【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体测试，更具体的说，涉及一种垂直探针卡自动植针生产时使用的在线植针效果评判系统及方法。
技术介绍
1、晶圆探针卡，又称为探针卡，是电子测试系统与半导体晶圆之间的关键接口设备，在晶圆制造过程中，发挥着至关重要的作用。晶圆探针卡主要用于在晶圆制造的测试阶段提供电气连接，使得测试机能够精确地测试晶圆上的芯片。在半导体制造过程中，探针卡是筛选电性功能不良芯片的重要工具，有效避免了不良品在后段制造成本上的浪费。
2、晶圆探针卡作为一种用于测试晶圆上芯片的重要工具，其主要可以分为悬臂式探针卡、垂直探针卡和微弹簧式探针卡等多种类型。如今，随着垂直探针卡的植针生产逐渐由人工植针转向机器自动植针，与依靠人工目测和手感测试来保证良率的传统人工植针相比，如何引入自动化机器检测来保证植针的良率成为一个迫切需要解决的技术问题。
3、随着自动植针设备的引入，垂直探针卡的植针工序已经步入了自动化阶段。探针座(probe head，ph)是探针卡中用于固定探针位置的核心部件。在植针效果的检测过程中，需要将探针座进行分层并重新组...
【技术保护点】
1.一种在线植针效果评判系统，其特征在于，包括植针运动组件、植针孔输送组件、观测组件：
2.根据权利要求1所述的在线植针效果评判系统，其特征在于，所述植针运动组件，包括植针夹爪和垂直运动机构：
3.根据权利要求1所述的在线植针效果评判系统，其特征在于，所述植针孔输送组件，包括探针座安装座以及平面运动子组件：
4.根据权利要求3所述的在线植针效果评判系统，其特征在于，还包括反射镜子组件，安装在探针座安装座的内腔中，使入射光线以一定角度反射。
5.根据权利要求4所述的在线植针效果评判系统，其特征在于，所述镂空结构与植针区域相
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【技术特征摘要】
1.一种在线植针效果评判系统，其特征在于，包括植针运动组件、植针孔输送组件、观测组件：
2.根据权利要求1所述的在线植针效果评判系统，其特征在于，所述植针运动组件，包括植针夹爪和垂直运动机构：
3.根据权利要求1所述的在线植针效果评判系统，其特征在于，所述植针孔输送组件，包括探针座安装座以及平面运动子组件：
4.根据权利要求3所述的在线植针效果评判系统，其特征在于，还包括反射镜子组件，安装在探针座安装座的内腔中，使入射光线以一定角度反射。
5.根据权利要求4所述的在线植针效果评判系统，其特征在于，所述镂空结构与植针区域相重合；
6.根据权利要求3所述的在线植针效果评判系统，其特征在于，所述探针座安装座，为侧卧的u字型结构；
7.根据权利要求1所述的在线植针效果评判系统，其特征在于，所述观测组件，包括镜头及光源组件、图像采集装置、运动装置以及安装支架：
8.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹斌，罗雄科，
申请(专利权)人：上海泽丰半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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