清洗装置、过滤膜的清洗方法、以及过滤系统制造方法及图纸

一种清洗装置、过滤膜的清洗方法、以及过滤系统，所述清洗装置用于清洗过滤组件中的过滤膜，所述过滤组件的一端设置有过滤进水口，所述过滤组件的另一端设置有废水出口；所述清洗装置包括：清洗箱，用于存储清洗液；所述清洗箱包括进水端和出水端；清洗管，连接所述清洗箱的出水端和所述过滤进水口；回水管，连接所述废水出口和所述清洗箱的进水端；第一控制阀组件，设置于所述清洗管与所述过滤进水口相连的一端上；第二控制阀组件，设置于所述回水管与所述废水出口相连的一端上。本发明专利技术实施例有利于减小过滤膜清洗的成本。利于减小过滤膜清洗的成本。利于减小过滤膜清洗的成本。

【技术实现步骤摘要】
清洗装置、过滤膜的清洗方法、以及过滤系统


[0001]本专利技术实施例涉及一种半导体设备领域，尤其涉及一种清洗装置、过滤膜的清洗方法、以及过滤系统。

技术介绍

[0002]目前市场上，反渗透膜广泛地用于电力、石油化工、钢铁、电子、医药、食品饮料、市政及环保等领域。并且，反渗透膜还在海水及苦咸水淡化，锅炉给水、工业纯水及电子级超纯水制备，饮用净水生产，废水处理及特种分离过程中发挥着重要作用。
[0003]反渗透膜有一定的使用寿命且价格较高，如果想要延长反渗透膜的使用寿命，必须在使用一段时间后，对反渗透膜进行清洗。
[0004]但是，目前对反渗透膜等过滤膜清洗的成本太高。

技术实现思路

[0005]本专利技术实施例解决的问题是提供一种清洗装置、过滤膜的清洗方法、以及过滤系统，有利于减小所述过滤膜的清洗成本。
[0006]为解决上述问题，本专利技术实施例提供一种清洗装置，用于清洗过滤组件中的过滤膜，所述过滤组件的一端设置有过滤进水口，所述过滤组件的另一端设置有废水出口；所述清洗装置包括：清洗箱，用于存储清洗液；所述清洗箱包括进水端和出水端；清洗管，连接所述清洗箱的出水端和所述过滤进水口；回水管，连接所述废水出口和所述清洗箱的进水端；第一控制阀组件，设置于所述清洗管与所述过滤进水口相连的一端上；第二控制阀组件，设置于所述回水管与所述废水出口相连的一端上。
[0007]可选的，所述清洗装置还包括：增压泵，分别与所述过滤进水口和所述清洗箱的出水端连接；所述清洗管包括：第一清洗管，连接所述过滤进水口和所述增压泵；第二清洗管，连接所述清洗箱的出水端与所述增压泵。
[0008]可选的，所述清洗装置还包括：第一清洗控制阀门，设置在所述第一清洗管靠近所述增压泵的一端上；第二清洗控制阀门，设置在所述第二清洗管上。
[0009]可选的，所述第一控制阀组件包括相间隔设置的第一隔离阀门和第二隔离阀门；清洗管快拆器，设置于所述第一隔离阀门和第二隔离阀门之间。
[0010]可选的，所述第二控制阀组件包括相间隔设置的第一回水隔离阀门和第二回水隔离阀门；回水管快拆器，设置于所述第一回水隔离阀门和所述第二回水隔离阀门之间。
[0011]可选的，所述过滤组件还包括：过滤进水管，与所述过滤进水口连接；第一进水阀门，设置于所述过滤进水管靠近所述过滤进水口的一端上；所述清洗管与所述过滤进水管连接，所述过滤进水管与所述清洗管的连接处为第一连接端，且所述第一连接端位于所述第一进水阀门和所述过滤进水口之间。
[0012]可选的，所述清洗装置还包括：第二进水阀门，设置于所述过滤进水管上，且位于所述第一进水阀门和所述第一连接端之间；进水管快拆器，设置于所述第二进水隔离阀门
和所述第一进水隔离阀门之间。
[0013]可选的，所述过滤组件还包括：废水管，与所述废水出口连接；第一废水阀门，设置于所述废水管上靠近所述废水出口的一端上；所述回水管与所述废水管连接，所述废水管与所述回水管的连接处为第二连接端，且所述第二连接端位于所述第一废水阀门和所述废水出口之间。
[0014]可选的，所述清洗装置还包括：第二废水阀门，设置于所述废水管上，且位于所述第一废水阀门与所述第二连接端之间；废水管快拆器，设置于所述第二废水阀门和所述第一废水阀门之间。
[0015]可选的，所述过滤组件还设置有产水出口；所述过滤组件还包括：产水管，与所述产水出口连接；第一产水阀门设置于所述产水管上。
[0016]可选的，所述清洗装置还包括：第二产水阀门，设置于所述产水管上；产水快拆器，设置于所述第一产水阀门和第二产水阀门之间。
[0017]可选的，所述清洗装置还包括：检测单元，设置于所述清洗箱上，所述检测单元用于检测所述清洗液的PH值变化情况；在当所述清洗液的PH值变化情况在预设范围内时，所述检测单元判断清洗完成。
[0018]相应的，本专利技术实施例还提供一种过滤膜的清洗方法，用于利用清洗装置清洗过滤组件中的过滤膜，所述过滤组件的一端设置有过滤进水口，所述过滤组件的另一端设置有废水出口；所述清洗装置包括：清洗箱，用于存储清洗液；所述清洗箱包括进水端和出水端；清洗管，连接所述清洗箱的出水端和所述过滤进水口；回水管，连接所述废水出口和所述清洗箱的进水端；第一控制阀组件，设置于所述清洗管与所述过滤进水口相连的一端上；第二控制阀组件，设置于所述回水管与所述废水出口相连的一端上；所述清洗方法，包括：打开第一控制阀组件和第二控制阀组件；进行一次或多次循环的第一清洗处理；所述第一清洗处理包括：每隔预设间隔时间，进行清洗液添加处理，适于向所述清洗箱内加入清洗液，且在清洗液添加处理的过程中，所述清洗箱内的清洗液的PH值为检测值；所述清洗液在清洗箱、清洗管、过滤组件和回水管内循环流动；判断相邻两次清洗液添加处理对应的检测值之间的差值是否在第一预设范围内；在当相邻两次清洗液添加处理对应的检测值之间的差值在第一预设范围内时，停止进行所述第一清洗处理。
[0019]可选的，所述过滤组件还包括：过滤进水管，与所述过滤进水口连接；第一进水阀门，设置于所述过滤进水管靠近所述过滤进水口的一端上；所述清洗管与所述过滤进水管连接，所述过滤进水管与所述清洗管的连接处为第一连接端，且所述第一连接端位于所述第一进水阀门和所述过滤进水口之间；所述过滤组件还包括：废水管，与所述废水出口连接；第一废水阀门，设置于所述废水管上靠近所述废水出口的一端上；所述回水管与所述废水管连接，所述废水管与所述回水管的连接处为第二连接端，且所述第二连接端位于所述第一废水阀门和所述废水出口之间；所述过滤组件上还设置有产水出口；所述过滤组件还包括：产水管，与所述产水出口连接；第一产水阀门，设置于所述产水管上；所述清洗方法还包括：在进行一次或多次循环的第一清洗处理之前，关闭第一进水阀门、第一废水阀门和第一产水阀门。
[0020]可选的，所述间隔时间为15分钟至30分钟。
[0021]可选的，在完成清理清洗液处理后，对所述清洗装置进行深度清洗处理，用于进一
步清洗所述过滤组件。
[0022]可选的，所述清洗方法还包括：停止进行所述第一清洗处理后，进行第二清洗处理，用于去除残留于所述清洗装置和所述过滤组件内的清洗液；所述第二清洗处理包括进行一次或多次循环进行的第一清洗步骤，所述第一清洗步骤包括：向所述清洗箱内加入净水，所述净水在所述清洗箱、所述清洗管和所述回水管内循环流动；检测所述清洗箱内液体的PH值；判断所述清洗箱内液体的PH值与7.0之间的差值是否在第二预设范围内；当所述清洗箱内液体的PH值与7.0之间的差值是否在第二预设范围时，停止所述第二清洗处理。
[0023]可选的，所述清洗方法还包括：在完成第二清洗处理后，进行第三清洗处理；所述第三清洗处理包括：打开所述第一进水阀门、所述第一产水阀门和所述第一废水阀门，且关闭第一控制阀组件和第二控制阀组件；一次或多次循环进行的第二清洗步骤；所述第二清洗步骤包括：向所述过滤进水管内通入净水，使所述净水向所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗装置，用于清洗过滤组件中的过滤膜，所述过滤组件的一端设置有过滤进水口，所述过滤组件的另一端设置有废水出口；其特征在于，所述清洗装置包括：清洗箱，用于存储清洗液；所述清洗箱包括进水端和出水端；清洗管，连接所述清洗箱的出水端和所述过滤进水口；回水管，连接所述废水出口和所述清洗箱的进水端；第一控制阀组件，设置于所述清洗管与所述过滤进水口相连的一端上；第二控制阀组件，设置于所述回水管与所述废水出口相连的一端上。2.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括：增压泵，分别与所述过滤进水口和所述清洗箱的出水端连接；所述清洗管包括：第一清洗管，连接所述过滤进水口和所述增压泵；第二清洗管，连接所述清洗箱的出水端与所述增压泵。3.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括：第一清洗控制阀门，设置在所述第一清洗管靠近所述增压泵的一端上；第二清洗控制阀门，设置在所述第二清洗管上。4.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第一控制阀组件包括相间隔设置的第一隔离阀门和第二隔离阀门；清洗管快拆器，设置于所述第一隔离阀门和第二隔离阀门之间。5.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第二控制阀组件包括相间隔设置的第一回水隔离阀门和第二回水隔离阀门；回水管快拆器，设置于所述第一回水隔离阀门和所述第二回水隔离阀门之间。6.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述过滤组件还包括：过滤进水管，与所述过滤进水口连接；第一进水阀门，设置于所述过滤进水管靠近所述过滤进水口的一端上；所述清洗管与所述过滤进水管连接，所述过滤进水管与所述清洗管的连接处为第一连接端，且所述第一连接端位于所述第一进水阀门和所述过滤进水口之间。7.如权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括：第二进水阀门，设置于所述过滤进水管上，且位于所述第一进水阀门和所述第一连接端之间；进水管快拆器，设置于所述第二进水隔离阀门和所述第一进水隔离阀门之间。8.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述过滤组件还包括：废水管，与所述废水出口连接；第一废水阀门，设置于所述废水管上靠近所述废水出口的一端上；所述回水管与所述废水管连接，所述废水管与所述回水管的连接处为第二连接端，且所述第二连接端位于所述第一废水阀门和所述废水出口之间。9.如权利要求8所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括：第二废水阀门，设置于所述废水管上，且位于所述第一废水阀门与所述第二连接端之间；废水管快拆器，设置于所述第二废水阀门和所述第一废水阀门之间。10.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述过滤组件上还设置有产水出口；所述过滤组件还包括：产水管，与所述产水出口连接；第一产水阀门设置于所述产水管上。
11.如权利要求10所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括：第二产水阀门，设置于所述产水管上；产水快拆器，设置于所述第一产水阀门和第二产水阀门之间。12.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括：检测单元，设置于所述清洗箱上，所述检测单元用于检测所述清洗液的PH值变化情况；在当所述清洗液的PH值变化情况在预设范围内时，所述检测单元判断清洗完成。13.一种过滤膜的清洗方法，用于利用清洗装置清洗过滤组件中的过滤膜，所述过滤组件的一端设置有过滤进水口，所述过滤组件的另一端设置有废水出口；所述清洗装置包括：清洗箱，用于存储清洗液；所述清洗箱包括进水端和出水端；清洗管，连接所述清洗箱的出水端和所述过滤进水口；回水管，连接所述废水出口和所述清洗箱的进水端；第一控制阀组件，设置于所述清洗管与所述过滤进水口相连的一端上；第二控制阀组件，设置于所述回水管与所述废水出口相连的一端上；其特征在于，所述清洗方法包括：打开第一控制阀组件和第二控制阀组件；进行一次或多次循环的第一清洗处理；所述第一清洗处理包括：每隔预设间隔时间，进行清洗液添加处理，适于向所述清洗箱内加入清洗液，且在清洗液添加处理的过程中，所述清洗箱内的清洗液的PH值为检测值；所述清洗液在清洗箱、清洗管、过滤组件和回水管内循环流动；判断相邻两次清洗液添加处理对应的检测值之间的差值是否在第一预设范围内；在当相邻两次清洗液添加处理对应的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学海，
申请(专利权)人：中芯北方集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：