于离子碰撞，若传送辊道上的玻璃与积渣接受板距离较大，会造成绕射现象，即玻璃的下表面也会被镀上膜层，这是必须要避免的现象，因此传送辊仅比底板高出10mm左右。当积渣达到一定厚度后，应力或热膨胀造成部分积渣上翘或上凸，使底板积渣高度达到传送辊高度。当玻璃在传送辊上运输经过便使玻璃表面产生划伤，造成报废。
[0003]现有技术中，当积渣达到一定厚度，需将真空腔室回气到大气状态，将底板拆卸并清理积渣。每次回气后需要经历一定时间的抽气和预烧靶材，整个镀膜设备才能再次生产。整个过程需要1
‑
2天的时间和几十人的协调工作。因此每次清理积渣不仅消耗大量的人力，也造成较大的时间成本。
[0004]因此，研发出一种真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置，能够快速高效清理积渣板上的积渣，延长清渣周期，减少人力和时间成本，对于提高玻璃镀膜生产效率具有十分重要的意义。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于：针对现有技术清理真空磁控溅射镀膜室内积渣板上的积渣时存在人力成本高，清渣过程繁琐，时间成本高，且清渣周期短，导致玻璃镀膜生产效率低的问题，提供一种真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置，该除渣装置能够快速高效清理积渣板上的积渣，延长清渣周期，减少人力和时间成本，提高玻璃镀膜生产效率。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用的技术方案为：
[0007]一种真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置，包括铲渣板，所述铲渣板的板面上间隔设置有铲渣条；使用时，将所述铲渣板置于真空磁控溅射镀膜室内的传送辊道上，随着传送辊的转动，传送辊道上的所述铲渣条能够同步在传送辊上和积渣板上横向移动。
[0008]本技术提供的除渣装置，主要包括铲渣板和间隔设置在铲渣板板面上的铲渣条，使用时，将铲渣板置于真空磁控溅射镀膜室内的传送辊道上，依靠铲渣板自身重力以及根据传送辊间距设计的铲渣条间距，随着传送辊的转动，传送辊道上的所有铲渣条能够先后同步移动至传送辊和积渣板上，使得铲渣板在传送辊道上横向移动，形成一个上下起伏的运动，能够将底板上的渣料压碎，并通过横向移动将渣料推移至积渣板边缝落入底部。该除渣装置，结构简单，能够快速高效清理积渣板上的积渣，减少人力和时间成本，提高生产效率，有效延长清渣周期，便于推广应用。
[0009]具体的，真空磁控溅射镀膜室包括储渣槽，所述储渣槽内包括所述传送辊道和所述积渣板，所述传送辊道包括至少两个间隔布置的所述传送辊，所述积渣板设置在相邻两个所述传送辊之间，所述积渣板的高度小于所述传送辊，所述传送辊与相邻的所述积渣板之间设有缝隙。
[0010]具体的，所述传送辊道包括至少两个间隔设置的传送辊。
[0011]具体的，铲渣条相对所述铲渣板的板面凸出设置。
[0012]作为本技术的优选方案，所述传送辊之间为均匀间隔设置。优选地，所有所述传送辊的高度一致。
[0013]作为本技术的优选方案，所述铲渣板和所述铲渣条为铝合金或合金钢材质的结构件。
[0014]作为本技术的优选方案，所述铲渣板的厚度为11mm～13mm。
[0015]作为本技术的优选方案，所述铲渣条的厚度为1.5mm～3.5mm。
[0016]由于大面积连续真空磁控溅射镀膜腔室能够允许通过的高度有限(一般小于22mm)，所以铲渣板难以复杂化，多功能化。现有大部分对于底板的积渣处理，一般采用一个平面铁板在腔室来回移动，利用自身重力以及相对较大的硬度对积渣进行破碎和碾压。该方法之只能将高于传送辊的积渣进行碾压，降低积渣高度至传送辊高度。并不能清除传送辊最高点到底板之间的积渣，将积渣高度降低至传送辊制高点以下。铲渣后并不能长久保持无划伤质量问题的生产时间。一旦设备出现划伤问题，后续生产将持续不断使用铁板清理积渣，直至回气清理积渣，严重影响生产效率和时间。
[0017]作为本技术的优选方案，所述铲渣条的侧面与所述铲渣板的板面呈钝角设置。钝角的设置，可以让铲渣条在横向移动过程中，不仅仅能推动渣料，还能依靠铲渣板的重力给渣料一个向下的压力，将渣料压碎，更方便渣料移至积渣板与传送辊之间的边缝内。
[0018]作为本技术的优选方案，所述铲渣条的横截面为梯形结构。
[0019]作为本技术的优选方案，所述铲渣条的侧面与所述铲渣板的板面之间的角度为110
°
～130
°
。优选地，所述铲渣条的侧面与所述铲渣板的板面之间的角度为115
°
～125
°
。更优选地，所述铲渣条的侧面与所述铲渣板的板面之间的角度为120
°
。
[0020]作为本技术的优选方案，所述真空磁控溅射镀膜室还包括储渣槽，所述传送辊和所述积渣板均设置在储渣槽内，所述储渣槽的底部能够接收所述积渣板掉落的渣料。
[0021]作为本技术的优选方案，所述真空磁控溅射镀膜室还包括溅射挡板，所述溅射挡板设置在所述储渣槽的上空。使用除渣装置时，所述铲渣板设置于所述溅射挡板之下。
[0022]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0023]1、本技术提供的除渣装置，主要包括铲渣板和间隔设置在铲渣板板面上的铲渣条，使用时，将铲渣板置于真空磁控溅射镀膜室内的传送辊道上，依靠铲渣板自身重力以及根据传送辊间距设计的铲渣条间距，随着传送辊的转动，传送辊道上的所有铲渣条能够先后同步移动至传送辊和积渣板上，使得铲渣板在传送辊道上横向移动，形成一个上下起伏的运动，能够将底板上的渣料压碎，并通过横向移动将渣料推移至积渣板边缝落入底部。该除渣装置，结构简单，能够快速高效清理积渣板上的积渣，减少人力和时间成本，提高生产效率，有效延长清渣周期，便于推广应用。
[0024]2、本申请提供的除渣装置能够在不需要回气的情况下，清理积渣，增加生产时间，
降低回气成本。
附图说明
[0025]图1为铲渣装置的结构示意图。
[0026]图2为铲渣板使用过程中的结构示意图。
[0027]图3为铲渣板移动中的结构示意图。
[0028]图标：1
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铲渣板；11
‑
铲渣条；2
‑
储渣槽；21
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传送辊道；211
‑
传送辊；22
‑
积渣板；3
‑
溅射挡板。
具体实施方式
[0029]下面结合附图，对本技术作详细的说明。
[0030本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置，其特征在于，包括铲渣板，所述铲渣板的板面上间隔设置有铲渣条；使用时，将所述铲渣板置于真空磁控溅射镀膜室内的传送辊道上，随着传送辊的转动，传送辊道上的所述铲渣条能够同步在传送辊上和积渣板上横向移动。2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置，其特征在于，真空磁控溅射镀膜室包括储渣槽，所述储渣槽内包括所述传送辊道和所述积渣板，所述传送辊道包括至少两个间隔布置的所述传送辊，所述积渣板设置在相邻两个所述传送辊之间，所述积渣板的高度小于所述传送辊，所述传送辊与相邻的所述积渣板之间设有缝隙。3.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置，其特征在于，所述铲渣板和所述铲渣条为铝合金或合金钢材质的结构件。4.根据权利要求1所述的真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓健，李勇，黄维，伍鹏，
申请(专利权)人：四川南玻节能玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：
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