本实用新型专利技术涉及镀膜加工装置技术领域，一种镀膜加工装置，包括箱体，箱体的内部设置有隔板将箱体的内部分隔成物料前侧开口的放置腔和镀膜腔，放置腔用于放置待镀工件，镀膜腔内部设置有用于对被镀材料进行蒸发的蒸发源，放置腔设置有第一密封门，镀膜腔设置有第二密封门，隔板上设置有连通孔以及用于控制连通孔打开或关闭的开闭组件，箱体的外部设置有用于对放置腔内部进行抽真空的第一抽真空组件和用于对镀膜腔内部进行抽真空的第二抽真空组件，通过将箱体的内部分隔成放置腔和镀膜腔，在取放料的过程中镀膜腔和放置腔处于隔绝状态，由此实现在每次取放料的过程中仅需对放置腔内部进行抽真空即可，增加抽真空的效率和减少抽真空的成本。少抽真空的成本。少抽真空的成本。
【技术实现步骤摘要】
一种镀膜加工装置
[0001]本技术涉及镀膜加工装置
，具体为一种镀膜加工装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜是将被镀材料置于真空镀膜室内，通过蒸发源使其加热蒸发，当蒸发分子的平均自由程大于蒸发源与基片间的线尺寸后，蒸发的粒子从蒸发源表面上逸出，凝结于基片的表面形成镀膜，现有技术存在的问题是：现有的真空镀膜设备大多内部都处于一体连通的状态，在真空镀膜设备在打开箱门取放物料的过程中外部的空气会进入到真空镀膜设备的内部，由此导致在每次进行镀膜前都需要重新对设备的内部进行抽真空操作，导致镀膜的效率较慢，且抽真空的成本较高。
技术实现思路
[0003]针对以上问题，本技术的目的在于：通过将箱体的内部分隔成放置腔和镀膜腔，在取放料的过程中镀膜腔和放置腔处于隔绝状态，镀膜腔的内部始终维持在真空状态，由此实现在每次取放料的过程中仅需对放置腔内部进行抽真空即可，增加抽真空的效率和减少抽真空的成本。
[0004]为实现以上目的，本技术采用的技术方案：一种镀膜加工装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有隔板将箱体的内部分隔成物料前侧开口的放置腔和镀膜腔，所述放置腔用于放置待镀工件，所述镀膜腔内部设置有用于对被镀材料进行蒸发的蒸发源，所述放置腔的前侧设置有第一密封门，所述镀膜腔的前侧设置有第二密封门，所述隔板上设置有连通孔以及用于控制连通孔打开或关闭的开闭组件，所述箱体的外部设置有用于对放置腔内部进行抽真空的第一抽真空组件和用于对镀膜腔内部进行抽真空的第二抽真空组件。
[0005]本技术的有益效果为：在进行镀膜的过程中，开闭组件使得连通孔处于打开的状态，箱体内部一体连通，蒸发源对待镀材料进行蒸发，附着在待镀工件的上方，形成镀膜，当镀膜完成后需要取出工件时，首先开闭组件控制隔板上的连通孔封闭，使得放置腔和镀膜腔隔绝，此时两者仍为真空状态，当打开第一密封门取出工件时，仅有放置腔内部进入空气，待工件取出重新放置待镀工件后，关闭第一密封门，使得放置腔密封，使用第一抽真空组件对放置腔内部进行抽真空即可，带放置腔内部抽真空完成，开闭组件闭合使得放置腔与镀膜腔连通进行镀膜工作。
[0006]为了使得开闭组件便于控制连通孔的开合或者关闭。
[0007]作为上述技术方案的进一步改进，所述开闭组件包括设置在箱体外壁的两个支撑架、处于连通孔内部的两个封堵板和固定连接在支撑架上用于控制封堵板移动的第一伸缩杆。
[0008]本改进的有益效果为：两个第一伸缩杆在缩短时能够使得两个封堵板相互远离，从而使得连通孔处于打开的状态，在两个伸缩杆伸长时，两个封堵板相互靠近使得连通孔处于封闭状态。
[0009]为了使得放置腔内部的工件便于取出和放置。
[0010]作为上述技术方案的进一步改进，所述第一密封门采用抽拉门，所述抽拉门上固定连接有滑轨，所述放置腔的内壁上固定连接有与滑轨适配的导向滑块，所述滑轨的上设置有吊板，所述吊板上连接有用于对待镀工件进行固定的安装架。
[0011]本改进的有益效果：将安装架通过吊板固定在第一密封门的滑轨上能够使得工件与箱门同步取出，解决空间狭小不便于取放工件的问题。
[0012]为了使得待镀工件的位置高度能够进行控制。
[0013]作为上述技术方案的进一步改进，所述吊板与安装架之间设置有用于控制安装架上待镀工件高度的第二伸缩杆。
[0014]本改进的有益效果为：第二伸缩杆在连通孔处于打开状态时伸长时能够带动安装架上的待镀工件向下移动至镀膜腔的内部，从而调节蒸发源与待镀工件的位置，使得镀膜质量更高。
[0015]为了能够待镀材料便于蒸发。
[0016]作为上述方案的进一步改进，所述蒸发源包括坩埚和设置在坩埚下方的加热组件。
[0017]本改进的有益效果，加热组件对坩埚内部的待镀材料进行加热，使其能够进行蒸发。
[0018]为了使得放置腔和镀膜腔内部的真空度能够进行监测。
[0019]作为上述方案的进一步改进，所述箱体的外侧壁设置有用于对放置腔内部真空度进行检测的第一真空计和用于对镀膜腔内部进行真空度检测的第二真空计。
[0020]本改进的有益效果，第一真空计和第二真空计能够对放置腔和镀膜腔内部的真空度进行测量。
[0021]为了使得第一真空计和第二真空计的示数能够便于显示。
[0022]作为上述方案的进一步改进，所述箱体的侧壁上设置有具有显示屏的操纵面板，所述第一真空计和第二真空计均与操纵面板电连接。
[0023]本改进的有益效果，通过操纵面板上的显示屏能够显示第一真空计和第二真空计的真空度示数。
附图说明
[0024]图1为本技术的结构示意图；
[0025]图2为本技术第一密封门取出箱体的结构示意图；
[0026]图3为本技术的剖视图；
[0027]图4为本技术第一密封门和安装架的结构示意图；
[0028]图5为本技术图4的等轴侧示意图。
[0029]图中：1、箱体；2、隔板；3、放置腔；4、镀膜腔；5、蒸发源；6、连通孔；7、第一抽真空组件；8、第二抽真空组件；9、支撑架；10、第一伸缩杆；11、封堵板；12、第一密封门；13、第二密封门；14、导向滑块；15、滑轨；16、吊板；17、第二伸缩杆；18、安装架；19、待镀工件；20、加热组件；21、坩埚；22、第一真空计；23、第二真空计；24、操纵面板。
具体实施方式
[0030]为了使本领域技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本技术的保护范围有任何的限制作用。
[0031]如图1
‑
5所示，一种镀膜加工装置，包括箱体1，所述箱体1的内部设置有隔板2将箱体1的内部分隔成物料前侧开口的放置腔3和镀膜腔4，所述放置腔3用于放置待镀工件19，所述镀膜腔4内部设置有用于对被镀材料进行蒸发的蒸发源5，所述放置腔3的前侧设置有第一密封门12，所述镀膜腔4的前侧设置有第二密封门13，所述隔板2上设置有连通孔6以及用于控制连通孔6打开或关闭的开闭组件，所述箱体1的外部设置有用于对放置腔3内部进行抽真空的第一抽真空组件7和用于对镀膜腔4内部进行抽真空的第二抽真空组件8，在进行镀膜的过程中，开闭组件使得连通孔6处于打开的状态，箱体1内部一体连通，蒸发源5对待镀材料进行蒸发，附着在待镀工件19的上方，形成镀膜，当镀膜完成后需要取出工件19时，首先开闭组件控制隔板2上的连通孔6封闭，使得放置腔3和镀膜腔4隔绝，此时两者仍为真空状态，当打开第一密封门12取出工件19时，仅有放置腔3内部进入空气，待工件19取出重新放置待镀工件19后，关闭第一密封门12，使得放置腔3密封，使用第一抽真空组件7对放置腔3内部进行抽真空即可，带放置腔3内部抽真空完成，开闭组件闭合使得放置腔3与镀膜腔4连通进行镀膜工作，所述开闭组件包括设置在箱体1外壁的两个支撑架9、处于连通孔6内本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀膜加工装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内部设置有隔板(2)，所述隔板(2)将箱体(1)的内部分隔成物料前侧开口的放置腔(3)和镀膜腔(4)，所述放置腔(3)用于放置待镀工件(19)，所述镀膜腔(4)内部设置有用于对被镀材料进行蒸发的蒸发源(5)，所述放置腔(3)的前侧设置有第一密封门(12)，所述镀膜腔(4)的前侧设置有第二密封门(13)，所述隔板(2)上设置有连通孔(6)以及用于控制连通孔(6)打开或关闭的开闭组件，所述箱体(1)的外部设置有用于对放置腔(3)内部进行抽真空的第一抽真空组件(7)和用于对镀膜腔(4)内部进行抽真空的第二抽真空组件(8)。2.根据权利要求1所述的一种镀膜加工装置，其特征在于：所述开闭组件包括设置在箱体(1)外壁的两个支撑架(9)、处于连通孔(6)内部的两个封堵板(11)和固定连接在支撑架(9)上用于控制封堵板(11)移动的第一伸缩杆(10)。3.根据权利要求1所述的一种镀膜加工装置，其特征在于：所述第一密封门(12)采用抽拉门，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟志斌，
申请(专利权)人：南阳市万普光学有限公司，
类型：新型
国别省市：
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