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一种激光相干长度可调的装置制造方法及图纸
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下载一种激光相干长度可调的装置的技术资料
文档序号:39145217
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本公开提供一种激光相干长度可调的装置,装置包括:激光器、色散部件和发散角控制部件;所述色散部件设置于所述激光器输出激光的光路上,激光光束在输出之前以第一角度入射到所述色散部件后发生色散,使得出射激光光束的各光谱成分按照顺序依次排列,所述第一...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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