本实用新型专利技术涉及一种集成电路工厂用的可集尘的管道结构，包括依次连接的一第一竖管、一T形三通、一横管、一弯管、一第二竖管与一波纹管，T形三通的底端处还设有一法兰组件。法兰组件包括至少一老虎夹上夹板、至少一老虎夹下夹板、一不锈钢法兰、一O形橡胶密封圈、一O形密封圈架与一不锈钢盲板。集成电路工厂用的可集尘的管道结构具有方便维护保养，提高使用寿命，减少损失等优点。减少损失等优点。减少损失等优点。
【技术实现步骤摘要】
一种集成电路工厂用的可集尘的管道结构
[0001]本技术涉及炉管区集尘管道
，特别是一种集成电路工厂用的可集尘的管道结构。
技术介绍
[0002]目前，工艺真空系统是半导体工厂的重要的不可缺少的工艺系统，工艺设备与工艺真空泵之间连接的管路通常是二次配管工作范围，对于化学气相沉积(即LPCVD工艺)设备的炉管区，在每道工艺完成后，均需要对炉管进行维保工作。工艺设备的炉管与工艺真空泵之间连接的管路在二次配管安装时，传统做法是通过管道与弯头等附件直接连接，导致炉管内的易碎硅片直接吸到工艺真空泵内，导致工艺真空泵的损坏。
[0003]为此我们研发了一种集成电路工厂用的可集尘的管道结构，用以解决以上问题。
技术实现思路
[0004]本技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种集成电路工厂用的可集尘的管道结构，具有方便维护保养，提高使用寿命，减少损失等优点。
[0005]为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种集成电路工厂用的可集尘的管道结构，包括依次连接的一第一竖管、一T形三通、一横管、一弯管、一第二竖管与一波纹管，所述波纹管的上下两端各设有一法兰组件，所述法兰组件远离所述波纹管的下端连接有一真空泵，所述T形三通的底端处还设有一所述法兰组件，所述T形三通包括一第一接口、一第二接口与一第三接口，所述第一接口与所述第一竖管的底端固定连接，所述第二接口的底端与所述法兰组件固定连接，所述第三接口与所述横管的一端固定连接。
[0006]优选的，所述法兰组件包括至少一老虎夹上夹板、至少一老虎夹下夹板、一不锈钢法兰、一O形橡胶密封圈、一O形密封圈架与一不锈钢盲板，所述O形密封圈架套设所述O形橡胶密封圈，所述不锈钢法兰与所述不锈钢盲板之间压接所述O形密封圈架，所述老虎夹上夹板与所述老虎夹下夹板通过不锈钢螺丝将所述不锈钢法兰与所述不锈钢盲板压接。
[0007]优选的，所述第三接口的底端到所述不锈钢法兰的底端的最短距离为L，L≥150mm。
[0008]优选的，所述老虎夹上夹板底部的一端处设有一第一夹头，所述不锈钢法兰的顶端处设有一第一环槽，所述第一夹头与所述第一环槽压接。
[0009]优选的，所述老虎夹上夹板的中心位置处设有一第一插孔，所述老虎夹下夹板的中心位置处设有一第二插孔，所述第一插孔与所述第二插孔通过所述不锈钢螺丝固定连接。
[0010]优选的，所述老虎夹上夹板底部的另一端处设有一凸台，所述凸台与所述老虎夹下夹板的顶端抵接。
[0011]优选的，所述老虎夹下夹板的顶端处设有一第二夹头，所述不锈钢盲板的底端处设有一第二环槽，所述第二夹头与所述第二环槽压接。
[0012]优选的，所述不锈钢法兰的底端处设有一第一沉槽，所述不锈钢盲板的顶端处设有一第二沉槽，所述第一沉槽与所述第二沉槽之间压接所述O形密封圈架。
[0013]优选的，所述O形密封圈架的外圈设有一第三环槽，所述O形橡胶密封圈与所述第三环槽卡接。
[0014]优选的，所述不锈钢法兰设有一内圈，所述内圈与所述第二接口密封连接。
[0015]由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：
[0016]本技术所述集成电路工厂用的可集尘的管道结构，使用老虎夹上下板结构，具有拆卸方便、快速轻巧的特点，节省了工艺真空泵的维保时间；集尘储存在不锈钢法兰顶端，避免了真空泵的损坏，提高使用寿命；避免集尘对管道端真空泵的损坏，从而减少对生产的影响，减少损失。
附图说明
[0017]附图1为本技术所述集成电路工厂用的可集尘的管道结构的结构示意图。
[0018]附图2为本技术所述法兰组件的结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面结合附图及具体实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0020]附图1至附图2中，一种集成电路工厂用的可集尘的管道结构，包括依次氩弧焊接的一第一竖管31、一T形三通1、一横管32、一弯管4、一第二竖管33，第二竖管33与一波纹管5固定连接，T形三通1的底端处还设有一法兰组件2。法兰组件2包括四个铝合金的老虎夹上夹板13、四个铝合金的老虎夹下夹板11、一不锈钢法兰7、一O形橡胶密封圈8、一O形密封圈架9与一不锈钢盲板10。老虎夹上夹板13圆周均布在不锈钢法兰7四周。
[0021]波纹管5的上下两端各设有一法兰组件2，法兰组件2远离波纹管5的下端连接有一真空泵6，集尘的不锈钢T形三通1包括一第一接口105、一第二接口106与一第三接口107，第三接口107与横管32的一端固定连接。第一接口105与第一竖管31的底端固定连接，第二接口106的底端与法兰组件2通过一短管固定连接，不锈钢三通下部具有集尘作用，且能够防止工艺设备炉体内的易碎硅片落入工艺真空泵内部的风险。
[0022]O形密封圈架9套设O形橡胶密封圈8，不锈钢法兰7与不锈钢盲板10之间压接O形密封圈架9，老虎夹上夹板13与老虎夹下夹板11通过不锈钢螺丝12将不锈钢法兰7与不锈钢盲板10压接。
[0023]第三接口107的底端到不锈钢法兰7的底端的最短距离为L，L≥150mm，优选150mm、160mm或者170mm，便于炉管内易碎硅片的汇集储存。
[0024]老虎夹上夹板13底部的一端处设有一第一夹头132，老虎夹上夹板13底部的另一端处设有一凸台133，老虎夹上夹板13的中心位置处设有一第一插孔131。第一夹头132与第一环槽71压接。凸台133与老虎夹下夹板11的顶端抵接。老虎夹下夹板11的中心位置处设有一第二插孔111，第一插孔131与第二插孔111通过M10不锈钢螺丝12固定连接。
[0025]老虎夹下夹板11的顶端处设有一第二夹头112，不锈钢盲板10的底端处设有一第二环槽101，第二夹头112与第二环槽101压接。
[0026]不锈钢法兰7的顶端处设有一第一环槽71，不锈钢法兰7的底端处设有一第一沉槽
72，不锈钢法兰7设有一内圈73，不锈钢盲板10的顶端处设有一第二沉槽102，第一沉槽72与第二沉槽102之间压接O形密封圈架9。O形密封圈架9的外圈设有一第三环槽91，并且设有一中心孔92，O形橡胶密封圈8与第三环槽91卡接。内圈73与第二接口106密封连接。
[0027]真空泵6顶端设有法兰组件2，法兰组件2中的不锈钢盲板10为中空结构，且连接有波纹管5，波纹管5的顶端与第二竖管33的底端固定连接，第二竖管33与中心孔92压接。
[0028]炉管内的易碎硅片在真空泵6作用下，沿第一竖管31移动，在重力的作用下，进入不锈钢法兰7顶部的T形三通1的底部，不会通过横管32、第二竖管33进入真空泵6，从而损坏真空泵6，同时通过拆卸不锈钢螺丝12便于拆卸维修保养。
[0029]以上仅是本技术的具体应用范例，对本技术的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本技术权利保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成电路工厂用的可集尘的管道结构，其特征在于：包括依次连接的一第一竖管(31)、一T形三通(1)、一横管(32)、一弯管(4)、一第二竖管(33)与一波纹管(5)，所述波纹管(5)的上下两端各设有一法兰组件(2)，所述法兰组件(2)远离所述波纹管(5)的下端连接有一真空泵(6)，所述T形三通(1)的底端处还设有一所述法兰组件(2)，所述T形三通(1)包括一第一接口(105)、一第二接口(106)与一第三接口(107)，所述第一接口(105)与所述第一竖管(31)的底端固定连接，所述第二接口(106)的底端与所述法兰组件(2)固定连接，所述第三接口(107)与所述横管(32)的一端固定连接。2.根据权利要求1所述集成电路工厂用的可集尘的管道结构，其特征在于，所述法兰组件(2)包括至少一老虎夹上夹板(13)、至少一老虎夹下夹板(11)、一不锈钢法兰(7)、一O形橡胶密封圈(8)、一O形密封圈架(9)与一不锈钢盲板(10)，所述O形密封圈架(9)套设所述O形橡胶密封圈(8)，所述不锈钢法兰(7)与所述不锈钢盲板(10)之间压接所述O形密封圈架(9)，所述老虎夹上夹板(13)与所述老虎夹下夹板(11)通过不锈钢螺丝(12)将所述不锈钢法兰(7)与所述不锈钢盲板(10)压接。3.根据权利要求2所述集成电路工厂用的可集尘的管道结构，其特征在于，所述第三接口(107)的底端到所述不锈钢法兰(7)的底端的最短距离为L，L≥150mm。4.根据权利要求2所述集成电路工厂用的可集尘的管道结构，其特征在于，所述老虎夹上夹板(13)底部的一端处设有一第一夹头(132)，所述不锈...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴淳，董海洋，王景龙，赵鹏宇，李少洪，
申请(专利权)人：中亿丰科工有限公司，
类型：新型
国别省市：
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