一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统和冷却方法技术方案

本发明专利技术涉及真空泵技术领域，具体涉及一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统和冷却方法，用于干式螺杆真空泵的冷却系统包括：冷却液通道设置于泵体上；第一管路和第二管路分别与冷却液通道两侧连通；温度检测贴片设置于泵体上；冷却液供给结构与第一管路、第二管路均连接；主控制器与第一控制器、第二控制器、冷却液供给结构、温度检测贴片均信号连接；用于干式螺杆真空泵的冷却方法包括：主控制器通过温度检测贴片获得泵体不同部位温度值；当温度值高于第一预设值时，加大相应部位第一管路和第二管路流量。本申请通过主控制器获取检测温度，主控制器通过第一控制器和第二控制器调节冷却液在泵体内循环的流量，进而调节泵体温度分布均匀。均匀。均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统和冷却方法


[0001]本专利技术涉及真空泵
，具体涉及一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统和冷却方法。

技术介绍

[0002]干式螺杆真空泵应用在半导体行业。干式螺杆真空泵的螺杆转子主要分为等螺距螺杆转子与变螺距螺杆转子两种。采用等螺距螺杆转子的干式螺杆真空泵的特点为：螺杆转子与泵体所形成的封闭腔容积始终恒定，无内压缩，气体温升不明显，但效率较低。
[0003]采用变螺距螺杆转子的干式螺杆真空泵的特点为：螺杆转子与泵体所形成的封闭腔容积逐渐减小，压缩平稳，效率较高，但气体温升较大。由于气体温升较大，泵体极易发生热膨胀，从而造成螺杆转子与泵体的间隙减小。并且，由于泵体各处受热不均匀，膨胀量各不相同，如果螺杆转子与泵体的间隙初始值设计较小，则螺杆转子与泵体之间会出现摩擦现象，甚至会出现卡死的现象；如果螺杆转子与泵体的间隙初始值设计较大，虽然螺杆转子与泵体之间避免了运行过程中的摩擦与卡死现象，但是，由于间隙较大，气体极易由高压侧反流回低压测，从而出现无法达到要求的真空度的现象。具体的，气体从进气端到排气端逐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于干式螺杆真空泵的冷却系统，其特征在于，包括：多个冷却液通道(12)，沿所述干式螺杆真空泵的轴向间隔设置于所述干式螺杆真空泵的泵体(1)的内壁上，每个冷却液通道(12)沿所述泵体(1)的周向环绕；多组第一管路(4)，分别通过多个第一阀门与多个冷却液通道(12)的一侧连通；多组第二管路(5)，分别通过多个第二阀门与多个冷却液通道(12)的另一侧连通；温度检测贴片(13)，设置于靠近冷却液通道(12)的泵体(1)的外壁上，所述温度检测贴片(13)与所述冷却液通道(12)一一对应；第一控制器(2)，与所述多个第一阀门信号连接；第二控制器(3)，与所述多个第二阀门信号连接；冷却液供给结构(6)，与多组第一管路(4)、多组第二管路(5)均连接；所述冷却液供给结构(6)适于提供冷却液；主控制器(7)，与所述第一控制器(2)、第二控制器(3)、冷却液供给结构(6)、温度检测贴片(13)均信号连接。2.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的冷却系统，其特征在于，所述干式螺杆真空泵的螺杆转子为变螺距螺杆转子。3.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的冷却系统，其特征在于，所述第一阀门和第二阀门均为电磁阀。4.根据权利要求1所述的用于干式螺杆真空泵的冷却系统，其特征在于，所述温度检测贴片(13)的数量为多组，所述温度检测贴片(13)的组数与冷却液通道(12)的数量相同；每组温度检测贴片(13)包括多个温度检测贴片(13)；每组温度检测贴片(13)的多个温度检测贴片(13)沿所述泵体(1)的外壁间隔设置。5.根据权利要求1－4任一项所述的用于干式螺杆真空泵的冷却系统，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈林，吕茂宇，邓高飞，
申请(专利权)人：中科九微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：