一种搬运用末端执行器制造技术

本申请涉及一种搬运用末端执行器，属于半导体芯片加工设备的技术领域，其包括基板、夹板以及滑动机构，基板其中一侧面与外部机械臂相连接；夹板设置有两个，两个夹板滑动连接在基板远离外部机械臂的一侧，两个夹板在靠近的一侧设置有弧形缺口，两个弧形缺口用于卡接晶圆；滑动机构设置在基板上，滑动机构与夹板相连接，滑动机构用于使两个夹板相互靠近或远离。本申请具有使末端执行器适用于不同规格晶圆的转移的效果。圆的转移的效果。圆的转移的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种搬运用末端执行器


[0001]本申请涉及半导体芯片加工设备的
，尤其是涉及一种搬运用末端执行器。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，晶圆的原始材料是，通过高纯度的溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，以形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在晶圆加工过程中，需要将通过机械手臂上的末端执行器将晶圆夹取，以将晶圆移动至不同的工位上。
[0003]相关技术中，末端执行器由较薄的陶瓷或者金属板材一体成型，在末端执行器的一端上开设有弧形缺口，在需要将晶圆进行移动时，末端执行器通过机械手臂移动至移动位置，接着将晶圆卡接在末端执行器的弧形缺口处，最后再通过机械手臂将晶圆移动至其他的工位上，则便完成对晶圆的移动。
[0004]针对上述中的相关技术，存在有因末端执行器由一体成型的陶瓷或金属板材组成，所以末端执行器上的弧形缺口无法改变自身截面大小，从而导致无法适用于不同规格大小的晶圆转移的缺陷。

技术实现思路

[0005]为了使末端执行器适用于不同规格晶圆的转移，本申请提供一种搬运用末端执行器。
[0006]本申请提供的一种搬运用末端执行器采用如下的技术方案：
[0007]一种搬运用末端执行器，包括基板、夹板以及滑动机构，所述基板其中一侧面与外部机械臂相连接；所述夹板设置有两个，两个所述夹板滑动连接在所述基板远离外部机械臂的一侧，两个所述夹板在靠近的一侧设置有弧形缺口，两个所述弧形缺口用于卡接晶圆；所述滑动机构设置在所述基板上，所述滑动机构与所述夹板相连接，所述滑动机构用于使两个所述夹板相互靠近或远离。
[0008]通过采用上述技术方案，在需要将晶圆搬运至预定工位上时，先通过滑动机构将两个夹板在基板上滑动至预定位置，以将两个夹板上的弧形缺口所形成的区域与晶圆形成的规格大小相符，再通过外部机械臂将晶圆卡接，接着再将晶圆移动至预定工位上，则便完成了晶圆的转移，相比于基板与夹板一体成型的方式，此种设计方式，通过滑动机构调节两个夹板之间的距离，从而便可以使末端执行器适用于不同规格大小的晶圆。
[0009]可选的，所述基板远离外部机械臂的一侧面设置有T形槽；所述滑动机构包括滑动件以及锁止件，所述滑动件包括滑动块以及滑动弹簧，所述滑动块滑动连接在所述T形槽中，所述滑动块其中一端会从所述T形槽中穿出，所述滑动块设置有两个，两个所述滑动块穿出所述T形槽的一侧分别与两个所述夹板相连接，所述滑动弹簧设置在所述T形槽中，所述滑动弹簧设置有两个，其中一个所述滑动弹簧的一端与所述T形槽的一侧壁相连接，另一
端与所述其中一个滑动块相连接，另一个所述滑动弹簧的一端与所述T形槽相对的一侧壁相连接，另一端与所述另一个滑动块相连接；所述锁止件用于使两个所述滑动块保持在所述T形槽的预定位置上。
[0010]通过采用上述技术方案，在需要调节两个夹板之间的距离时，先将两个滑动块分别移动至T形槽中的预定位置上，通过锁止件的作用下，使两个滑动块保持在T形槽中的预定位置上，从而便可以达到改变两个夹板之间的距离，并且使两个夹板始终保持预定距离的目的。
[0011]可选的，所述锁止件包括锁止板以及锁止气缸，所述锁止板滑动连接在所述T形槽中，所述锁止板用于与两个所述滑动块相抵接；所述锁止气缸设置在所述T形槽的其中一侧壁上，所述锁止气缸的活塞杆与所述锁止板相连接以使所述锁止板向着靠近或远离所述滑动块的方向运动。
[0012]通过采用上述技术方案，在两个滑动块移动至T形槽中的预定位置上后，锁止气缸会工作，锁止气缸的活塞杆会伸出，以使锁止板向着两个滑动块的方向移动，直至锁止板与两个滑动块相抵接，通过摩擦抵接的方式来限制两个滑动块的位置，从而便达到使两个滑动块保持在T形槽中的预定位置的目的。
[0013]可选的，所述T形槽在远离所述锁止板的一侧面设置有腰形孔；所述滑动块上设置有滑杆，所述滑杆能从所述腰形孔中伸出所述T形槽。
[0014]通过采用上述技术方案，通过腰型孔以及滑杆的设置，所以在调节两个夹板之间的距离时，只需要调节两个滑杆在腰形孔的位置便可以改变两个滑动块在T形槽中的位置，从而有助于提升末端执行器的实用便捷性。
[0015]可选的，所述腰形孔远离所述T形槽的一侧孔口边缘处设置有刻度。
[0016]通过采用上述技术方案，因刻度的设置，所以在更精准的调节两个滑杆之间的位置，从而可以尽量避免两个夹板之间的距离不准确而需要进行多次调节，进而有助于提升末端执行器使用的便捷性。
[0017]可选的，所述弧形缺口的内侧设置有多个气孔，所述气孔与外部气泵相连通。
[0018]通过采用上述技术方案，因气孔的设置，所以在晶圆卡接在两个夹板的弧形缺口处时，在外部气泵的作用下可以对晶圆具有吸附作用，从而可以进一步防止在搬运过程中晶圆因与夹板之间的连接强度不足而使晶圆脱离的现象。
[0019]可选的，所述气孔均匀分布设置在所述弧形缺口处。
[0020]通过采用上述技术方案，因多个气孔均匀设置在弧形缺口处，所以在晶圆卡接在弧形缺口处时，晶圆外表面在因外部气泵而产生均匀的作用力，从而可以尽量避免因晶圆外部受力不均匀而造成晶圆的损坏。
[0021]可选的，所述弧形缺口远离所述滑动块的一侧设置有弹性垫。
[0022]通过采用上述技术方案，因弹性垫的设置，所以在末端执行器夹取晶圆时，可以防止弧形缺口的内侧壁对晶圆的外表面造成损坏，从而有助于提升晶圆在加工过程中的良品率。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]1.在需要将晶圆搬运至预定工位上时，先通过滑动机构将两个夹板在基板上滑动至预定位置，以将两个夹板上的弧形缺口所形成的区域与晶圆形成的规格大小相符，再通
过外部机械臂将晶圆卡接，接着再将晶圆移动至预定工位上，则便完成了晶圆的转移，此种设计方式，通过滑动机构调节两个夹板之间的距离，从而便可以使末端执行器适用于不同规格大小的晶圆；
[0025]2.通过滑动件包括滑动块以及滑动弹簧的方式在需要调节两个夹板之间的距离时，先将两个滑动块分别移动至T形槽中的预定位置上，通过锁止件的作用下，使两个滑动块保持在T形槽中的预定位置上，从而便可以达到改变两个夹板之间的距离，并且使两个夹板始终保持预定距离的目的；
[0026]3.因多个气孔均匀设置在弧形缺口处，所以在晶圆卡接在弧形缺口处时，晶圆外表面在因外部气泵而产生均匀的作用力，从而可以尽量避免因晶圆外部受力不均匀而造成晶圆的损坏。
附图说明
[0027]图1是本实施例中末端执行器的结构示意图。
[0028]图2是本实施例中为了展示滑动机构所做的示意图。
[0029]附图标记说明：1、基板；11、T形槽；2、夹板；21、弧形缺口；22、气孔；23、弹性垫；3、滑动机构；31、滑动件；311、滑动块；312、滑动弹簧；32、锁止件；321、锁止板；322、锁止气缸；4、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬运用末端执行器，其特征在于：包括：基板(1)，其中一侧面与外部机械臂相连接；夹板(2)，设置有两个，两个所述夹板(2)滑动连接在所述基板(1)远离外部机械臂的一侧，两个所述夹板(2)在靠近的一侧设置有弧形缺口(21)，两个所述弧形缺口(21)用于卡接晶圆；滑动机构(3)，设置在所述基板(1)上，所述滑动机构(3)与所述夹板(2)相连接，所述滑动机构(3)用于使两个所述夹板(2)相互靠近或远离。2.根据权利要求1所述的一种搬运用末端执行器，其特征在于：所述基板(1)远离外部机械臂的一侧面设置有T形槽(11)；所述滑动机构(3)包括滑动件(31)以及锁止件(32)，所述滑动件(31)包括滑动块(311)以及滑动弹簧(312)，所述滑动块(311)滑动连接在所述T形槽(11)中，所述滑动块(311)其中一端会从所述T形槽(11)中穿出，所述滑动块(311)设置有两个，两个所述滑动块(311)穿出所述T形槽(11)的一侧分别与两个所述夹板(2)相连接，所述滑动弹簧(312)设置在所述T形槽(11)中，所述滑动弹簧(312)设置有两个，其中一个所述滑动弹簧(312)的一端与所述T形槽(11)的一侧壁相连接，另一端与所述其中一个滑动块(311)相连接，另一个所述滑动弹簧(312)的一端与所述T形槽(11)相对的一侧壁相连接，另一端与所述另一个滑动块(311)相连接；所述锁止件(32)用于使两个所述滑动块...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘国彬，
申请(专利权)人：深圳市德澳美科技有限公司，
类型：新型
国别省市：