一种激光相干长度可调的装置制造方法及图纸

本公开提供一种激光相干长度可调的装置，装置包括：激光器、色散部件和发散角控制部件；所述色散部件设置于所述激光器输出激光的光路上，激光光束在输出之前以第一角度入射到所述色散部件后发生色散，使得出射激光光束的各光谱成分按照顺序依次排列，所述第一角度可变，激光光束的色散随着所述第一角度的变化而相应变化；所述发散角控制部件设置于经所述色散部件色散的出射激光光束的光路上，可对该出射激光光束的发散角的大小进行控制，相较于现有技术，本公开可以通过改变光束经过色散部件的色散和/或光束发散角，实现连续调节输出激光相干长度的目的。光相干长度的目的。光相干长度的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种激光相干长度可调的装置


[0001]本公开涉及激光
，具体涉及一种激光相干长度可调的装置。

技术介绍

[0002]相干性是描述光源物理特性的重要指标，通常情况下，光的相干性理解为：在不同的空间点、不同的时刻的光波场某些特性的相关性。激光光源因其良好的相干性被广泛应用于许多光学及交叉学科领域。而对于一些精密测量技术，高相干光源反而会引入散斑噪声，降低测量精度。在很多应用中具有动态相干长度的光源更占优势，例如：光学相干断层扫描、光学元件高精度面型检测等

[0003]以光学元件高精度面型检测为例，大口径、超高精密、低面形的光学元件在光刻投影物镜、重力波探测用迈克尔逊干涉仪等研究领域里具有极为重要的作用。点衍射干涉仪(Point Diffraction Interferometer，PDI)作为目前面形绝对测量领域中精度最高的设备，是解决超高精度光学元件面形检测的重要设备，同时也是高精度系统集成装调中系统波像差高精度检测的重要设备。
[0004]在利用PDI对物镜系统波像差或反射元件面形误差进行检测时，其使用的光源相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光相干长度可调的装置，其特征在于，包括：激光器、色散部件和发散角控制部件；所述色散部件设置于所述激光器输出激光的光路上，激光光束在输出之前以第一角度入射到所述色散部件后发生色散，使得出射激光光束的各光谱成分按照顺序依次排列，所述第一角度可变，激光光束的色散随着所述第一角度的变化而相应变化；所述发散角控制部件设置于经所述色散部件色散的出射激光光束的光路上，可对该出射激光光束的发散角的大小进行控制。2.根据权利要求1所述的激...

【专利技术属性】
技术研发人员：范元媛，彭锦，王倩，亓岩，韩春蕊，颜博霞，周密，韩哲，王延伟，崔惠绒，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：新型
国别省市：