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本技术提供了一种用于夹具的特氟龙密封圈，涉及密封技术领域。夹具包括热沉、PCB板和特氟龙密封圈，热沉和PCB板之间限定有用于放置晶圆的密封腔，特氟龙密封圈安装在密封腔内，用于对密封腔进行密封；特氟龙密封圈包括位于安装槽内的第一部分以及由第一...
该专利属于苏州联讯仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州联讯仪器股份有限公司授权不得商用。

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