本实用新型专利技术提供一种壳体连接装置及化学气相沉积设备，其中的装置包括设置在反应腔室和盖体两侧的电动气缸以及位于反应腔室和盖体的结合处的双轴型铰链；其中，电动气缸用于带动盖体绕双轴型铰链进行翻转，以将盖体打开或关闭。利用上述实用新型专利技术能够确保盖体和反应腔室的有效密封，以及扩大盖体的打开角度，便于对反应腔室内的器件的维护操作。于对反应腔室内的器件的维护操作。于对反应腔室内的器件的维护操作。
【技术实现步骤摘要】
壳体连接装置及化学气相沉积设备
[0001]本技术涉及半导体晶体处理
，更为具体地，涉及一种壳体连接装置及化学气相沉积设备。
技术介绍
[0002]PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)设备是利用指等离子体增强化学的气相沉积设备，该设备借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，进而在基片上沉积出所期望的薄膜。其中，为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
[0003]目前，反应腔室和其上的盖体之间的连接，通常是采用气体弹簧进行连接，由于采用了彼此相互啮合结构的单轴铰链，这种方式会使得盖体可实现的最大旋转角度为50度左右，使得对反应腔室内部的器件的维护操作比较困难，而手动对高荷重的盖体进行开闭，作业性不佳，事故发生率较高。
[0004]因此，目前亟需一种壳体连接装置能够在确保安全的状态下，确保盖体的密封效果，比能够扩大盖体的翻转角度等。
技术实现思路
[0005]鉴于上述问题，本技术的目的是提供一种壳体连接装置及化学气相沉积设备，以解决现有方案中存在的密封效果不佳、盖体旋转角度受限，且容易发生事故等问题。
[0006]本技术提供的壳体连接装置，包括设置在反应腔室和盖体两侧的电动气缸以及位于反应腔室和盖体的结合处的双轴型铰链；其中，电动气缸用于带动盖体绕双轴型铰链进行翻转，以将盖体打开或关闭。
[0007]此外，可选的结构特征是，在盖体的侧壁上设置有第一限位部，在反应腔室的侧壁上设置有与第一限位部位置对应的第二限位部；双轴型铰链的一端固定在第一限位部内，另一端固定在第二限位部内。
[0008]此外，可选的结构特征是，在反应腔室的侧壁上设置有限位组件；限位组件用于对盖体的翻转极限位置进行限位。
[0009]此外，可选的结构特征是，限位组件为限位开关、限位挡块或限位传感器。
[0010]此外，可选的结构特征是，盖体的可翻转角度为60
°
以上。
[0011]此外，可选的结构特征是，在反应腔室或盖体的侧壁上设置有制动器；制动器用于在触发时对电动气缸进行制动。
[0012]此外，可选的结构特征是，在反应腔室的上端面设置有密封圈。
[0013]此外，可选的结构特征是，在双轴型铰链上设置有紧固螺栓；紧固螺栓用于调整盖体与反应腔室之间的密封程度。
[0014]此外，可选的结构特征是，在反应腔室远离双轴型铰链的一侧设置有开启传感器；
开启传感器用于检测盖体的打开动作。
[0015]另一方面，本技术还提供一种化学气相沉积设备，包括上述任一顶壳体连接装置。
[0016]利用上述壳体连接装置及化学气相沉积设备，在反应腔室和盖体的两侧设置电动气缸以及位于反应腔室和盖体的结合处的双轴型铰链，能够通过电动气缸带动盖体绕双轴型铰链进行翻转，以将盖体打开或关闭，可实现壳体的大角度翻转，便于操作人员对反应腔室内的器件进行维护，且密封效果好，事故率低。
[0017]为了实现上述以及相关目的，本技术的一个或多个方面包括后面将详细说明的特征。下面的说明以及附图详细说明了本技术的某些示例性方面。然而，这些方面指示的仅仅是可使用本技术的原理的各种方式中的一些方式。此外，本技术旨在包括所有这些方面以及它们的等同物。
附图说明
[0018]通过参考以下结合附图的说明，并且随着对本技术的更全面理解，本技术的其它目的及结果将更加明白及易于理解。在附图中：
[0019]图1为根据本技术实施例的壳体连接装置的侧视图；
[0020]图2为根据本技术实施例的壳体连接装置的局部放大图。
[0021]附图中的标记：匹配器1、盖体2、电动气缸3、反应腔室4、开启传感器6、限位组件7、双轴型铰链8、密封圈9、制动器10。
[0022]在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。
具体实施方式
[0023]在下面的描述中，出于说明的目的，为了提供对一个或多个实施例的全面理解，阐述了许多具体细节。然而，很明显，也可以在没有这些具体细节的情况下实现这些实施例。在其它例子中，为了便于描述一个或多个实施例，公知的结构和设备以方框图的形式示出。
[0024]在本技术的描述中，需要理解的是，以下术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的内容或结构的限制。
[0025]为解决现有盖体和反应腔室的连接方式，使得腔室上的密封圈9的部分结构首先被压缩，导致其他部分发生膨胀或扭曲，影响密封效果；此外，盖体可实现的最大旋转角度为50度左右，使得对反应腔室内部的器件的维护操作比较困难，而手动对高荷重的盖体进行开闭，作业性不佳，事故发生率较高等问题，本技术提供一种壳体连接装置，在反应腔室和盖体的两侧设置电动气缸以及位于反应腔室和盖体的结合处的双轴型铰链，能够通过电动气缸带动盖体绕双轴型铰链进行翻转，以将盖体打开或关闭，可实现壳体的大角度翻转，便于操作人员对反应腔室内的器件进行维护，且盖体的密封效果好，事故率低。
[0026]为详细描述本技术的壳体连接装置的结构，以下将结合附图对本技术的
具体实施例进行详细描述。
[0027]图1和图2分别从不同角度示出了根据本技术实施例的壳体连接装置的示意结构。
[0028]如图1和图2共同所示，本技术实施例的壳体连接装置，包括设置在反应腔室4和盖体2两侧的电动气缸3以及位于反应腔室4和盖体2的结合处的双轴型铰链8；其中，电动气缸3用于带动盖体2及其上的匹配器1绕双轴型铰链8进行翻转，以将盖体2打开或关闭，可通过控制电动气缸3将盖体2打开至任意角度进行停止，无需人工操作荷重较大的盖体2。
[0029]其中，在盖体2的侧壁上可设置有第一限位部，在反应腔室4的侧壁上设置有与第一限位部位置对应的第二限位部，双轴型铰链8的一端固定在第一限位部内，另一端固定在第二限位部内，进而通过双轴型铰链8将盖体2和反应腔室4的侧壁进行连接，具体的双轴型铰链8的设置个数，可根据盖体2的尺寸进行设定，通常至少设置两组。
[0030]此外，在反应腔室4的侧壁上还可设置限位组件7，通过限位组件7对盖体2的翻转极限位置进行限位，防止其角度过大导致双轴型铰链8受力损坏；其中，限位组件7可以为限位开关、限位挡块或限位传感器等本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种壳体连接装置，其特征在于，包括设置在反应腔室和盖体两侧的电动气缸以及位于所述反应腔室和所述盖体的结合处的双轴型铰链；其中，所述电动气缸用于带动所述盖体绕所述双轴型铰链进行翻转，以将所述盖体打开或关闭。2.如权利要求1所述的壳体连接装置，其特征在于，在所述盖体的侧壁上设置有第一限位部，在所述反应腔室的侧壁上设置有与所述第一限位部位置对应的第二限位部；所述双轴型铰链的一端固定在所述第一限位部内，另一端固定在所述第二限位部内。3.如权利要求2所述的壳体连接装置，其特征在于，在所述反应腔室的侧壁上设置有限位组件；所述限位组件用于对所述盖体的翻转极限位置进行限位。4.如权利要求3所述的壳体连接装置，其特征在于，所述限位组件为限位开关、限位挡块或限位传感器。5.如权利要求1所述的壳体连...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋秀静，河南，金洙千，李东昊，车东壹，金官希，李俊范，黄领务，金楠暻，寓尚润，
申请(专利权)人：盛吉盛韩国半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。