本实用新型专利技术提供一种光刻胶涂胶设备及排风装置，属于芯片加工技术领域，其中，排风装置包括：防溅罩，防溅罩的一侧设置有启闭门；排风组件，贯通防溅罩的罩壁设置，排风组件包括下排风组和侧排风组，下排风组对应防溅罩的底部设置，侧排风组至少设置有一个，侧排风组对应防溅罩的侧部设置，侧排风组靠近启闭门设置。本实用新型专利技术提供的一种排风装置，通过设置下排风组和侧排风组，以减少防溅罩内的气溶胶浓度，并且，当启闭门开启时，防溅罩内的气溶胶在移动时会先经过侧排风组，从而进一步减少逸散出防溅罩的气溶胶量，因此，降低了逸散出的气溶胶降落到晶圆光刻胶层表面的概率，提高晶圆质量。质量。质量。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶涂胶设备及排风装置
[0001]本技术涉及芯片加工
，具体涉及一种光刻胶涂胶设备及排风装置。
技术介绍
[0002]在半导体芯片生产过程中，包括使用涂胶机进行光刻胶涂布的工艺步骤。通常使用机械手将晶圆装载位处的晶圆传送到防溅罩内的旋转吸盘上，涂胶机构将光刻胶喷到晶圆表面，在旋转吸盘的带动下，晶圆旋转并使光刻胶均匀涂布于晶圆表面，形成光刻胶层。在旋转吸盘带动晶圆旋转匀胶的过程中，多余的光刻胶被甩离晶圆，光刻胶胶液撞击到防溅罩的内壁上，使光刻胶胶液形成气溶胶状态，气溶胶会游离在防溅罩内。当涂胶完成后打开防溅罩的启闭门时，防溅罩内的气溶胶由于压差会从防溅罩内溢出，此时，气溶胶可能会落到晶圆装载位处已经涂胶完成的晶圆上，从而溶解晶圆上的光刻胶层，在光刻胶层上形成凹坑，影响晶圆封装质量。
技术实现思路
[0003]因此，本技术要克服现有技术中的防溅罩内的气溶胶溢出，影响晶圆封装质量的缺陷，从而提供一种光刻胶涂胶设备及排风装置。
[0004]为了解决上述问题，本技术提供了一种排风装置，包括：防溅罩，所述防溅罩的一侧设置有启闭门；排风组件，贯通所述防溅罩的罩壁设置，所述排风组件包括下排风组和侧排风组，所述下排风组对应所述防溅罩的底部设置，所述侧排风组至少设置有一个，所述侧排风组对应所述防溅罩的侧部设置，所述侧排风组靠近所述启闭门设置。
[0005]可选地，所述侧排风组设置有若干个，若干个所述侧排风组包括第一侧排风组和第二侧排风组，所述第一侧排风组和所述第二侧排风组分设于所述启闭门相对的两侧。
[0006]可选地，所述第一侧排风组包括支撑板、固定套和第一侧排风管，所述支撑板与所述防溅罩的内壁相连接，所述固定套套设于所述第一侧排风管的外部且与所述支撑板相连接。
[0007]可选地，所述固定套通过紧固件与所述支撑板连接，所述支撑板上开设有滑槽，当调节所述紧固件相对所述支撑板的位置时，所述紧固件插设于所述滑槽内并能够沿所述滑槽滑动，当所述紧固件在所述滑槽内滑动至所需位置后，所述紧固件固定连接于所述支撑板。
[0008]可选地，所述第二侧排风组包括固定法兰和第二侧排风管，所述固定法兰套设于所述第二侧排风管的外部并与所述防溅罩的内壁连接，通过调节所述固定法兰相对所述防溅罩的安装角度来调节所述第二侧排风管相对所述防溅罩内晶圆承载面的角度。
[0009]可选地，所述排风组件还包括风量调节结构，所述风量调节结构与所述侧排风组相连接，并适于调节所述侧排风组的排风量。
[0010]可选地，所述排风装置还包括检测控制组件，所述检测控制组件适于检测溢出所述防溅罩的气溶胶浓度，所述检测控制组件与所述风量调节结构电性连接，所述风量调节
结构根据所述检测控制组件的检测结果调节所述侧排风组的排风量。
[0011]可选地，所述排风装置还包括气液分离结构，所述气液分离结构连通设置于所述排风组件的下游。
[0012]本技术还提供了一种光刻胶涂胶设备，包括上述的排风装置，所述光刻胶涂胶设备还包括涂胶机构，所述涂胶机构设置于所述防溅罩内。
[0013]可选地，所述光刻胶涂胶设备还包括涂胶箱、晶圆装载位和晶圆转运机构，所述排风装置设置于所述涂胶箱的内部且间隔设置有若干个，所述晶圆装载位和所述晶圆转运机构位于所述涂胶箱的内部，所述晶圆转运机构用于将晶圆在所述晶圆装载位和所述排风装置之间转运。
[0014]本技术具有以下优点：
[0015]1.本技术提供的一种排风装置，通过设置下排风组和侧排风组，以减少防溅罩内的气溶胶浓度，并且，当启闭门开启时，防溅罩内的气溶胶在移动时会先经过侧排风组，从而进一步减少逸散出防溅罩的气溶胶量，因此，降低了逸散出的气溶胶降落到晶圆光刻胶层表面的概率，提高晶圆质量。
[0016]2.本技术提供的一种排风装置，沿滑槽调节固定套在支撑板上的位置，从而调节第一侧排风管的位置，以将第一侧排风管调节至最佳排风位置，提高气溶胶的排出效果。
[0017]3.本技术提供的一种排风装置，根据检测控制组件对气溶胶浓度的检测结果，控制风量调节结构，实现对侧排风组的排风量的调节，保证由防溅罩逸散出的气溶胶浓度保持在不会降落到晶圆光刻胶层上，同时，保证防溅罩内的气压处于涂胶工艺要求的气压区间。
[0018]4.本技术提供的一种排风装置，通过设置气液分离结构，使排风装置最终排出的气体内几乎不含有气溶胶，减小对厂务排风系统的腐蚀和损耗，同时，使用气液分离结构可以将气溶胶进行收集，便于后续处理。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1示出了本技术的实施例1提供的排风装置的主视剖面结构示意图；
[0021]图2示出了本技术的实施例1提供的第一侧排风组的左视剖面结构示意图；
[0022]图3示出了本技术的实施例1提供的第二侧排风组的主视部分剖面结构示意图；
[0023]图4示出了本技术的实施例1提供的检测控制组件和风量调节结构的连接示意图；
[0024]图5示出了本技术的实施例1提供的侧排风组、风量调节结构、总排风管以及气液分离结构的结构示意图；
[0025]图6示出了本技术的实施例2提供的光刻胶涂胶设备的俯视剖面结构示意图。
[0026]附图标记说明：
[0027]10、防溅罩；11、启闭门；20、涂胶机构；30、排风组件；31、下排风组；311、下排风管；32、第一侧排风组；321、支撑板；3211、滑槽；3212、横板；3213、竖板；322、固定套；323、第一侧排风管；3231、第一管段；3232、第二管段；324、紧固件；33、第二侧排风组；331、固定法兰；332、第二侧排风管；3321、第三管段；3322、第四管段；34、风量调节结构；35、总排风管；40、检测控制组件；41、检测单元；42、控制单元；50、气液分离结构；51、分离盒；52、隔板；53、存液腔；54、排气腔；55、排液管；56、排气管；100、排风装置；200、涂胶箱；300、晶圆装载位；400、晶圆转运机构。
具体实施方式
[0028]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种排风装置，其特征在于，包括：防溅罩(10)，所述防溅罩(10)的一侧设置有启闭门(11)；排风组件(30)，贯通所述防溅罩(10)的罩壁设置，所述排风组件(30)包括下排风组(31)和侧排风组，所述下排风组(31)对应所述防溅罩(10)的底部设置，所述侧排风组至少设置有一个，所述侧排风组对应所述防溅罩(10)的侧部设置，所述侧排风组靠近所述启闭门(11)设置。2.根据权利要求1所述的排风装置，其特征在于，所述侧排风组设置有若干个，若干个所述侧排风组包括第一侧排风组(32)和第二侧排风组(33)，所述第一侧排风组(32)和所述第二侧排风组(33)分设于所述启闭门(11)相对的两侧。3.根据权利要求2所述的排风装置，其特征在于，所述第一侧排风组(32)包括支撑板(321)、固定套(322)和第一侧排风管(323)，所述支撑板(321)与所述防溅罩(10)的内壁相连接，所述固定套(322)套设于所述第一侧排风管(323)的外部且与所述支撑板(321)相连接。4.根据权利要求3所述的排风装置，其特征在于，所述固定套(322)通过紧固件(324)与所述支撑板(321)连接，所述支撑板(321)上开设有滑槽(3211)，当调节所述紧固件(324)相对所述支撑板(321)的位置时，所述紧固件(324)插设于所述滑槽(3211)内并能够沿所述滑槽(3211)滑动，当所述紧固件(324)在所述滑槽(3211)内滑动至所需位置后，所述紧固件(324)固定连接于所述支撑板(321)。5.根据权利要求2所述的排风装置，其特征在于，所述第二侧排风组(33)包括固定法兰(331)和第二侧排风管(332)，所述固定法兰(331)套设于所述第二侧排风管(332)的外部并与所述防溅罩(10)...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘为银，陈军，赵维国，
申请(专利权)人：长电集成电路绍兴有限公司，
类型：新型
国别省市：
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