一种用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构制造技术

本实用新型专利技术公开一种用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构，包括但不仅限于一套固定结构组件、三套主动旋转结构组件和三套从动旋转结构组件三部分，装置关键传动部位均为齿轮结构相互啮合，结构简单稳定性高，因此增加了镀膜装置自身的可靠性和稳定性；装置采用的齿轮结构转速高度可控，可实现轴类零件表面镀膜的均匀性高度可控；装置各个部件采用模块化设计，可根据实际需要便捷的增加或减少主动旋转结构组件和从动旋转结构组件，从而提高了轴类零件镀膜处理的生产效率和镀膜工装的利用率。利用率。利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构


[0001]本技术涉及先进物理气相沉积磁控溅射镀膜
，特别是涉及一种用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构。

技术介绍

[0002]物理气相沉积磁控溅射镀膜技术是利用高能量高密度等离子体作为能量源对靶材表面进行轰击，使靶表面原子获得能量，以原子或分子的形式沉积到基体表面的表面处理技术。具有成膜精度纳米级可控，薄膜结构可调控性强、成膜质量高、附着力好等特点，在现代精密高端装备零部件的表面功能化改性领域表现出巨大的应用价值。但由于等离子体具有直线可视性的特点，对于正对靶材面的零件表面部分镀膜沉积速率较快，而非正对靶材的零部件表面沉积速率较慢。工业界常用的解决轴类零件镀膜均匀性的方法是通过镀膜时轴类零件自身的旋转来保证成膜的均匀性。因此用于支撑轴类零件在镀膜时高效率稳定旋转的装置就成为保证轴类零件成膜质量的关键。现有的常见的轴类镀膜工装或以吊装方式旋转沉积，或以拨片齿轮顶装方式沉积。上述镀膜方式一定程度上存在传动机构复杂、稳定性差、转动不均匀、装炉效率或工装利用率偏低的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构，以解决上述现有技术存在的问题，提升轴类零件表面镀膜的均匀性以及工装利用效率。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术提供一种用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构，包括
[0005]固定结构组件，所述固定结构组件包括固定底盘和固定上支撑盘；以及
[0006]多套行星齿轮模块，多套所述行星齿轮模块沿所述固定结构组件的周向均匀设置；每套行星齿轮模块中均包括一个主动旋转结构组件和一个从动旋转结构组件，所述主动旋转结构组件包括主动支撑杆、主动齿轮和工位齿轮组一，所述主动支撑杆的上下两端以轴承套接方式分别安装于所述固定上支撑盘和固定底盘上，所述主动齿轮安装在所述主动支撑杆上，所述主动支撑杆上位于所述固定上支撑盘的顶部装配有所述工位齿轮组一；所述从动旋转结构组件包括从动支撑杆、从动齿轮和工位齿轮组二，所述从动支撑杆的上下两端以轴承套接方式分别安装于所述固定上支撑盘和固定底盘上，所述从动齿轮安装在所述从动支撑杆上，所述从动支撑杆上位于所述固定上支撑盘的顶部装配有所述工位齿轮组二；所述工位齿轮组一和工位齿轮组二结构相同，柱塞类金属零件套设在所述工位齿轮组一和工位齿轮组二的顶部。
[0007]优选地，所述主动支撑杆的末端伸出所述固定底盘的底部，所述主动支撑杆的末端与磁控溅射设备工作台外部转轴通过驱动键连接。
[0008]优选地，所述主动齿轮位于所述固定底盘的顶部，所述主动支撑杆与主动齿轮套接后采用螺母固定。
[0009]优选地，所述从动齿轮位于所述固定底盘的顶部，所述从动支撑杆与从动齿轮套接后采用螺母固定。
[0010]优选地，所述工位齿轮组一包括1个工位主齿轮、3个工位从齿轮和4个工位顶杆；所述工位主齿轮固定于所述主动支撑杆的顶端，3个所述工位从齿轮均布在所述工位主齿轮的外周，且所述工位主齿轮与工位从齿轮啮合连接，所述工位主齿轮和工位从齿轮的顶端均固定有所述工位顶杆，所述工位顶杆用于支撑柱塞类金属零件。
[0011]优选地，所述工位齿轮组二包括1个工位主齿轮、3个工位从齿轮和4个工位顶杆；所述工位主齿轮固定于所述从动支撑杆的顶端，3个所述工位从齿轮均布在所述工位主齿轮的外周，且所述工位主齿轮与工位从齿轮啮合连接，所述工位主齿轮和工位从齿轮的顶端均固定有所述工位顶杆，所述工位顶杆用于支撑柱塞类金属零件。
[0012]本技术相对于现有技术取得了以下有益技术效果：
[0013]本技术中的用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构，包括但不仅限于一套固定结构组件、三套主动旋转结构组件和三套从动旋转结构组件三部分，装置关键传动部位均为齿轮结构相互啮合，结构简单稳定性高，因此增加了镀膜装置自身的可靠性和稳定性；装置采用的齿轮结构转速高度可控，可实现轴类零件表面镀膜的均匀性高度可控；装置各个部件采用模块化设计，可根据实际需要便捷的增加或减少主动旋转结构组件和从动旋转结构组件，从而提高了轴类零件镀膜处理的生产效率和镀膜工装的利用率。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构的整体结构示意图；
[0016]图2为模块化分布图；
[0017]图3为一个主动旋转结构组件和一个从动旋转结构组件组成的行星齿轮模块；
[0018]图4为工位齿轮组的侧视图；
[0019]图5为工位齿轮组的剖视图；
[0020]图6为工位齿轮组的俯视图；
[0021]图7为用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构的侧视图；
[0022]图8为用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构的剖视图；
[0023]图9为用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构的俯视图；
[0024]图10为包括多个固定结构组件的用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构的布置图；
[0025]图11为图10的俯视图；
[0026]图12为包括多个固定结构组件的用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构的剖视图；
[0027]图13为一个固定结构组件上设置有五套行星齿轮模块的结构示意图；
[0028]图14为图13的侧视图；
[0029]图15为图13的俯视图；
[0030]其中，1、固定上支撑盘；2、主动齿轮三；3、固定底盘；4、从动支撑杆一；5、从动齿轮一；6、主动齿轮一；7、主动支撑杆一；8、从动齿轮二；9、主动齿轮二；10、从动齿轮三；11、工位从齿轮一；12、工位主齿轮；13、工位从齿轮二；14、工位从齿轮三；15、模块一；16、模块二。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]本技术的目的是提供一种用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构，以解决上述现有技术存在的问题，提升轴类零件表面镀膜的均匀性以及工装利用效率。
[0033]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0034]如图1
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图15所示，本技术提供一种用于磁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构，其特征在于：包括固定结构组件，所述固定结构组件包括固定底盘和固定上支撑盘；以及多套行星齿轮模块，多套所述行星齿轮模块沿所述固定结构组件的周向均匀设置；每套行星齿轮模块中均包括一个主动旋转结构组件和一个从动旋转结构组件，所述主动旋转结构组件包括主动支撑杆、主动齿轮和工位齿轮组一，所述主动支撑杆的上下两端以轴承套接方式分别安装于所述固定上支撑盘和固定底盘上，所述主动齿轮安装在所述主动支撑杆上，所述主动支撑杆上位于所述固定上支撑盘的顶部装配有所述工位齿轮组一；所述从动旋转结构组件包括从动支撑杆、从动齿轮和工位齿轮组二，所述从动支撑杆的上下两端以轴承套接方式分别安装于所述固定上支撑盘和固定底盘上，所述从动齿轮安装在所述从动支撑杆上，所述从动支撑杆上位于所述固定上支撑盘的顶部装配有所述工位齿轮组二；所述工位齿轮组一和工位齿轮组二结构相同，柱塞类金属零件套设在所述工位齿轮组一和工位齿轮组二的顶部。2.根据权利要求1所述的用于磁控溅射镀膜的多组件行星齿轮模块化结构，其特征在于：所述主动支撑杆的末端伸出所述固定底盘的底部，所述主动支撑杆的末端与磁控溅射设备工作台外部转轴通过驱动键连接。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋成燕，贾金龙，冯毅，
申请(专利权)人：兰州工业学院，
类型：新型
国别省市：