脉冲光束的光谱特征选择和脉冲时序控制制造技术

一种方法包括：在以脉冲重复率产生脉冲突发的同时，以与脉冲重复率相关的频率在一组离散状态之间驱动光谱特征调节器；以及在脉冲突发的产生之间(在没有脉冲产生的同时)之间，根据由一组参数限定的驱动信号来驱动光谱特征调节器。每个离散状态对应于光谱特征的离散值。该方法包括当通过调节以下中的一项或多项来产生下一突发中的脉冲时，通过调节以下中的一项或多项来确保当产生下一突发中的脉冲时光谱特征调节器处于离散状态中的、与放大光束的光谱特征的离散值相对应的一个离散状态中：给光刻曝光装置的指令、给光谱特征调节器的驱动信号、和/或给光源的指令。动信号、和/或给光源的指令。动信号、和/或给光源的指令。

【技术实现步骤摘要】
脉冲光束的光谱特征选择和脉冲时序控制
[0001]相关申请的引用
[0002]本申请是国际申请号为PCT/US2019/020415、国际申请日为2019年3月1日、进入中国国家阶段日期为2020年9月29日、中国国家申请号为201980023674.4、专利技术名称为“脉冲光束的光谱特征选择和脉冲时序控制”的专利技术专利申请的分案申请。


[0003]所公开的主题涉及控制从向光刻曝光装置提供光的光源输出的光束的光谱特征，例如带宽或波长。

技术介绍

[0004]在半导体光刻(或光刻)中，集成电路(IC)的制造需要在半导体(例如，硅)衬底(也称为晶片)上执行的各种物理和化学工艺。光刻曝光装置(也称为扫描仪)是一种将期望图案施加到衬底的目标区域上的机器。晶片固定到载物台，以使得晶片通常沿由扫描仪的正交的X
L
和Y
L
方向限定的图像平面延伸。晶片被光束照射，该光束的波长在紫外范围内，在可见光与x射线之间，因此波长在约10纳米(nm)至约400nm之间。因此，该光束可以具有例如在深紫外线(DUV)范围内的波长(可以从约100nm下降到约400nm的波长)、或者在极紫外线(EUV)范围内的波长(在约10nm至约100nm之间的波长)。这些波长范围不精确，并且在将光视为DUV还是EUV之间可能存在重叠。
[0005]光束沿与扫描仪的Z
L
方向相对应的轴向方向传播。扫描仪的Z
L
方向正交于图像平面(X
L
‑
Y<br/>L
)。光束穿过光束传输单元，通过掩模板(或掩模)被过滤，然后投射到制备好的晶片上。晶片与光束之间的相对位置在图像平面中移动，并且该过程在晶片的每个目标区域处重复。以这种方式，芯片设计被图案化到光刻胶上，然后光刻胶被蚀刻和清洁，然后该过程重复。
[0006]对从诸如激光等光源输出的光束的光谱特征或特性(例如，带宽或波长)的准确了解在很多科学和工业应用中都很重要。例如，在深紫外(DUV)光学光刻中，可以使用对光源带宽的准确了解来控制最小特征尺寸或临界尺寸(CD)。临界尺寸是印刷在半导体衬底(也称为晶片)上的特征尺寸，因此CD可能需要精细的尺寸控制。

技术实现思路

[0007]在一些总体方面，一种方法包括：以脉冲重复率产生放大光束的脉冲突发，并且将脉冲引向光刻曝光装置。该方法包括：在产生脉冲突发的同时，以与脉冲重复率相关的频率在一组离散状态之间驱动光谱特征调节器。每个离散状态与光谱特征的多个预设离散值之中的放大光束的光谱特征的离散值相对应，使得每当产生突发中的脉冲时，光谱特征调节器处于一组离散状态中的一个离散状态中，并且放大光束的脉冲具有与离散状态相对应的光谱特征。该方法包括：在脉冲突发的产生之间以及在没有脉冲产生的同时，以与从光刻曝光装置接收的信息有关的方式驱动光谱特征调节器。而且，该方法包括确保：当产生下一突
发中的脉冲时，光谱特征调节器处于一组离散状态中的、与放大光束的光谱特征的离散值相对应的一个离散状态中。
[0008]实现可以包括以下特征中的一个或多个。例如，通过以与脉冲重复率相关的频率来驱动光谱特征调节器，可以以与从光刻曝光装置接收的信息有关的方式驱动光谱特征调节器。该方法通过调节突发间时间间隔使得突发间时间间隔是针对脉冲重复率的脉冲之间的时间间隔的整数倍，可以确保当产生下一突发中的脉冲时光谱特征调节器处于离散状态中。突发间时间间隔可以是突发中的最后脉冲与下一突发中的第一脉冲之间的时间间隔。
[0009]该方法可以通过以下方式来确保当产生下一突发中的脉冲时光谱特征调节器处于离散状态中：从光刻曝光装置接收关于光刻曝光装置将请求下一突发的产生的时间的指示；以及如果所接收的指示指示下一突发中的第一脉冲的产生与光谱特征调节器处于离散状态中的时间之间的时间失配，则基于所接收的指示来修改与驱动光谱特征调节器相关联的一个或多个参数。通过修改与光谱特征调节器相关联的驱动信号的频率和相位中的一个或多个，可以修改与驱动光谱特征调节器相关联的一个或多个参数。该方法还可以包括：如果驱动光谱特征调节器所凭借的频率由于失配而被修改，则在下一突发开始时改变驱动光谱特征调节器的频率以使其与脉冲重复率相关。
[0010]放大光束的光谱特征可以是放大光束的波长。放大光束的波长可以在深紫外范围内。通过驱动光谱特征调节器，使得针对放大光束的每个脉冲放大光束的波长在两个不同波长之间改变，可以以与脉冲重复率相关的频率在一组离散状态之间驱动光谱特征调节器。
[0011]通过驱动光谱特征调节器，使得针对放大光束的每隔一个脉冲放大光束的波长在两个不同波长之间改变，可以以与脉冲重复率相关的频率在一组离散状态之间驱动光谱特征调节器。
[0012]通过根据正弦驱动信号来驱动光谱特征调节器，可以在一组离散状态之间驱动光谱特征调节器。
[0013]通过在离散位置之间移动与前导光束相互作用的光学器件，可以驱动光谱特征调节器。光学器件的每个离散位置对应于离散状态，并且放大光束是由前导光束形成的。可以通过旋转棱镜来移动与光束相互作用的光学器件，前导光束穿过该棱镜。
[0014]驱动光谱特征调节器的频率可以是脉冲重复率的一半。驱动光谱特征调节器的频率可以是脉冲重复率的四分之一。
[0015]该方法可以：通过确保当产生下一突发中的初始脉冲时光谱特征调节器处于一组离散状态中的一个离散状态中，而确保当产生下一突发中的脉冲时光谱特征调节器处于一组离散状态中的一个离散状态中。
[0016]可以通过根据一个或多个固定参数驱动光谱特征调节器，并且从光刻曝光装置接收产生下一脉冲突发的请求，而以与从光刻曝光装置接收的信息有关的方式驱动光谱特征调节器。该方法可以：通过相对于从光刻曝光装置对产生下一脉冲突发的请求的接收来将下一脉冲突发的产生延迟大于零的时间段，而确保当产生下一突发中的脉冲时光谱特征调节器处于离散状态中。可以通过以下方式来将下一脉冲突发的产生延迟一段时间：延迟下一脉冲突发，直到当产生下一脉冲突发中的脉冲时光谱特征调节器可以被驱动到一组离散状态中的、与放大光束的光谱特征的离散值相对应的一个离散状态。
[0017]来自光刻曝光装置的如下信息可以在突发结束之前接收，该信息与在脉冲突发的产生之间以及在没有脉冲突发产生的同时驱动光谱特征调节器的方式有关。来自光刻曝光装置的如下信息可以在脉冲突发的产生之间接收：该信息与在脉冲突发的产生之间以及在没有脉冲突发产生的同时驱动光谱特征调节器的方式有关。
[0018]该方法可以：通过向光刻曝光装置发送信号，而确保当产生下一突发中的脉冲时光谱特征调节器处于一组离散状态中的一个离散状态中。该信号包括与在脉冲突发的产生之间以及在没有脉冲产生的同时驱动光谱特征调节器的方式有关的信息。
[0019]在其他总体方面，一种装置包括：被配置为与光刻曝光装置通信并且从光刻曝光装置接收信息的接口；光谱特征调节器；以及与接口和光谱特征调节器通信的光学装置。光学装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种装置，包括：接口，被配置为与光刻曝光装置通信；光谱特征调节器；以及控制装置，与所述接口、所述光谱特征调节器和光源通信，并且被配置为：指示所述光源以脉冲重复率产生放大光束的脉冲突发以供所述光刻曝光装置使用，以对衬底进行图案化；在所述脉冲突发期间，以与所述脉冲重复率相关的频率在一组离散状态之间驱动所述光谱特征调节器，其中每个离散状态与光谱特征的多个预设离散值之中的所述放大光束的所述光谱特征的离散值相对应；在所述脉冲突发的产生之间以及在没有脉冲产生的同时，根据由一组参数限定的驱动信号来驱动所述光谱特征调节器；以及通过调节以下中的一项或多项来确保当产生下一突发中的脉冲时所述光谱特征调节器处于所述一组离散状态中的、与所述放大光束的所述光谱特征的离散值相对应的一个离散状态中：给所述光刻曝光装置的指令、给所述光谱特征调节器的所述驱动信号、和/或给所述光源的指令。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述控制装置被配置为：通过调节给所述光谱特征调节器的所述驱动信号，确保当产生所述下一突发中的脉冲时所述光谱特征调节器处于所述一组离散状态中的、与所述放大光束的所述光谱特征的离散值相对应的一个离散状态中。3.根据权利要求2所述的装置，其中：所述控制装置被配置为：通过所述接口，从所述光刻曝光装置接收关于...

【专利技术属性】
技术研发人员：K，
申请(专利权)人：西默有限公司，
类型：发明
国别省市：