舟托及石墨舟定位装置制造方法及图纸

本申请公开了一种舟托及石墨舟定位装置，舟托包括底托，底托设有多个承载区，各承载区用于承载石墨舟。本申请的舟托能够一次性承载多个石墨舟，有利于提升石墨舟定位装置的定位效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
舟托及石墨舟定位装置


[0001]本申请涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种舟托及石墨舟定位装置。

技术介绍

[0002]在硅基太阳能电池的制造工艺过程中，会采用薄膜沉积工艺在电池片的表面镀膜。镀膜是为了减少反射光、增加入射光，进而提高电池片的光电转换效率。此外，镀膜还具有抗氧化的作用，由此可保护电池片。镀膜的方法有很多，其中一种就是等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，简称PECVD)，该方法是对硅片进行氮化硅真空镀膜。
[0003]在电池片的镀膜过程中，需要用到石墨舟作为载具。在镀膜前，要将未镀膜的硅片插入到石墨舟，相邻的石墨舟片会通过卡点卡住硅片。之后，将装载硅片的石墨舟放置在真空镀膜设备的真空炉内进行镀膜。镀膜工艺完成后取出石墨舟，待石墨舟冷却后，再将镀膜后的硅片从石墨舟中取出，送往下一道工序。
[0004]目前，将硅片插入石墨舟和将硅片从石墨舟取出的动作基本都由工业机器人完成，工业机器人对硅片的位置精度要求较高。因此，在插入硅片和取出硅片的过程中，需要对石墨舟进行定位。相关技术中，石墨舟定位装置的舟托由于布局不合理，导致石墨舟定位装置的定位效率较低，无法满足日益增长的硅片镀膜需求。

技术实现思路

[0005]本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种舟托，能够一次性承载多个石墨舟，由此有利于提升石墨舟定位装置的定位效率。
[0006]本申请还提出一种具有上述舟托的石墨舟定位装置。
[0007]根据本申请的第一方面实施例的舟托，包括：
[0008]底托，所述底托设有多个承载区，各所述承载区用于承载石墨舟。
[0009]根据本申请实施例的舟托，至少具有如下有益效果：底托设置多个承载区，每个承载区均可承载石墨舟，通过增加可承载的石墨舟的数量，使石墨舟定位装置具备一次性定位多个石墨舟的基础，由此有利于提升石墨舟定位装置的定位效率。
[0010]根据本申请的一些实施例，所述底托设有两个所述承载区，两个所述承载区沿所述底托的长度方向排列。
[0011]根据本申请的一些实施例，还包括支撑单元，每个所述承载区均安装有所述支撑单元，所述支撑单元包括：
[0012]第一支撑组件，包括第一支撑块和第一转动件，所述第一支撑块固定于所述底托，所述第一转动件与所述第一支撑块转动连接，所述第一转动件用于支撑所述石墨舟的一端；
[0013]第二支撑组件，包括第二支撑块和第二转动件，所述第二支撑块固定于所述底托，所述第二转动件与所述第二支撑块转动连接，所述第二转动件用于支撑所述石墨舟的另一
端。
[0014]根据本申请的一些实施例，所述第一转动件包括第一滚轮或第一滚珠，所述第二转动件包括第二滚轮或第二滚珠。
[0015]根据本申请的一些实施例，所述第一支撑组件还包括：
[0016]第一限位件，所述第一限位件安装于所述第一支撑块，所述第一限位件用于抵持所述石墨舟的所述一端，以限制所述石墨舟沿第一方向的运动，其中，所述第一方向为所述第一支撑块远离所述第二支撑块的方向。
[0017]根据本申请的一些实施例，所述第一支撑组件还包括：
[0018]第二限位件，所述第二限位件安装于所述第一支撑块，所述第二限位件用于抵持所述石墨舟的所述一端，以限制所述石墨舟沿第二方向的运动，其中，所述第二方向与所述第一方向相反。
[0019]根据本申请的一些实施例，所述第一限位件包括第三滚轮，所述第二限位件包括第四滚轮，所述第三滚轮和所述第四滚轮均与所述第一支撑块转动连接。
[0020]根据本申请的第二方面实施例的石墨舟定位装置，包括：
[0021]机架；
[0022]上述的舟托；
[0023]承载平台，用于承载所述舟托；
[0024]第一定位组件，用于限定所述石墨舟相对所述机架沿所述石墨舟的宽度方向的位置；
[0025]第二定位组件，用于限定所述石墨舟相对所述机架沿所述石墨舟的长度方向的位置。
[0026]根据本申请实施例的石墨舟定位装置，至少具有如下有益效果：通过使用上述的舟托，石墨舟定位装置可一次性定位多个石墨舟，石墨舟定位装置的定位效率高，由此有利于提升硅片的镀膜效率。
[0027]根据本申请的一些实施例，所述第一定位组件包括：
[0028]定位件，固定于所述机架，所述定位件用于与至少两个所述石墨舟的宽度方向的一端抵持；
[0029]推压件，与所述定位件相面对设置，所述推压件用于与至少两个所述石墨舟的宽度方向的另一端抵持；
[0030]第一驱动组件，用于驱使所述推压件靠近或远离所述定位件。
[0031]根据本申请的一些实施例，还包括位移组件，所述位移组件用于驱使所述承载平台靠近或远离所述定位件。
[0032]本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0033]下面结合附图和实施例对本申请做进一步的说明，其中：
[0034]图1为本申请的第一实施例的舟托的立体图；
[0035]图2为本申请的第二实施例的舟托的示意图；
[0036]图3为石墨舟的立体图；
[0037]图4为本申请的实施例的石墨舟定位装置的立体图；
[0038]图5为图4中石墨舟定位装置的爆炸图；
[0039]图6为图4中石墨舟定位装置的第一定位组件的一部分的立体图；
[0040]图7为图4中石墨舟定位装置的第二定位组件的一部分的爆炸图；
[0041]图8为图4中石墨舟定位装置的第二定位组件的另一部分的爆炸图；
[0042]图9为图4中石墨舟定位装置的底部平台的爆炸图。
[0043]附图标记：
[0044]舟托100、底托110、承载区111、支撑单元120、第一支撑组件121、第二支撑组件122、第一支撑块123、第一转动件124、第一限位件125、第二限位件126、第二转动件127、第二支撑块128；
[0045]第一定位组件200、定位件210、推压件220、第一驱动组件230、第一安装座231、第一气缸232、第一连接件233、第一连接板234、第一通孔235、第一滑动组件240、第一滑轨241、第一滑块242；
[0046]第二定位组件300、第一推动件310、第五滚轮311、第一安装架312、第一轴313、第二驱动组件320、第二安装座330、第四驱动组件340、第二滑动组件350、第二滑块351、第二滑轨352、第二安装架360、第三驱动组件370、第二推动件380；
[0047]底部平台400、承载平台410、架体411、第五驱动组件412、主动带轮413、同步带414、从动带轮415、位移组件420、第二气缸421、第三安装座422、第二连接件423、连接块424、限本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.舟托，其特征在于，包括：底托，所述底托设有多个承载区，各所述承载区用于承载石墨舟：支撑单元，每个所述承载区均安装有所述支撑单元，所述支撑单元包括第一支撑组件和第二支撑组件；所述第一支撑组件包括第一支撑块和第一转动件，所述第一支撑块固定于所述底托，所述第一转动件与所述第一支撑块转动连接，所述第一转动件用于支撑所述石墨舟的一端；所述第二支撑组件包括第二支撑块和第二转动件，所述第二支撑块固定于所述底托，所述第二转动件与所述第二支撑块转动连接，所述第二转动件用于支撑所述石墨舟的另一端。2.根据权利要求1所述的舟托，其特征在于，所述底托设有两个所述承载区，两个所述承载区沿所述底托的长度方向排列。3.根据权利要求1所述的舟托，其特征在于，所述第一转动件包括第一滚轮或第一滚珠，所述第二转动件包括第二滚轮或第二滚珠。4.根据权利要求1所述的舟托，其特征在于，所述第一支撑组件还包括：第一限位件，所述第一限位件安装于所述第一支撑块，所述第一限位件用于抵持所述石墨舟的所述一端，以限制所述石墨舟沿第一方向的运动，其中，所述第一方向为所述第一支撑块远离所述第二支撑块的方向。5.根据权利要求4所述的舟托，其特征在于，所述第一支...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟志安，黄政，林博辉，周辉，丁岩，张河，蒋文彬，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：