一种优化平整度调节的探针卡制造技术

本申请提供一种优化平整度调节的探针卡，涉及半导体测试技术领域。所述优化平整度调节的探针卡包括支撑架、PCB板、载板以及调整结构，所述PCB板设于所述支撑架与所述载板之间，所述调整结构包括调整螺柱和调整螺母，所述调整螺母具有内螺纹和外螺纹，通过所述内螺纹与调整螺柱的上部螺接，通过所述外螺纹与所述支撑架螺接，所述调整螺柱穿过所述PCB板并延伸至所述载板且与所述载板螺接，优化了探针卡平整度调节效率和精度，提升了平整度的可调整裕量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种优化平整度调节的探针卡


[0001]本申请涉及半导体测试
，具体涉及一种优化平整度调节的探针卡。

技术介绍

[0002]当前，通信行业及消费电子行业发展迅速，市场对产品相关性能提出了更高的要求，极大推动了半导体器件小型化，集成化的发展进程。整体趋势上，测试触点密度越来越高，测试晶圆对象尺寸越来越大，所以对于探针卡相应半导体器件的测试技术也有了更高的要求，尤其是对探针卡平整度要求越来越严苛。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本说明书实施例提供一种优化平整度调节的探针卡，优化了探针卡平整度调节效率和精度，提升了平整度的可调整裕量。
[0004]本说明书实施例提供以下技术方案：
[0005]提供一种优化平整度调节的探针卡，包括支撑架、PCB板、载板以及调整结构，所述PCB板设于所述支撑架与所述载板之间，所述调整结构包括调整螺柱和调整螺母，所述调整螺母具有内螺纹和外螺纹，通过所述内螺纹与调整螺柱的上部螺接，通过所述外螺纹与所述支撑架螺接，所述调整螺柱穿过所述PCB板并延伸至所述载板且与所述载板螺接。
[0006]在一些实施例中，所述调整螺母包括位于上端的螺母头部和延伸部，所述外螺纹设于所述延伸部的外周向壁，所述外螺纹与所述支撑架的第一凹槽的周向壁面螺接。
[0007]在一些实施例中，所述螺母头部的直径大于所述延伸部的直径，在所述螺母头部的下方与所述支撑架之间的空隙卡固有第一螺母，所述第一螺母与所述延伸部上对应的部分外螺纹螺接。
[0008]在一些实施例中，所述调整螺柱的螺柱头部伸出所述调整螺母，通过第二螺母与所述螺柱头部螺接。
[0009]在一些实施例中，所述支撑架由上表面向下延伸开设有第二凹槽，所述调整螺柱的一部分、所述调整螺母的一部分、所述第一螺母、所述第二螺母均容置在所述第二凹槽内，所述调整螺柱的另一部分、所述调整螺母的另一部分容置在所述第一凹槽内。
[0010]在一些实施例中，一对所述调整结构呈对称设置，分别设置在所述支撑架、所述PCB板以及所述载板的层间结构的左右两端。
[0011]在一些实施例中，所述内螺纹的螺纹尺寸与所述外螺纹的螺纹尺寸不同，和/或，所述内螺纹的螺距与所述外螺纹的螺距不同。
[0012]在一些实施例中，所述调整螺柱的上端设有六角扳手槽。
[0013]在一些实施例中，所述支撑架上还设有用于连接测试机结构的连接器，所述连接器与所述PCB板之间保持线路连接。
[0014]在一些实施例中，所述载板下方安装有测试模块，所述测试模块用于与待测芯片连接。
[0015]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
[0016]1、既可以通过调整螺母的内螺纹调节调整螺母与调整螺柱之间的螺接状态，也可以通过调整螺母的外螺纹调节调整螺母与支撑架之间的螺接状态，亦可以调节调整螺柱与下方载板之间的螺接状态，从而实现探针卡的上部支撑架、中部PCB板以及载板之间的间隙调整或相应位置平面平整度调整；
[0017]2、在进一步设置了第一螺母、第二螺母的情况下，通过调整螺母、调整螺柱与第一螺母、第二螺母结合多种方式调整，进一步提升了平整度的可调整裕量空间；
[0018]3、即便探针卡局部发生变形，也无需拆卸针卡，通过局部的灵活调整即可实现高精度的平整度调整；
[0019]4、上述结构设置较高的平整度可调整裕量，同时能够降低零部件制造、产品组装的精度要求，在针对各种测试场景的探针卡结构应用时，具有更广泛的适应性。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0021]图1是本申请实施例提供的优化平整度调节的探针卡结构示意图；
[0022]图2是本申请实施例提供的优化平整度调节的探针卡局部结构示意图；
[0023]图3是本申请实施例提供的优化平整度调节的探针卡局部结构示意图。
[0024]附图标记说明：
[0025]1‑
支撑架，2
‑
PCB板，3
‑
载板，4
‑
调整结构，41
‑
调整螺柱，41a
‑
螺柱头部，41b
‑
螺柱下部，42
‑
调整螺母，421
‑
内螺纹，422
‑
外螺纹，42a
‑
螺母头部，42b
‑
延伸部，5
‑
连接器，6
‑
测试模块，7
‑
第二螺母，8
‑
第一螺母
具体实施方式
[0026]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0027]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0028]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除
了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0029]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0030]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
[0031]如图1至图3所示，本申请实施例提供的优化平整度调节的探针卡，主要包括支撑架1、PCB板2、载板3以及调整结构4，PCB板2设于支撑架1与载板3之间，调整结构4包括调整螺柱41和调整螺母42，调整螺母42具有内螺纹421和外螺纹422，通过内螺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种优化平整度调节的探针卡，其特征在于，包括支撑架、PCB板、载板以及调整结构，所述PCB板设于所述支撑架与所述载板之间，所述调整结构包括调整螺柱和调整螺母，所述调整螺母具有内螺纹和外螺纹，通过所述内螺纹与调整螺柱的上部螺接，通过所述外螺纹与所述支撑架螺接，所述调整螺柱穿过所述PCB板并延伸至所述载板且与所述载板螺接。2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述调整螺母包括位于上端的螺母头部和延伸部，所述外螺纹设于所述延伸部的外周向壁，所述外螺纹与所述支撑架的第一凹槽的周向壁面螺接。3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述螺母头部的直径大于所述延伸部的直径，在所述螺母头部的下方与所述支撑架之间的空隙卡固有第一螺母，所述第一螺母与所述延伸部上对应的部分外螺纹螺接。4.根据权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述调整螺柱的螺柱头部伸出所述调整螺母，通过第二螺母与所述螺柱头部螺接。5.根据权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：余圣洋，梁建，罗雄科，
申请(专利权)人：上海泽丰半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：