【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开的主题涉及诸如用于集成电路光刻制造工艺的激光产生的光源。
技术介绍
1、在深紫外(“duv”)激光源中，通过使等离子体放电发生在放电室中的电极之间来产生激光辐射脉冲。常规duv室以负极性来被激发，其中下部电极在放电室的底部处于地电位，上部电极在放电室的顶部接收高负电压脉冲。这种布置用于初始电极钝化期间的制造。它也是腔室在场中实际操作时使用的装置。在这里和其它地方，术语“上部”和“下部”用于指示电极的相对位置，而不一定是它们相对于重力的位置，尽管电极可以被布置为使得“上部”和“下部”也对应于它们相对于重力的位置。
2、这些激光器通常被配置为产生称为突发的脉冲序列。用于这种腔室的一个操作参数是作为施加在电极两端的电压的函数而产生的激光能量的量。对于有效的激光器，对于电极之间的给定电势差应该产生尽可能多的能量。
3、用于评估激光室性能的另一标准是作为电极两端电压的函数的能量产生的稳定性。换句话说，通常希望由给定电极电压产生的激光辐射能量的量随时间尽可能保持恒定。然而，随着激光室及其电极的成熟，存在能量相对于电压关系变化的趋势，导致能量电压不稳定性(evi)。期望限制突发到突发和脉冲到脉冲的给定电势差的能量变化。
4、evi的一个原因是放电室中的放电倾向于集中在导电电极的表面处并在导电电极的表面处形成瞬态放电，即，丝状放电或流光放电。该过程从产生激光辐射的等离子体中获取能量。它还导致能量相对于电压关系的不可预测的变化。因此，减小流光放电可导致evi的减小。
5、流光放电倾向于在电极表
6、钝化是通过向阴极施加负脉冲以钝化阴极和阳极来制备用于服务的电极的过程的一部分。即使当阳极和阴极由类似材料制成时，钝化也倾向于优先地(更快速和完全地)发生在正阳极上，而不发生在负阴极上。因此，钝化阴极通常比钝化阳极花费更多的时间(即，更多的脉冲)。
7、在现场中，使用期间固有地发生一些钝化。然而，阳极比阴极更受益于这种固有钝化。因此，阴极更易于产生流光放电。
8、因此，希望能够提供一种用于激光电极的装置，其中在制造期间可以更快速地调节电极。还希望能够在腔室被部署到现场之后增强电极放电表面上的固有钝化。在本文中，出现了对本专利技术的需要。
技术实现思路
1、以下给出了一个或多个实施例的简洁概述，以便提供对本专利技术的基本理解。本概述不是所有预期实施例的广泛综述，并且不旨在标识所有实施例的关键或重要元素，也不描绘任何或所有实施例的范围。其唯一目的是以简化形式呈现一个或多个实施例的一些概念，作为稍后呈现的更详细描述的序言。
2、根据一个方面，本公开的主题通过反转放电的极性来改善阴极的钝化。因此，上部电极在反向极性放电期间用作阳极。
3、根据一个实施例的一个方面，公开了一种用于激光放电室的脉冲电源，该激光放电室包括第一电极和第二电极，该脉冲电源具有第一状态和第二状态，在第一状态中，该脉冲电源产生具有第一极性的至少一个脉冲并将其供应给第一电极，在第二状态中，该脉冲电源产生具有第二极性的至少一个反极性脉冲并将其供应给第一电极，该第二极性与第一极性相反。电源可以适于响应于控制信号而在第一状态和第二状态之间转变。
4、根据一个实施例的另一方面，公开了一种激光器，其包括：放电室；第一电极，其至少部分地定位在放电室内；第二电极，其至少部分地定位在放电室内，第一电极具有第一放电表面，第二电极具有第二放电表面，第一放电表面和第二放电表面被布置为跨间隙彼此面对；以及脉冲电源，其被布置为产生电能的脉冲并将电能的脉冲供应给第一电极。其中，脉冲电源具有第一状态和第二状态，在第一状态中，脉冲电源产生具有第一极性的多个第一脉冲并将其供应给第一电极供，在第二状态中，脉冲电源产生第二极性的多个第二脉冲并将其供应给第一电极，第二极性与第一极性相反。
5、激光器还可以包括：计量单元，其被布置为测量并产生多个第一脉冲的evi特性；以及控制单元，其被布置为接收输出，并适于基于多个第一脉冲的evi的evi特性来产生控制信号，其中脉冲电源被布置为接收控制信号，并适于响应于控制信号而从第一状态转变到第二状态。evi的特性可以是evi的大小。evi的特性可以是evi的频率。
6、根据一个实施例的另一方面，公开了一种激光器，其包括：放电室；至少部分地定位在放电室内的上部电极，至少部分地定位在放电室内的下部电极，上部电极具有上部电极放电表面并且下部电极具有下部电极放电表面，上部电极放电表面和下部电极放电表面被布置为跨间隙彼此面对；以及脉冲电源，其被布置为产生电能的脉冲并将电能的脉冲供应给上部电极。脉冲电源具有第一状态和第二状态，在第一状态中，脉冲电源产生多个负向脉冲并将其供应给上部电极，在第二状态中，脉冲电源产生多个正向脉冲并将其供应给上部电极。
7、该激光器还可以包括：计量单元，其被布置为测量并产生指示激光器的evi的输出；以及控制单元，其被布置为接收输出并适于基于多个负向脉冲的evi特性电压来产生控制信号，其中脉冲电源被布置为接收控制信号并适于响应于控制信号而从第一状态转变到第二状态。
8、根据一个实施例的另一方面，公开了一种操作用于激光放电室的脉冲电源的方法，激光放电室包括第一电极和第二电极，该方法包括：使脉冲电源在第一状态中操作，在第一状态中，脉冲电源产生具有第一极性的至少一个脉冲并将其供应给第一电极；以及使脉冲电源转变到第二状态，在第二状态中，脉冲电源产生具有第二极性的至少一个反极性脉冲并将其供应给第一电极，第二极性与第一极性相反。使脉冲电源转变到第二状态可以包括接收控制信号。
9、根据一个实施例的另一方面，公开了一种操作激光器的方法，该激光器包括：放电室；至少部分地定位在该放电室内的第一电极，以及至少部分地定位在该放电室内的第二电极，该第一电极具有第一放电表面并且该第二电极具有第二放电表面，该第一放电表面和该第二放电表面被布置为跨间隙彼此面对；以及被布置为向第一电极提供电能的脉冲的脉冲电源，该方法包括：使该脉冲电源在第一模式中操作，在该第一模式中该脉冲电源向该第一电极供应具有第一极性的脉冲的第一序列，以及使脉冲电源转变，以在第二模式中操作，在第二模式中，脉冲电源向第一电极供应具有第二极性的脉冲的第二序列，第二极性与第一极性相反。
10、该方法还可包括测量和产生指示激光器的evi特性的输出，并基于输出和脉冲的第一序列的evi特性而产生控制信号，其中使脉冲电源转变包括：脉冲电源接收控制信号并响应于控制信号而从第一模式转变到第二模式。
11、根据一个实施例的另一方面，公开了一种操作激光器的方法，该激光器包括：放电室；至少部分地定位在放电室内的上部电极，以及至少部分地定位在放电室内的下部电极；具有上部电极放电表面的阴本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于激光放电室的脉冲电源，所述激光放电室包括第一电极和第二电极，所述脉冲电源具有第一状态和第二状态，在所述第一状态中，所述脉冲电源产生具有第一极性的至少一个脉冲并将所述至少一个脉冲供应给所述第一电极，在所述第二状态中，所述脉冲电源产生具有第二极性的至少一个反极性脉冲并将所述至少一个反极性脉冲供应给所述第一电极，所述第二极性与所述第一极性相反。
2.根据权利要求1所述的脉冲电源，其中所述电源适于响应于控制信号而在所述第一状态与所述第二状态之间转变。
3.一种激光器，包括：
4.根据权利要求3所述的激光器，还包括：
5.根据权利要求4所述的激光器，其中所述EVI的所述特性是所述EVI的大小。
6.根据权利要求4所述的激光器，其中所述EVI的所述特性是所述EVI的出现频率。
7.根据权利要求3所述的激光器，还包括：
8.一种激光器，包括：
9.根据权利要求8所述的激光器，还包括：
10.一种操作用于激光放电室的脉冲电源的方法，所述激光放电室包括第一电极和第二电极，所述方法
11.根据权利要求10所述的方法，其中使所述脉冲电源转变到所述第二状态包括接收控制信号。
12.一种操作激光器的方法，所述激光器包括：放电室；至少部分地定位在所述放电室内的第一电极，以及至少部分地定位在所述放电室内的第二电极，所述第一电极具有第一放电表面并且所述第二电极具有第二放电表面，所述第一放电表面和所述第二放电表面被布置为跨间隙彼此面对；以及被布置为向所述第一电极提供电能的脉冲的脉冲电源，所述方法包括：
13.根据权利要求12所述的方法，还包括：
14.根据权利要求13所述的方法，其中所述至少一个EVI特性是所述EVI的大小。
15.根据权利要求13所述的方法，其中所述至少一个EVI特性是所述EVI的出现频率。
16.一种操作激光器的方法，所述激光器包括：放电室；至少部分地定位在所述放电室内的上部电极，以及至少部分地定位在所述放电室内的下部电极，所述上部电极具有上部电极放电表面并且所述下部电极具有下部电极放电表面，所述上部电极放电表面和所述下部电极放电表面被布置为跨间隙彼此面对；以及被布置为产生电能的脉冲并将所述脉冲供应给所述上部电极的脉冲电源，所述方法包括：
17.根据权利要求16所述的方法，其中还包括：
18.一种调节第一电极和第二电极的方法，包括：
19.根据权利要求18所述的方法，其中在调节期间施加的具有所述第一极性的脉冲的数目与在调节期间施加的具有所述第二极性的脉冲的数目成预定比率。
20.一种对待调节的电极进行调节以供腔室使用的方法，所述方法包括：
21.一种用于激光放电室的脉冲电源系统，所述激光放电室包括第一电极和第二电极，所述脉冲电源系统包括：
22.根据权利要求21所述的脉冲电源系统，其中所述EVI的所述至少一个特性是所述EVI的大小。
23.根据权利要求21所述的脉冲电源系统，其中所述至少一个EVI特性是所述EVI的出现频率。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于激光放电室的脉冲电源，所述激光放电室包括第一电极和第二电极，所述脉冲电源具有第一状态和第二状态，在所述第一状态中，所述脉冲电源产生具有第一极性的至少一个脉冲并将所述至少一个脉冲供应给所述第一电极，在所述第二状态中，所述脉冲电源产生具有第二极性的至少一个反极性脉冲并将所述至少一个反极性脉冲供应给所述第一电极，所述第二极性与所述第一极性相反。
2.根据权利要求1所述的脉冲电源，其中所述电源适于响应于控制信号而在所述第一状态与所述第二状态之间转变。
3.一种激光器，包括：
4.根据权利要求3所述的激光器，还包括：
5.根据权利要求4所述的激光器，其中所述evi的所述特性是所述evi的大小。
6.根据权利要求4所述的激光器，其中所述evi的所述特性是所述evi的出现频率。
7.根据权利要求3所述的激光器，还包括：
8.一种激光器，包括：
9.根据权利要求8所述的激光器，还包括：
10.一种操作用于激光放电室的脉冲电源的方法，所述激光放电室包括第一电极和第二电极，所述方法包括：
11.根据权利要求10所述的方法，其中使所述脉冲电源转变到所述第二状态包括接收控制信号。
12.一种操作激光器的方法，所述激光器包括：放电室；至少部分地定位在所述放电室内的第一电极，以及至少部分地定位在所述放电室内的第二电极，所述第一电极具有第一放电表面并且所述第二电极具有第二放电表面，所述第一放电表面和所述第二放电表面被布置为跨间隙彼此面...
【专利技术属性】
技术研发人员：王昱达，P·C·梅尔彻，尤昌琦，A·J·小艾芬伯格，
申请(专利权)人：西默有限公司，
类型：发明
国别省市：
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