根据准分子激光器的重复频率调制其波长的设备和方法技术

在用于产生多于一个波长(颜色)的激光辐射的系统中控制波长的设备和方法，其中一个或多个致动器响应于被提供的波形来控制波长。波形和/或用于控制波形的控制器的特性基于激光器的当前重复率来确定。确定当前重复率，如果它是新的，则命令新的波形。还公开了一种系统，其中取决于重复率的校正被应用于确定波长的ILC算法。ILC算法。ILC算法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】pass)中的每次曝光通过，使用不同的激光波长在晶片上进行该多于一次的曝光通过。
[0010]多焦点成像(MFI)使用多个聚焦水平(例如，经由多个波长)来有效地增加物镜的给定数值孔径(NA)的DoF。这使得能够增加成像NA以及因此的曝光宽容度(工艺窗口)，同时能够根据制造层需要通过MFI优化DoF。
[0011]此外，构成聚焦激光辐射的透镜的材料是色散的，因此不同的波长聚焦在不同的深度。这是为什么可能希望具有改变波长的能力的另一个原因。
[0012]在单色模式中，两个致动器，即步进电机和压电换能器(PZT)，彼此结合工作以稳定中心波长。在操作中，步进电机具有有限的分辨率，因而PZT被用作主致动器。然而，在双色模式中，波长稳定性基于中心波长，即两个交替光谱的平均值，并且在该模式中，PZT的任务是产生生成交替波长的波形。
[0013]作为具体示例，在生成两个不同波长的DUV光的应用中，参考波长在曝光期间具有两个设定点，即，第一波长处的第一设定点和第二波长处的第二设定点。然后，将在这两个设定点之间调制参考波长。每个波长目标变化需要预定的稳定时间。
[0014]DUV光源包括用于控制DUV光的波长的系统。通常，这些波长控制系统包括反馈和前馈补偿器以提高波长稳定性。前馈补偿器补偿波长目标中的命令变化，即波长变化事件。当这种事件发生时，必须允许稳定时间，以便系统稳定地稳定到新波长。
[0015]典型地，MFI算法假定激光器将仅以(或基本上接近)特定的重复率(例如，6kHz)在MFI模式中操作，并且因此校准和优化PZT抖动的基本波形，以在该单个操作点处实现性能。然后使用迭代学习控制(ILC)算法对该基本波形进行逐突发地修改，以补偿预期操作点之外的漂移和操作(合理地)。
[0016]然而，该假定——即，在整个晶片上只有单个重复率——在某些使用情况下可能不成立。例如，对于晶片边缘附近的场，重复率可能急剧变化。就基于每个连续场的重复率与前一场的重复率相似(即，并非与之不同)的假定来构建诸如ILC算法的算法而言，包括这种较低重复率的场可能在学习到的补偿中引入持久的破坏，这会导致晶片报废。
[0017]要求将在整个晶片上使用单个重复率的假定也限制了甚至在晶片中心处可用的重复率的范围，这可能不利地影响扫描器的剂量控制优化——在最坏的情况下，潜在地导致剂量控制器不能达到解决方案，停止生产。

技术实现思路

[0018]以下呈现了一个或多个实施例的简化概述，以便提供对这些实施例的基本理解。本概述不是所有预期实施例的广泛综述，并且不旨在标识所有实施例的关键或重要元素，也不旨在描绘任何或所有实施例的范围。其唯一目的是以简化形式呈现一个或多个实施例的一些概念，作为稍后呈现的更详细描述的序言。
[0019]根据实施例的一个方面，公开了一种激光系统，包括：触发电路，用于在至少两个突发中激发激光系统，其中第一突发包括以第一重复率激发的多个第一突发脉冲，而第二突发包括以第二重复率激发的多个第二突发脉冲，波长控制装置，适于响应于第一施加波形来控制第一突发脉冲的每个脉冲的波长，以及响应于第二施加波形来控制第二突发脉冲的每个脉冲的波长；以及比较器，用于执行所述第二重复率与所述第一重复率之间的比较，并且用于至少部分地基于所述比较来确定所述第二施加波形的一个或多个参数。如果第二
重复率不同于第一重复率，则比较器可确定使用不同于第一施加波形的第二施加波形。如果第二重复率与第一重复率相同，则比较器可确定使用与第一施加波形相同的第二施加波形。比较器可以使用第二重复率作为输入来计算第二施加波形的一个或多个参数。比较器可以包括现场可编程门阵列，其至少部分地基于第二重复率来确定第二施加波形的一个或多个参数。比较器可以包括具有查找表的存储器，其中查找表基于第二重复率返回第二施加波形的一个或多个参数。一个或多个参数可以包括第二突发波形的幅度的大小、第二突发波形的幅度的大小的时间变化、和/或对第二突发波形的反馈算法的校正。反馈算法可以是迭代学习控制算法。
[0020]根据实施例的另一方面，比较器可以在用于计算第二重复率的第二突发中的多个第一触发脉冲之后将第二施加波形施加到第二突发。比较器可以在用于计算第二重复率的第二突发中的两个第一触发脉冲之后将第二施加波形施加到第二突发。比较器可以在用于计算第二重复率的第二突发中的多个第一触发脉冲期间向第二突发施加第一触发波形。比较器可以施加第一施加波形作为第一触发波形。比较器可以施加默认波形作为第一触发波形。比较器可以施加恒定电平作为第一触发波形。
[0021]根据实施例的另一方面，激光系统还可以包括转换管理单元，用于管理第一触发波形和第二施加波形之间的转换。转换管理单元可以通过使第一触发波形和第二施加波形交叉衰落来管理第一触发波形和第二施加波形之间的转换。转换管理单元可以通过在第一触发波形的过零处从第一触发波形切换到第二施加波形来管理第一触发波形和第二施加波形之间的转换。转换管理单元可以通过在第一触发波形的局部最大值或最小值处从第一触发波形切换到第二施加波形来管理第一触发波形和第二施加波形之间的转换。
[0022]根据实施例的另一方面，公开了一种控制激光系统的方法，该方法包括：在包括以第一重复率激发的多个第一突发脉冲的第一突发中激发激光系统；在包括多个第二突发脉冲的第二突发中启动对激光系统的激发，同时确定第二突发脉冲被激发所在的第二重复率；对于确定第二突发脉冲的波长的致动器，使用第二重复率来确定第二突发波形的一个或多个参数；以及将第二突发波形施加到致动器。使用第二重复率来确定第二突发波形的一个或多个参数可以包括确定不同于第一突发波形的一个或多个参数的第二突发波形的一个或多个参数。使用第二重复率来确定第二突发波形的一个或多个参数可以包括确定与第一突发波形的参数相同的第二突发波形的参数。针对确定第二突发脉冲的波长的致动器，使用第二重复率来确定第二突发波形的一个或多个参数可以包括使用第二重复率作为输入来计算第二突发波形的参数。对于确定第二突发脉冲的波长的致动器，使用第二重复率来确定第二突发波形的一个或多个参数可以包括使用第二重复率作为现场可编程门阵列的输入来确定第二突发波形的参数。对于确定第二突发脉冲的波长的致动器，使用第二重复率来确定第二突发波形的一个或多个参数可以包括使用第二重复率在查找表中查找第二突发波形的参数。所述一个或多个参数可以包括第二突发波形的幅度的大小，第二突发波形的幅度的大小的时间变化，和/或对第二突发波形的反馈算法的校正。反馈算法可以是迭代学习控制算法。
[0023]根据实施例的另一方面，该方法还可以包括：对于确定第二突发脉冲的波长的致动器，在使用第二重复率来确定第二突发波形的一个或多个参数之前，使用第二突发中的多个第一触发脉冲来计算第二重复率。该方法还可以包括在用于计算第二重复率的第二突
发中的多个第一触发脉冲期间向第二突发施加第一触发波形。施加第一触发波形可以包括施加第一突发波形。施加第一触发波形可以包括施加默认波形。施加第一触发波形可以包括在用于计算第二重复率的第二突发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种激光系统，包括：触发电路，用于在至少两个突发中激发所述激光系统，其中第一突发包括以第一重复率激发的多个第一突发脉冲，并且第二突发包括以第二重复率激发的多个第二突发脉冲；波长控制装置，其适于响应于第一施加波形来控制所述第一突发脉冲中的每一个突发脉冲的相应波长，并且响应于第二施加波形来控制所述第二突发脉冲中的每一个突发脉冲的相应波长；以及比较器，用于执行所述第二重复率和所述第一重复率之间的比较，并且用于至少部分地基于所述比较来确定所述第二施加波形的一个或多个参数。2.如权利要求1所述的激光系统，其中如果所述第二重复率不同于所述第一重复率，则所述比较器确定使用不同于所述第一施加波形的第二施加波形。3.如权利要求1所述的激光系统，其中如果所述第二重复率与所述第一重复率相同，则所述比较器确定使用与所述第一施加波形相同的第二施加波形。4.如权利要求3所述的激光系统，其中所述比较器使用所述第二重复率作为输入来计算所述第二施加波形的一个或多个参数。5.如权利要求3所述的激光系统，其中所述比较器包括现场可编程门阵列，所述现场可编程门阵列至少部分地基于所述第二重复率来确定所述第二施加波形的一个或多个参数。6.如权利要求3所述的激光系统，其中所述比较器包括具有查找表的存储器，并且其中所述查找表基于所述第二重复率返回所述第二施加波形的一个或多个参数。7.如权利要求6所述的激光系统，其中所述一个或多个参数包括所述第二施加波形的幅度的大小。8.如权利要求6所述的激光系统，其中所述一个或多个参数包括所述第二施加波形的幅度的大小的时间变化。9.如权利要求6所述的激光系统，其中所述一个或多个参数包括对所述第二施加波形的反馈算法的校正。10.如权利要求9所述的激光系统，其中所述反馈算法是迭代学习控制算法。11.如权利要求9所述的激光系统，其中在所述第二突发中的多个触发脉冲已被用于计算所述第二重复率之后，所述比较器将所述第二施加波形施加到所述第二突发。12.如权利要求11所述的激光系统，其中在所述第二突发中的第三脉冲已被用于计算所述第二重复率之前，所述比较器将所述第二施加波形施加到所述第二突发。13.如权利要求9所述的激光系统，其中在第二突发中的多个触发脉冲已经被用于计算所述第二重复率之后，所述比较器将在所述第一突发期间施加的第一触发波形施加到所述第二突发。14.如权利要求13所述的激光系统，其中所述比较器施加所述第一施加波形作为所述第一触发波形。15.如权利要求13所述的激光系统，其中所述比较器施加默认波形作为所述第一触发波形。16.如权利要求13所述的激光系统，其中所述比较器施加恒定电平作为所述第一触发波形。17.如权利要求13所述的激光系统，还包括转换管理单元，用于管理所述第一触发波形
和所述第二施加波形之间的转换。18.如权利要求17所述的激光系统，其中所述转换管理单元通过使所述第一触发波形和所述第二施加波形交叉衰落来管理所述第一触发波形和所述第二施加波形之间的转换。19.如权利要求17所述的激光系统，其中所述转换管理单元通过在所述第一触发波形的过零处从所述第一触发波形切换到所述第二施加波形，来管理所述第一触发波形和所述第二施加波形之间的转换。20.如权利要求17所述的激光系统，其中所述转换管理单元通过在所述第一触发波形的局部最大值或最小值处从所述第一触发波形切换到所述第二施加波形，来管理所述第一触发波形和所述第二施加波形之间的转换。21.一种控制激光系统的方法，所述方法包括：在第一突发中激发所述激光系统，所述第一突发包括以第一重复率激发的多个第一突发脉冲；在包括多个第...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：西默有限公司，
类型：发明
国别省市：