搬送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供搬送装置，其能够使从盒中搬出被加工物时的操作者的作业简便。参照通过拍摄单元的拍摄而形成的多个图像来确定将被加工物从盒中搬出时向盒插入的机器人手部的位置。因此，无需操作者预先把握盒的细节构造和盒所收纳的被加工物的翘曲或挠曲。其结果是，从盒中搬出被加工物时的操作者的作业变得简便。中搬出被加工物时的操作者的作业变得简便。中搬出被加工物时的操作者的作业变得简便。

【技术实现步骤摘要】
搬送装置


[0001]本专利技术涉及对被加工物进行搬送的搬送装置。

技术介绍

[0002]IC(Integrated Circuit，集成电路)等器件的芯片是在移动电话和个人计算机等各种电子设备中不可欠缺的构成要素。这样的芯片例如通过将在正面上形成有大量器件的晶片等被加工物按照包含各个器件的每个区域进行分割而制造。
[0003]出于芯片的小型化和轻量化等目的，形成有器件的被加工物大多在分割前被薄化。作为将被加工物薄化的方法，例如可以举出基于磨削装置的磨削，该磨削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物的正面(下表面)侧进行保持；以及磨削磨轮，其设置于卡盘工作台的上方且具有呈环状离散地配置的多个磨削磨具。
[0004]为了这样对被加工物进行磨削，作为前提需要将被加工物搬入至磨削装置。例如在通常的芯片的制造工序中，将一个批次(25张左右)的被加工物收纳于盒中，将该盒搬入至设置于磨削装置的盒台的载置面。另外，磨削装置通常具有利用机器人手部对被加工物进行保持而从盒中搬出的搬送机器人(搬出单元)(例如参照专利文献1)。
[0005]专利文献1：日本特开2001
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284303号公报
[0006]盒通常具有相互对置且在各自的内侧面上形成有多个槽的一对侧壁。并且，在盒中，在将晶片等被加工物的外周缘配置于多个槽中的任意槽的状态下收纳被加工物。另一方面，一对侧壁的间隔和多个槽的设置间隔等盒的细节构造大多根据所收纳的被加工物的尺寸而不同。
[0007]因此，在使用搬送机器人从盒中搬出被加工物时，需要操作者预先把握该盒的细节构造，并将用于设定向盒插入的机器人手部的适当位置的信息输入至搬送机器人。不过，在细节构造不同的盒的种类很多的情况下，操作者逐一把握盒的细节构造很繁杂。
[0008]另外，即使是相同种类的盒，有时由于其制造厂商或制造批次等的不同而在盒的细节构造中产生尺寸误差。在这样的情况下，在使用搬送机器人从盒中搬出被加工物时，即使操作者参照预先能够把握的信息，也可能难以设定向盒插入的机器人手部的适当位置。
[0009]另外，由于收纳于盒的被加工物的翘曲或挠曲，有时为了从盒中搬出被加工物而使机器人手部向盒插入的适当位置会发生变化。在这样的情况下，需要操作者逐一把握向盒插入的机器人手部的适当位置，但这样的作业繁杂。

技术实现思路

[0010]鉴于这些方面，本专利技术的目的在于提供能够使从盒中搬出被加工物时的操作者的作业简便的搬送装置。
[0011]根据本专利技术，提供搬送装置，其具有：盒台，其具有供收纳被加工物的盒载置的载置面，该盒具有相互对置的一对侧壁，在将该被加工物的外周缘配置在形成于该一对侧壁各自的内侧面的多个槽中的任意槽的状态下对该被加工物进行收纳；搬送机器人，其从该
盒中搬出该被加工物；以及控制器，其对该搬送机器人的动作进行控制，其中，该搬送机器人具有：搬送臂，其具有能够在与该载置面垂直的第1方向和与该载置面平行的第2方向上移动的前端；机器人手部，其配设于该搬送臂的该前端且能够对该被加工物进行保持；以及拍摄单元，其固定于该搬送臂且能够拍摄载置于该载置面的该盒所包含的区域，该控制器在使用该拍摄单元拍摄收纳有该被加工物的该盒的不同区域而形成多个图像之后，参照该多个图像而确定将该被加工物从该盒中搬出时向该盒插入的该机器人手部的该第1方向上的位置和该第2方向上的位置。
[0012]优选该多个图像包含侧壁图像，该侧壁图像是通过拍摄包含该多个槽中的在该第1方向上相邻的两个以上的槽的区域而形成的，该控制器在参照该侧壁图像而测量了该多个槽的该第1方向上的设置间隔之后，参照该设置间隔而确定将该被加工物从该盒中搬出时该机器人手部的该第1方向上的位置。
[0013]在本专利技术中，参照通过拍摄单元的拍摄而形成的多个图像来确定将被加工物从盒中搬出时向盒插入的机器人手部的位置。因此，在本专利技术中，无需操作者预先把握盒的细节构造以及收纳于盒的被加工物的翘曲或挠曲。其结果是，从盒中搬出被加工物时的操作者的作业变得简便。
附图说明
[0014]图1是示意性示出包含搬送被加工物的搬送装置的磨削装置的一例的立体图。
[0015]图2是示意性示出搬送机器人的一例的立体图。
[0016]图3是示意性示出被加工物的一例的立体图。
[0017]图4是示意性示出盒的一例的立体图。
[0018]图5是示意性示出转台及其周边的构造的俯视图。
[0019]图6的(A)、图6的(B)和图6的(C)分别是示意性示出将被加工物从盒中搬出时的搬送机器人的动作的一例的情况的立体图。
[0020]标号说明
[0021]2：磨削装置；4：基台(4a：开口)；6：搬送机器人；8：第1驱动部；10：搬送臂(10a：第1臂部、10b：第2臂部、10c：第2关节部)(10d：第2驱动部、10e：主轴、10f：连结部)；11：被加工物(11a：正面、11b：背面)；12：拍摄单元；13：分割预定线；14：机器人手部；15：器件；16：盒(16a：顶板、16b、16c：侧壁)(16d：槽、16e：连接部件)；18a、18b：盒台；19：盒止动件；20：位置调整机构(20a：台、20b：销)；22：搬送机构；24：转台；26：卡盘工作台(26a：保持面)；28：支承构造；30：Z轴移动机构；32：导轨；34：移动板；36：丝杠轴；38：电动机；40：固定器具；42：磨削单元；44：主轴壳体；46：主轴；48：安装座；50a：第1磨削磨轮；50b：第2磨削磨轮；52：搬送机构；54：清洗单元(54a：旋转工作台)；56：控制器；58：处理部；60：存储部。
具体实施方式
[0022]参照附图，对本专利技术的实施方式进行说明。图1是示意性示出包含搬送被加工物的搬送装置的磨削装置的一例的立体图。另外，在图1中，将磨削装置的构成要素的一部分用功能块示出。另外，图1所示的X轴方向(前后方向)和Y轴方向(左右方向)是在水平面上相互垂直的方向，另外，Z轴方向(上下方向、高度方向)是与X轴方向和Y轴方向垂直的方向(铅垂
方向)。
[0023]图1所示的磨削装置2具有对各种构成要素进行支承的基台4。在基台4的上表面的前端侧形成有开口4a，在开口4a内设置有搬送机器人6和使搬送机器人6沿着Y轴方向移动的Y轴移动机构(未图示)。该Y轴移动机构例如包含滚珠丝杠和电动机等。
[0024]图2是示意性示出搬送机器人6的立体图。搬送机器人6具有沿着Z轴方向延伸的圆柱状的第1驱动部8。该第1驱动部8的下部固定于Y轴移动机构。另外，在第1驱动部8的内部设置有气缸等致动器(未图示)，该致动器具有能够沿着Z轴方向移动的活塞杆，能够绕沿着Z轴方向的旋转轴旋转。
[0025]另外，在第1驱动部8的上表面侧设置有供该活塞杆通过的开口。在该活塞杆的上端部连结有搬送臂10。因此，搬送臂10能够沿着Y轴方向和Z轴方向移动。即，当使Y轴移动机构进行动作时，搬送臂10与第1驱动部8本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬送装置，其具有：盒台，其具有供收纳被加工物的盒载置的载置面，该盒具有相互对置的一对侧壁，在将该被加工物的外周缘配置在形成于该一对侧壁各自的内侧面的多个槽中的任意槽的状态下对该被加工物进行收纳；搬送机器人，其从该盒中搬出该被加工物；以及控制器，其对该搬送机器人的动作进行控制，其中，该搬送机器人具有：搬送臂，其具有能够在与该载置面垂直的第1方向和与该载置面平行的第2方向上移动的前端；机器人手部，其配设于该搬送臂的该前端且能够对该被加工物进行保持；以及拍摄单元，其固定于该搬送臂且能够拍摄载置于该载置面的该盒...

【专利技术属性】
技术研发人员：篠原光一，泽田知孝，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：