腔体冷却系统及气相沉积真空设备技术方案

本发明专利技术涉及光伏组件制造技术领域，提供一种腔体冷却系统及气相沉积真空设备，包括腔体、抽吸泵、充气装置、送气通道和控制阀组件，抽吸泵与腔体连接，用于将腔体内的气体抽出；充气装置的出气口与腔体连接，用于向腔体充入惰性气体；送气通道的一端与抽吸泵的出气口连接，送气通道的另一端与充气装置的进气口连接，冷却通道内有冷却介质，冷却通道与送气通道连接或相接触，用于通过换热对送气通道内的惰性气体冷却，控制阀组件包括分别用于控制抽吸泵与腔体连通的第一控制阀，用于控制充气装置与腔体连通的第二控制阀，以及，用于控制送气通道与抽吸泵出气口连通的第三控制阀。本发明专利技术实现对惰性气体的循环利用，提高了对腔体的冷却效率。冷却效率。冷却效率。

【技术实现步骤摘要】
腔体冷却系统及气相沉积真空设备


[0001]本专利技术涉及光伏组件制造
，尤其涉及一种腔体冷却系统及气相沉积真空设备。

技术介绍

[0002]用于光伏组件规模制造的等离子体化学气相沉积真空设备，包括真空腔以及电极盒等主要部件，电极盒包含多个射频电极，用于沉积太阳能电池片，将预热完成的电极盒放入一个真空腔中，在真空腔里完成非晶硅薄膜太阳电池的沉积，沉积完成后将电极盒取出，需要对腔体进行冷却。
[0003]现有技术中，常用的冷却系统主要用于冷却腔体的侧板、底板，而不具备冷却腔体内部的功能，通常都是通过自然冷却后，开启腔盖进行维护，从而该方式极大地限制了气相沉积真空设备生产效率的提升。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种腔体冷却系统及气相沉积真空设备，用以解决现有技术中惰性气体浪费多、腔体冷却效率低的缺陷。
[0005]本专利技术提供一种腔体冷却系统，包括：
[0006]腔体；
[0007]抽吸泵，包括吸气口和出气口，所述抽吸泵的吸气口与所述腔体通过第一管路相连接，用于将所述腔体内的气体抽出；
[0008]充气装置，所述充气装置的出气口与所述腔体相连接，用于向所述腔体充入惰性气体；
[0009]送气通道，所述送气通道的一端与所述抽吸泵的出气口连接，所述送气通道的另一端与所述充气装置的进气口连接，所述送气通道用于将通过所述抽吸泵抽出的惰性气体送回所述充气装置；
[0010]冷却通道，所述冷却通道内有冷却介质，所述冷却通道与所述送气通道连接或相接触，用于通过换热对所述送气通道内的惰性气体冷却；
[0011]控制阀组件，包括分别用于控制所述抽吸泵与所述腔体通断的第一控制阀，用于控制所述充气装置与所述腔体通断的第二控制阀，以及，用于控制所述送气通道与所述抽吸泵出气口通断的第三控制阀。
[0012]根据本专利技术提供的腔体冷却系统，还包括冷却装置，所述冷却装置包括冷却水泵，所述冷却通道的一端与所述冷却水泵连接，另一端与所述腔体的进水口连接；
[0013]所述腔体内的底部及四周的内壁嵌设有冷却管道，所述冷却管道的起始端与所述腔体的进水口连接，所述冷却管道的末端与所述腔体的出水口连接。
[0014]根据本专利技术提供的腔体冷却系统，所述腔体内的底部及四周的内壁嵌设有通气管道，所述通气管道的两端分别与抽吸泵的吸气口及所述充气装置连接。
[0015]根据本专利技术提供的腔体冷却系统，所述冷却通道与所述送气通道集成设置在换热管中，所述冷却通道设置在所述换热管的中心处，多个所述送气通道环绕设置在所述冷却通道的外侧。
[0016]根据本专利技术提供的腔体冷却系统，还包括端部接头，一对所述端部接头分别与所述换热管的两端密封连接；所述端部接头的中部设置有第一连接管，所述第一连接管的第一端与所述冷却通道密封连接，所述第一连接管的第二端通过第一管路与所述冷却水泵或所述腔体的进水口连接，所述第一管路上设置第四控制阀；
[0017]所述端部接头内设置有环形凹槽，每个所述送气通道均与所述环形凹槽连通，所述端部接头的外部设置有与所述环形凹槽连通的第二连接管，位于所述换热管两端的所述第二连接管分别与所述抽吸泵的出气口及所述充气装置连通。
[0018]根据本专利技术提供的腔体冷却系统，所述送气通道设置在所述冷却通道中，所述冷却通道的两端封闭设置，所述冷却通道与所述送气通道之间的空间形成冷却腔，所述冷却腔的两端分别通过第一管路与所述冷却水泵及所述腔体的进水口连接。
[0019]根据本专利技术提供的腔体冷却系统，还包括冷却箱，所述冷却箱内设有冷媒，所述送气通道设置在所述冷却箱中，所述冷却通道盘设在所述送气通道的外侧，所述冷却箱的两端留有供所述冷却通道及所述送气通道进出的连接孔。
[0020]根据本专利技术提供的腔体冷却系统，所述充气装置包括充气罐和气源，所述充气罐与所述腔体通过第二管路连接，所述第二管路设有所述第二控制阀，所述第二连接管及所述送气通道连接于所述充气罐；
[0021]所述充气罐与所述气源通过第三管路连接，所述第三管路上设置第五控制阀。
[0022]根据本专利技术提供的腔体冷却系统，还包括尾气排放装置，所述尾气排放装置与所述抽吸泵的出气口通过第四管路连接，所述第四管路上设置有第六控制阀；
[0023]所述腔体的出水口通过第五管路连接有废水排放装置，所述第五管路设置有第七控制阀。
[0024]本专利技术提供的一种腔体冷却系统，包括腔体、抽吸泵、充气装置、送气通道、冷却通道和控制阀组件，抽吸泵与腔体连接，用于将腔体内的气体排出，使腔体呈现真空状态，以对太阳能电池片进行气相沉积；充气装置与腔体连接，能在气相沉积完成时，向处于真空状态下的腔体充入惰性气体，通过通入惰性气体对腔体内部降温，送气通道一端与抽吸泵的出气口连接，送气通道的另一端与充气装置连接，送气通道连接有冷却装置，用于通过抽吸泵将腔体内的惰性气体抽出经冷却后再送入充气装置，还能实现对惰性气体的循环利用，不仅节约了成本，同时通过通入气体对腔体内部降温，提高对腔体的冷却效率。
[0025]本专利技术还提供了一种气相沉积真空设备，包括上述的腔体冷却系统。该有益效果的推导过程与上述腔体冷却系统所带来的有益效果的推导过程大体类似，此处不再赘述。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1是本专利技术实施例提供的腔体冷却系统的结构框架图。
[0028]图2是本专利技术实施例提供的腔体内冷却管道的结构示意图。
[0029]图3是本专利技术一个实施例提供的送气通道的爆炸图。
[0030]附图标记：
[0031]1、腔体；2、抽吸泵；
[0032]3、换热管；31、送气通道；32、冷却通道；33、端部接头；34、第一连接管；35、第二连接管；36、环形凹槽；
[0033]4、冷却水泵；5、充气罐；6、气源；7、尾气排放装置；8、废水排放装置；
[0034]10、冷却管道；11、第一管路；12、第二管路；13、第三管路；14、第四管路；15、第五管路；16、第六管路。
[0035]101、第一控制阀；102、第二控制阀；103、第三控制阀；104、第四控制阀；105、第五控制阀；106、第六控制阀；107、第七控制阀。
具体实施方式
[0036]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0037]下面结合图1至图3描述本发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种腔体冷却系统，其特征在于，包括：腔体(1)；抽吸泵(2)，包括吸气口和出气口，所述抽吸泵(2)的吸气口与所述腔体(1)相连接，用于将所述腔体(1)内的气体抽出；充气装置，所述充气装置的出气口与所述腔体(1)相连接，用于向所述腔体(1)充入惰性气体；送气通道(31)，所述送气通道(31)的一端与所述抽吸泵(2)的出气口连接，所述送气通道(31)的另一端与所述充气装置的进气口连接，所述送气通道(31)用于将通过所述抽吸泵(2)抽出的惰性气体送回所述充气装置；冷却通道(32)，所述冷却通道(32)内有冷却介质，所述冷却通道(32)与所述送气通道(31)连接或相接触，用于通过换热对所述送气通道(31)内的惰性气体冷却；控制阀组件，包括分别用于控制所述抽吸泵(2)与所述腔体(1)通断的第一控制阀(101)，用于控制所述充气装置与所述腔体(1)通断的第二控制阀(102)，以及，用于控制所述送气通道(31)与所述抽吸泵(2)出气口通断的第三控制阀(103)。2.根据权利要求1所述的腔体冷却系统，其特征在于，还包括冷却装置，所述冷却装置包括冷却水泵(4)，所述冷却通道(32)的一端与所述冷却水泵(4)连接，另一端与所述腔体(1)的进水口连接；所述腔体(1)内的底部及四周的内壁嵌设有冷却管道(10)，所述冷却管道(10)的起始端与所述腔体(1)的进水口连接，所述冷却管道(10)的末端与所述腔体(1)的出水口连接。3.根据权利要求1所述的腔体冷却系统，其特征在于，所述腔体(1)内的底部及四周的内壁嵌设有通气管道，所述通气管道的两端分别与所述抽吸泵(2)的吸气口及所述充气装置连接。4.根据权利要求2所述的腔体冷却系统，其特征在于，所述冷却通道(32)与所述送气通道(31)集成设置在换热管(3)中，所述冷却通道(32)设置在所述换热管(3)的中心处，多个所述送气通道(31)环绕设置在所述冷却通道(32)的外侧。5.根据权利要求4所述的腔体冷却系统，其特征在于，还包括端部接头(33)，一对所述端部接头(33)分别与所述换热管(3)的两端密封连接；所述端部接头(33)的中部设置有第一连接管(34)，所述第一连接管(34)的第一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：石鹏飞，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：发明
国别省市：