生产车间的自动化传输系统技术方案

一种生产车间的自动化传输系统，自动化传输系统包括：轨道，用于固定悬空传输装置、并使悬空传输装置沿轨道进行传输，轨道包括：主运行轨道位于加工区的边界位置处，主运行轨道用于使悬空传输装置在加工区之间进行传输；第一分支轨道位于加工区中，第一分支轨道的两端与主运行轨道相连接，第一分支轨道用于使悬空传输装置在加工区内的机台之间进行传输；第二分支轨道位于仓储装置所在的位置处，第二分支轨道的两端与主运行轨道相连接，且第二分支轨道环绕仓储装置；其中，仓储装置具有取放货端口，取放货端口朝向主运行轨道，或者，取放货端口朝向第二分支轨道。在加工区的生产传输效率得到提高的同时，还提高加工区的面积可利用率。还提高加工区的面积可利用率。还提高加工区的面积可利用率。

【技术实现步骤摘要】
生产车间的自动化传输系统


[0001]本专利技术实施例涉及半导体制造领域，尤其涉及一种生产车间的自动化传输系统。

技术介绍

[0002]在半导体制造工厂里，以前都是以STK(stocker，仓储)为主，通常通过人力将物料搬运到机台上进行生产，人力成本占整个晶圆制造的比例很低。但随着半导体技术的飞速发展，晶圆的尺寸逐渐增大，晶圆的整体重量也由原先的也随之增大，人工搬送已经无法满足生产的需要，同时加上人员安全、产品良率以及产能效率等因素的考虑，对于工厂的自动化系统提出了更高的要求，为了解决快速稳定的物料传递问题，自动化传输系统(Automatic Material Handling System，AMHS)应运而生。
[0003]生产车间的自动化传输系统通常采用轨道实现产品的传输，但是，如何提升生产车间的自动化传输系统的生产传输效率成为一重要课题。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例解决的问题是提供一种生产车间的自动化传输系统，提升生产车间的自动化传输系统的生产传输效率。
[0005]为解决上述问题，本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生产车间的自动化传输系统，所述生产车间包括多个加工区，所述加工区包括多个机台，且至少一个加工区中设置有仓储装置，其特征在于，所述自动化传输系统包括：轨道，用于固定悬空传输装置、并使所述悬空传输装置沿所述轨道进行传输，所述轨道包括：主运行轨道，位于所述加工区的边界位置处，且位于所述仓储装置背向所述机台的一侧，所述主运行轨道用于使所述悬空传输装置在所述加工区之间进行传输；第一分支轨道，位于所述加工区中，所述第一分支轨道的两端与所述主运行轨道相连接，所述第一分支轨道用于使所述悬空传输装置在所述加工区内的机台之间进行传输；第二分支轨道，位于所述仓储装置所在的位置处，所述第二分支轨道的两端与所述主运行轨道相连接，且所述第二分支轨道环绕所述仓储装置；其中，所述仓储装置具有取放货端口，所述取放货端口朝向所述主运行轨道，或者，所述取放货端口朝向所述第二分支轨道。2.如权利要求1所述的自动化传输系统，其特征在于，所述第二分支轨道包括：横向运行轨道，位于所述仓储装置背向所述主运行轨道的一侧；纵向运行轨道，连接所述横向运行轨道和所述主运行轨道；所述取放货端口朝向所述第二分支轨道的横向运行轨道。3.如权利要求2所述的自动化传输系统，其特征在于，所述主运行轨道为直行轨道，所述横向运行轨道平行于所述主运行轨道。4.如权利要求2所述的自动化传输系统，其特征在于，沿所述主运行轨道传输方向，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚春蕊，周毅仲，孙俊丽，王天昕，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：