一种用于干式真空泵机组的冷却系统技术方案

本发明专利技术涉及真空泵技术领域，具体涉及一种用于干式真空泵机组的冷却系统，包括：第一管路进水端与第一腔室连通，第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；第二管路一端通过恒流阀与第一管路出水端连接，另一端与第二腔室连通，第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，第二部位为电机；或者，第一部位为后级主泵组处，相应的，第二部位为前级泵；本申请通过增设恒流阀，限制冷却液流量，降低电机端或前级泵的冷却速度，使得电机端或前级泵保持较高温度，避免形成温度差；使得干式真空泵机组的温度分布均衡。使得干式真空泵机组的温度分布均衡。使得干式真空泵机组的温度分布均衡。

【技术实现步骤摘要】
一种用于干式真空泵机组的冷却系统


[0001]本专利技术涉及真空泵
，具体涉及一种用于干式真空泵机组的冷却系统。

技术介绍

[0002]干式真空泵机组，尤其是由罗茨泵和无油螺杆真空泵组成的罗茨－螺杆干式真空泵机组，大量运用于半导体行业中。例如：在半导体产品加工的不同制程中会产生不同的气体，不同的气体具有一定的临界冷凝温度。为了防止气体冷凝，需要将罗茨－螺杆干式真空泵机组工作空间的温度保持一致。因此，罗茨－螺杆干式真空泵机组在运行的过程中需要利用冷却系统进行冷却，用于电机和真空泵腔体等的冷却，防止部分部件的温度过高而停机。但是，罗茨－螺杆干式真空泵机组在运行的过程中会存在罗茨泵的整体温度较低，无油螺杆真空泵的温度较高的现象，并且也会出现电机端较齿轮端温度低的现象；即罗茨－螺杆干式真空泵机组在工作时，存在温度分布不均衡的问题。

技术实现思路

[0003]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服罗茨－螺杆干式真空泵机组在工作时，存在温度分布不均衡的缺陷。
[0004]为了克服上述缺陷，本专利技术提供一种用于干式真空泵机组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，包括：第一管路(1)，进水端与第一腔室连通，所述第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；第二管路(4)，一端通过恒流阀(3)与第一管路(1)的出水端连接，另一端与第二腔室连通，所述第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；所述第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，所述第二部位为电机；或者，所述第一部位为后级主泵组处，相应的，所述第二部位为前级泵；所述干式真空泵机组为依次串接的前级泵和后级主泵组；第三管路(5)，一端与第二腔室连通，所述第三管路(5)适于将第二腔室中的冷却液输出。2.根据权利要求1所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，还包括：第四管路(7)，与第三管路(5)的另一端连接，所述第四管路(7)适于将第三管路(5)中的冷却液排出；第五管路(8)，一端与第四管路(7)连接，另一端与第一管路(1)连接。3.根据权利要求2所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，还包括：第一三通接头(2)，第一端与第一管路(1)的出水端连接，第一三通接头(2)的第二端与恒流阀(3)连接，第一三通接头(2)的第三端与第五管路(8)连接；第二三通接头(6)，第一端与第三管路(5)连接，第二三通接头(6)的第二端与第四管路(7)连接，第二三通接头(6)的第三端与第五管路(8)连接。4.根据权利要求1－3任一项所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，所述恒流阀(3)包括：阀体(9)，设有通孔，所述通孔适于流通冷却液；阀芯(11)，滑动连接于所述通孔中；在所述阀芯(11)上沿冷却液流动方向下游一侧设有节流部，所述节流部的形状由端部向底部逐渐减小；在所述阀芯(11)内还设有中间通道，所述中间通道连通所述阀芯(11)上沿冷却液流动方向的上游和下游；节流件(13)，卡接设置于所述通孔中，且沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，杜勇，邓高飞，唐海宏，
申请(专利权)人：中科九微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：