本实用新型专利技术提供了一种低漏电流校准装置，属于探针校准技术领域。该低漏电流校准装置，包括卡接安装座、转动连线组件、驱动件和校准源表；所述卡接安装座上设有多个沿同一圆周的布置的安装口，每一所述安装口用于放置一个待校准探针盒；所述转动连线组件包括传输线，所述传输线的一端与所述校准源表相连，另一端为布置于所述待校准探针盒的探针头的上方的对接端，所述转动连线组件在所述驱动件的带动下沿所述圆周转动并在所述传输线的对接端与所述探针头对齐时下压，以便与所述传输线与所述探针头有效连接。本实用新型专利技术的低漏电流校准装置接线方式较为简单，并且能够保证校准顺利进行和校准精度。行和校准精度。行和校准精度。
【技术实现步骤摘要】
一种低漏电流校准装置
[0001]本技术涉及探针校准
，特别是涉及一种低漏电流校准装置。
技术介绍
[0002]芯片探针由于存在低漏电流，因此需要通过校准源表进行检测来进行校准。具体地，现有技术中存在将各个探针模块的输出端依次与校准源表进行连接的方式来测量电信号，这种方式通过人工的方式依次连接各个待校准的探针模块和校准源表，此过程中需要反复接线，效率较低。
[0003]为了解决效率的问题，现有技术中出现了通过将待校准的探针模块按序排列并一一通过继电器和校准源表相连的接线方式，再设计控制电路与每一继电器相连，利用控制电路来控制各个继电器按序接通，一一与校准源表接通，从而逐个进行电信号测量和校准。
[0004]但是，这种使用继电器接线的方式，需要在测试前连接多根连线，并且，由于继电器和控制电路本身也会代理额外的漏电流，会降低绝缘度，特别是继电器对微弱电路的影响非常大，这就会导致校准难以进行或者校准精度大大降低。
技术实现思路
[0005]本技术的一个目的是提供一种低漏电流校准装置，接线方式较为简单，并且能够保证校准顺利进行和校准精度。
[0006]本技术进一步的一个目的是要在实现转动臂和空心输出轴固连的同时能保证传输线的顺利引出。
[0007]特别地，本技术提供了一种低漏电流校准装置，包括卡接安装座、转动连线组件、驱动件和校准源表；
[0008]所述卡接安装座上设有多个沿同一圆周的布置的安装口，每一所述安装口用于放置一个待校准探针盒；
[0009]所述转动连线组件包括传输线，所述传输线的一端与所述校准源表相连，另一端为布置于所述待校准探针盒的探针头的上方的对接端，所述转动连线组件在所述驱动件的带动下沿所述圆周转动并在所述传输线的对接端与所述探针头对齐时下压，以便与所述传输线与所述探针头有效连接。
[0010]可选地，所述转动连接组件还包括转动臂，其一端与所述驱动件相连，另一端用于固定所述传输线的所述对接端。
[0011]可选地，所述驱动件包括电机，所述电机的设有贯穿其自身的空心输出轴，所述空心输出轴与所述转动臂相连，所述空心输出轴的内部设有通孔，用于穿设所述传输线。
[0012]可选地，所述转动臂设有安装开孔，固定套设于所述空心输出轴的外表面处。
[0013]可选地，所述转动臂的底面处设有卡接凹槽，所述卡接凹槽的一端与所述安装开孔连通，用于卡接所述传输线。
[0014]可选地，所述卡接凹槽呈长条状且沿所述转动臂的长度方向延伸。
[0015]可选地，所述转动臂的底面处还设有对接凹槽，所述对接凹槽与所述卡接凹槽间隔布置，且与所述卡接凹槽远离所述安装开孔的一端连通，所述对接凹槽用于固定所述传输线的所述对接端。
[0016]可选地，所述传输线的对接端为PCB转接端且包括多个端口，所述对接凹槽包括与所述对接端匹配的多个开口。
[0017]可选地，所述驱动件还包括气缸，所述气缸的输出端与所述转动连线组件固定连接，用于带动所述转动连线组件上下移动。
[0018]可选地，所述安装口沿所述圆周均匀布置。
[0019]根据本技术的一个实施例，提供了一种低漏电流校准装置，通过设置转动连线组件，可以绕圆周的中心转动，使得转动连线组件上的传输线能够在转动过程中依次与各个待校准探针盒的探针头依次连接，以便将电信号传输至测试源表。这样的连接结构可以不需要对每个待校准探针盒都连接传输线，只需要在转动连线组件上设置一根传输线就能实现各个待校准探针盒与校准源表的连接，因此接线方式较为简单。也不会像现有技术中那样，由于设置多个继电器、继电器控制电路等带来的额外的漏电流，即本实施例的连接方式可以减少漏电流，保证校准顺利进行和校准精度。
[0020]根据本技术的一个实施例，通过采用具有空心输出轴的电机来连接转动臂，使得转动臂上的传输线能够从空心输出轴的通孔中穿过，从电机的输出端穿到另一端，使得空心输出轴带动转动臂转动的过程中不会影响传输线，例如出现缠绕等问题。
[0021]根据本技术的一个实施例，通过在转动臂处设置安装开孔，并通过安装开孔套设在空心输出轴的外表面的方式将转动臂和空心输出轴固连，这连接方式在实现转动臂和空心输出轴固连的同时能保证传输线的顺利引出。
[0022]根据本技术的一个实施例，对接凹槽用于固定传输线的对接端，对接凹槽与卡接凹槽的间隔布置使得部分的传输线穿设在转动臂的内部，可以更好地固定转接线。
[0023]根据本技术的一个实施例，采用气缸来驱动转动连线组件上下移动的方式准确度较高。
[0024]根据下文结合附图对本技术具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本技术的上述以及其他目的、优点和特征。
附图说明
[0025]后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本技术的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
[0026]图1是根据本技术一个实施例的低漏电流校准装置的结构示意图；
[0027]图2是根据本技术一个实施例的低漏电流校准装置的转动连线组件和驱动件的装配结构示意图；
[0028]图3是根据本技术一个实施例的低漏电流校准装置的转动连线组件的结构示意图。
[0029]附图标记：
[0030]100
‑
低漏电流校准装置、10
‑
卡接安装座、20
‑
转动连线组件、21
‑
传输线、211
‑
连接
端、212
‑
对接端、22
‑
转动臂、221
‑
安装开孔、222
‑
卡接凹槽、223
‑
对接凹槽、30
‑
驱动件、31
‑
电机、311
‑
空心输出轴、301
‑
通孔；
[0031]200
‑
待校准探针盒、210
‑
探针头。
具体实施方式
[0032]图1是根据本技术一个实施例的低漏电流校准装置100的结构示意图。图2是根据本技术一个实施例的低漏电流校准装置100的转动连线组件20和驱动件30的装配结构示意图。如图1所示，一个实施例中，低漏电流校准装置100包括卡接安装座10、转动连线组件20、驱动件30和校准源表(未示出)。卡接安装座10上设有多个沿同一圆周的布置的安装口，每一安装口用于放置一个待校准探针盒200(现有技术中也称为wafer测试头或芯片测试头等)，例如一个实施例中，该圆周上布置有48个待校准探针盒200，每个待校准探针盒200的探针头210均朝上伸出，每个待校准探针盒200的测试输入端可以设置在卡接安装座10的下方，与测试源表相连，以便测试源表施加测本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种低漏电流校准装置，其特征在于，包括卡接安装座、转动连线组件、驱动件和校准源表；所述卡接安装座上设有多个沿同一圆周的布置的安装口，每一所述安装口用于放置一个待校准探针盒；所述转动连线组件包括传输线，所述传输线的一端与所述校准源表相连，另一端为布置于所述待校准探针盒的探针头的上方的对接端，所述转动连线组件在所述驱动件的带动下沿所述圆周转动并在所述传输线的对接端与所述探针头对齐时下压，以便与所述传输线与所述探针头有效连接。2.根据权利要求1所述的低漏电流校准装置，其特征在于，所述转动连线组件还包括转动臂，其一端与所述驱动件相连，另一端用于固定所述传输线的所述对接端。3.根据权利要求2所述的低漏电流校准装置，其特征在于，所述驱动件包括电机，所述电机的设有贯穿其自身的空心输出轴，所述空心输出轴与所述转动臂相连，所述空心输出轴的内部设有通孔，用于穿设所述传输线。4.根据权利要求3所述的低漏电流校准装置，其特征在于，所述转动臂设有安装开孔，固定套设于所述空心输出轴的外表面处。5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：廉哲，罗跃浩，黄建军，胡海洋，
申请(专利权)人：苏州联讯仪器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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