组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法技术

本发明专利技术涉及一种组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法，组合舟包括：外舟体，设有具有开口的容纳空间；独立于外舟体设置的单舟，用于放置基片；单舟能够经开口移入容纳空间内或者经开口从容纳空间移出。当需要进行水平载片时，将硅片放入单舟，将单舟移入外舟体内；而当需要进行竖直载片时，对外舟体的结构做适应性调整，将硅片放入单舟并旋转90

【技术实现步骤摘要】
组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法


[0001]本专利技术涉及半导体处理
，特别是涉及一种组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法。

技术介绍

[0002]随着太阳能发电的普及，相关的光伏产品需求量越来越大，因此对光伏设备的要求越来越高。如在太阳能电池片的生产过程中，需要用到处理设备以对硅片进行处理。其中，原子层沉积ALD镀膜设备能够实现在硅片表面的镀膜，在太阳能电池片的生产过程中发挥着重要作用。
[0003]原子层沉积ALD镀膜设备包括载片舟，镀膜时，装片设备将硅片装载于载片舟上，而后硅片与载片舟一同进入处理设备的处理室中，向处理室中通入工艺气体，以在硅片上形成一层薄膜。
[0004]但是，由于处理室的大小限制，一种处理设备一般只能适配一种类型的载片舟，载片舟不便于实现水平载片与竖直载片之间的切换，即为，传统的载片舟不便于硅片竖直摆放与水平摆放的兼容。若要实现水平载片与竖直载片的切换，需要更换整个载片舟或者处理设备的其他结构。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对传统的载片舟不便于水平载片与竖直载片之间的切换且容易出现绕镀现象的问题，提供一种能够实现水平载片与竖直载片之间切换且改善绕镀问题的组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法。
[0006]一种组合舟，所述组合舟包括：外舟体，设有具有开口的容纳空间；独立于所述外舟体设置的单舟，用于放置基片；其中，所述单舟能够经所述开口移入所述容纳空间内或者经所述开口从所述容纳空间移出。
[0007]在其中一个实施例中，所述外舟体内具有多个所述容纳空间，所述单舟的数量为多个，每个所述容纳空间内能够容纳一个所述单舟。
[0008]在其中一个实施例中，所述外舟体内设有隔板以在第一方向上使得所述外舟体内形成多组容纳空间组，每组所述容纳空间组包括多个在第二方向上排布的所述容纳空间；所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一方向为所述外舟体的宽度方向，所述第二方向为所述外舟体的长度方向。
[0009]在其中一个实施例中，所述单舟包括第一安装板、第二安装板、固定柱及拨杆，所述第一安装板与所述第二安装板相互间隔且相对设置，所述固定柱固定连接所述第一安装板与所述第二安装板；所述拨杆与所述第一安装板及所述第二安装板均活动连接，以相对于所述第一安装板及所述第二安装板在第一位置与第二位置之间运动；当所述拨杆处于所
述第一位置时，所述拨杆突出所述第一安装板；当所述拨杆处于所述第二位置时，所述拨杆突出所述第二安装板；所述单舟经所述开口移入所述容纳空间到位后，所述拨杆能够从所述第一位置切换至所述第二位置。
[0010]在其中一个实施例中，所述拨杆处于所述第一位置时，所述拨杆上的卡槽与所述固定柱上的卡槽一一对齐；所述拨杆处于所述第二位置时，所述拨杆上的卡槽与所述固定柱上的卡槽错位；所述卡槽用于放置基片。
[0011]在其中一个实施例中，所述外舟体上设有第一配合部，所述单舟移入所述容纳空间到位时，所述第一配合部施加作用于所述拨杆，使得所述拨杆从所述第一位置运动至所述第二位置。
[0012]在其中一个实施例中，所述第一配合部为凸设于所述外舟体内表面的配合块，所述单舟移入所述容纳空间到位时，所述配合块按压所述拨杆使其从所述第一位置运动至所述第二位置。
[0013]在其中一个实施例中，所述外舟体上设有避让槽，所述避让槽用于避让所述拨杆，以限制所述单舟在移出所述外舟体的过程中从所述第二位置运动至所述第一位置。
[0014]在其中一个实施例中，当所述拨杆处于所述第二位置时，所述拨杆突出所述第二安装板；所述外舟体上设有第二配合部，所述单舟从所述容纳空间移出时，所述第二配合部能够施加作用于所述拨杆，使得所述拨杆从所述第二位置运动至所述第一位置。
[0015]在其中一个实施例中，所述固定柱与所述拨杆共同围合形成横截面呈长方形的容纳腔，所述容纳腔的每条边上均设有所述固定柱和/或所述拨杆，位于所述容纳腔的至少一条边上的结构与所述第一安装板及所述第二安装板可拆卸连接。
[0016]在其中一个实施例中，所述容纳腔的每条边上均设有所述固定柱及所述拨杆，位于所述容纳腔的其中一条边上的所述固定柱及所述拨杆与所述第一安装板及所述第二安装板可拆卸连接。
[0017]在其中一个实施例中，所述外舟体内设有导向槽，以引导所述单舟移入或移出所述容纳空间。
[0018]在其中一个实施例中，所述外舟体上设有第一卡接部，所述单舟上设有第二卡接部，当所述单舟移入到位时，所述第一卡接部与所述第二卡接部卡接，以固定所述单舟。
[0019]在其中一个实施例中，所述组合舟还包括均流件，所述均流件安装于所述外舟体上，所述均流件被构造为使得气体均匀流动至位于所述外舟体内的所述单舟内。
[0020]在其中一个实施例中，所述均流件与所述外舟体可拆卸连接。
[0021]一种单舟，应用于如上述所述的组合舟，所述单舟包括：相互间隔且相对设置的第一安装板与第二安装板；固定柱及拨杆，所述固定柱固定连接所述第一安装板与所述第二安装板，所述拨杆与所述第一安装板及所述第二安装板均活动连接，以相对于所述第一安装板及所述第二安装板在第一位置与第二位置之间运动；所述拨杆处于所述第一位置时，所述拨杆突出所述第一安装板；所述拨杆处于所述第二位置时，所述拨杆突出所述第二安装板；
所述拨杆处于所述第一位置时，所述拨杆上的卡槽与所述固定柱上的卡槽一一对齐；所述拨杆处于所述第二位置时，所述拨杆上的卡槽与所述固定柱上的卡槽错位；所述卡槽用于放置基片。
[0022]一种处理设备，包括如上述所述的组合舟，或者如上述所述的单舟。
[0023]一种载片方法，采用如上述所述的组合舟，包括步骤：将基片装载于所述单舟内；将所述单舟经所述开口移入所述容纳空间内。
[0024]一种处理方法，采用如上述所述的处理设备，包括步骤：将完成载片后的所述组合舟放入处理室内；向所述处理室内通入工艺气体。
[0025]上述组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法，当需要进行水平载片时，将基片放入单舟，将单舟移入外舟体内；而当需要进行竖直载片时，对外舟体的结构做适应性调整，将基片放入单舟并旋转90
°
后放入调整后的外舟体中即可。相对于现有技术中一体设置的载片舟，该组合舟采用分体设置的外舟体与单舟的方式，在水平载片与竖直载片之间切换时，在不改变处理设备其他结构的情况下，不需要改变单舟的结构，只需要调整外舟体的结构即可，便于实现水平载片与竖直载片之间的切换。同时，本申请实施例提供的组合舟，在水平载片与竖直载片之间切换时，由于只需要调整外舟体的结构即可，还节省了成本。
附图说明
[0026]图1为本申请一实施例提供的组合舟的轴测图；图2为图1中所示的组合舟的另一视角的轴测图；图3为图1中所示的组合舟的单舟的轴测图；图4为图3中所示的单舟的另一视角的轴测图；图5为图3中所示的单舟的截面图（图5中的拨杆均处于第一位置）；图6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种组合舟，其特征在于，所述组合舟包括：外舟体（10），设有具有开口的容纳空间（11）；独立于所述外舟体（10）设置的单舟（20），用于放置基片；其中，所述单舟（20）能够经所述开口移入所述容纳空间（11）内或者经所述开口从所述容纳空间（11）移出。2.根据权利要求1所述的组合舟，其特征在于，所述外舟体（10）内具有多个所述容纳空间（11），所述单舟（20）的数量为多个，每个所述容纳空间（11）内能够容纳一个所述单舟（20）。3.根据权利要求2所述的组合舟，其特征在于，所述外舟体（10）内设有隔板（12）以在第一方向上使得所述外舟体（10）内形成多组容纳空间组，每组所述容纳空间组包括多个在第二方向上排布的所述容纳空间（11）；所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一方向为所述外舟体（10）的宽度方向，所述第二方向为所述外舟体（10）的长度方向。4.根据权利要求1所述的组合舟，其特征在于，所述单舟（20）包括第一安装板（21）、第二安装板（22）、固定柱（23）及拨杆（24），所述第一安装板（21）与所述第二安装板（22）相互间隔且相对设置，所述固定柱（23）固定连接所述第一安装板（21）与所述第二安装板（22）；所述拨杆（24）与所述第一安装板（21）及所述第二安装板（22）均活动连接，以相对于所述第一安装板（21）及所述第二安装板（22）在第一位置与第二位置之间运动；当所述拨杆（24）处于所述第一位置时，所述拨杆（24）突出所述第一安装板（21）；当所述拨杆（24）处于所述第二位置时，所述拨杆（24）突出所述第二安装板（22）；所述单舟（20）经所述开口移入所述容纳空间（11）到位后，所述拨杆（24）能够从所述第一位置切换至所述第二位置。5.根据权利要求4所述的组合舟，其特征在于，所述拨杆（24）处于所述第一位置时，所述拨杆（24）上的卡槽（25）与所述固定柱（23）上的卡槽（25）一一对齐；所述拨杆（24）处于所述第二位置时，所述拨杆（24）上的卡槽（25）与所述固定柱（23）上的卡槽（25）错位；所述卡槽（25）用于放置基片。6.根据权利要求4所述的组合舟，其特征在于，所述外舟体（10）上设有第一配合部（13），所述单舟（20）移入所述容纳空间（11）到位时，所述第一配合部（13）施加作用于所述拨杆（24），使得所述拨杆（24）从所述第一位置运动至所述第二位置。7.根据权利要求6所述的组合舟，其特征在于，所述第一配合部（13）为凸设于所述外舟体（10）内表面的配合块，所述单舟（20）移入所述容纳空间（11）到位时，所述配合块按压所述拨杆（24）使其从所述第一位置运动至所述第二位置。8.根据权利要求6所述的组合舟，其特征在于，所述外舟体（10）上设有避让槽，所述避让槽用于避让所述拨杆（24），以限制所述单舟（20）在移出所述外舟体（10）的过程中从所述第二位置运动至所述第一位置。9.根据权利要求6所述的组合舟，其特征在于，当所述拨杆（24）处于所述第二位置时，所述拨杆（24）突出所述第二安装板（22）；所述外舟体（10）上设有第二配合部，所述单舟（20）从所述容纳空间（11）移出时，所述第二配合...

【专利技术属性】
技术研发人员：范方宇，严大，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：