一种用于夹具的特氟龙密封圈制造技术

本技术提供了一种用于夹具的特氟龙密封圈，涉及密封技术领域。夹具包括热沉、PCB板和特氟龙密封圈，热沉和PCB板之间限定有用于放置晶圆的密封腔，特氟龙密封圈安装在密封腔内，用于对密封腔进行密封；特氟龙密封圈包括位于安装槽内的第一部分以及由第一部分的顶部朝向上方延伸的第二部分和第三部分，第二部分和第三部分之间限定有第一凹槽，第二部分和第一部分之间限定有第二凹槽，第三部分和第一部分之间限定有第三凹槽，使得特氟龙密封圈经高温加热发生膨胀时，特氟龙密封圈的凸出部分可以向凹槽内发生膨胀，避免由于过度膨胀影响夹具的关闭，从而提高特氟龙密封圈的密封性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及密封，特别是涉及一种用于夹具的特氟龙密封圈。

技术介绍

1、在密封
，密封圈的材质通常为橡胶材质。在晶圆测试，例如老化测试过程中，需要对晶圆进行高温测试，所以会导致橡胶材质的密封圈与pcb板发生粘连的情况。由于特氟龙密封圈具有优异的滑动性能和较低的摩擦系数，能够降低密封装置的装配阻力，提高了密封性能，因此将橡胶密封圈替换成特氟龙密封圈。但是在测试过程中发现，虽然特氟龙密封圈在经过高温加热后不会与pcb板发生粘连，但是会发生过度膨胀，影响夹具的关闭，导致密封性能降低，也会出现塑性形变不回弹导致密封失效的情况。

技术实现思路

1、本技术的一个目的是要提供一种用于夹具的特氟龙密封圈，解决现有技术中特氟龙密封圈经高温加热后过度膨胀，影响夹具关闭，导致密封性能降低的技术问题。

2、本技术的另一个目的是提高特氟龙密封圈安装的稳定性。

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【技术保护点】

1.一种用于夹具的特氟龙密封圈，其特征在于，所述夹具包括热沉、PCB板和特氟龙密封圈，所述热沉和所述PCB板之间限定有用于放置晶圆的密封腔，所述特氟龙密封圈安装在所述密封腔内，用于对所述密封腔进行密封，所述特氟龙密封圈的顶部和两个侧部均开设有沿其周向延伸的凹槽。

2.根据权利要求1所述的特氟龙密封圈，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的特氟龙密封圈，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的特氟龙密封圈，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的特氟龙密封圈，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的特氟龙密封圈，其特征在于，

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【技术特征摘要】

1.一种用于夹具的特氟龙密封圈，其特征在于，所述夹具包括热沉、pcb板和特氟龙密封圈，所述热沉和所述pcb板之间限定有用于放置晶圆的密封腔，所述特氟龙密封圈安装在所述密封腔内，用于对所述密封腔进行密封，所述特氟龙密封圈的顶部和两个侧部均开设有沿其周向延伸的凹槽。

2.根据权利要求1所述的特氟龙密封圈，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的特氟龙密封圈，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的特氟龙密封圈，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：廉哲，周斌，郭孝明，徐鹏嵩，
申请(专利权)人：苏州联讯仪器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：

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