安装治具制造技术

本申请涉及半导体制备技术领域，本申请实施例提供了一种安装治具。上述安装治具中，安装治具用于安装摩尔环和保持器组件，安装治具至少包括治具本体，治具本体上设有通孔及定位槽，定位槽与摩尔环的凸部相对应，通过在定位槽内设置台阶部，以形成用于对保持器组件限位的第一容置空间以及用于对凸部进行限位的第二容置空间，进而使得摩尔环和保持器组件能够被限位，改善在安装过程中摩尔环和保持器组件之间产生偏移的情形，从而提高了安装效率。从而提高了安装效率。从而提高了安装效率。

【技术实现步骤摘要】
安装治具


[0001]本申请涉及半导体制备
，特别是涉及一种安装治具。

技术介绍

[0002]相关技术中，通常将晶圆放置于PVD(Physical Vapour Deposition，物理气相沉积)机台的腔室内沉积薄膜。在沉积薄膜的过程中，晶圆通过晶片分度板从一个基座移动到下一个基座，使得每个晶圆依次移动通过腔室的每个工位并在其中进行沉积薄膜。晶圆可以借助摩尔环(MOER ring)装载于晶片分度板上，以使晶圆的外径尽可能少的暴露于腔室内。摩尔环借助与之可拆卸连接的保持器组件(Holder assy)定位于基座上。当摩尔环被晶片分度板提升时，保持器组件用于提升晶圆。
[0003]由于摩尔环和保持器组件大多为陶瓷件，随着长时间在腔室内的使用会出现损坏，需要进行更换。在通过紧固件将保持器组件安装于摩尔环时，会出现安装偏移，进而在使用时容易与腔室内的运动机构产生干涉，从而造成晶圆偏移或破片。因此在将保持器组件与摩尔环安装后，需要放置于腔室内进行检验，根据检验结果再确认是否需要重新安装，使得安装效率低下。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种安装治具，以改善安装效率。
[0005]本申请实施例提供了一种安装治具，用于安装摩尔环和保持器组件，所述摩尔环包括环本体以及间隔设于所述环本体外周的三个凸部，所述凸部用于与所述保持器组件可拆卸连接；所述安装治具包括治具本体；
[0006]所述治具本体上设有沿第一方向设有通孔，所述治具本体的第一表面上设有三个定位槽，三个所述定位槽间隔设于所述通孔的外周，且与三个所述凸部一一对应；所述定位槽设有台阶部，所述台阶部具有第一定位面；所述定位槽具有底壁、连接于所述底壁和所述第一定位面之间的第一侧壁，以及连接于所述第一表面和所述第一定位面之间的第二侧壁；
[0007]所述底壁和所述第一侧壁限定形成用于对所述保持器组件限位的第一容置空间，所述第一定位面和所述第二侧壁限定形成用于对所述凸部限位的第二容置空间，所述第一容置空间和所述第二容置空间彼此连通；
[0008]其中，所述第一方向垂直于所述第一表面。
[0009]在其中一个实施例中，所述安装治具还包括与所述定位槽相连接的定位部，所述定位部用于在所述第一方向上对所述保持器组件限位；
[0010]所述定位部在参考面上的正投影位于所述通孔在所述参考面上的正投影内，所述参考面为垂直于所述第一方向的平面。
[0011]在其中一个实施例中，所述定位部具有与所述底壁相连接的第二定位面；
[0012]所述第二定位面与所述底壁共同用于在所述第一方向上承载所述保持器组件。
[0013]在其中一个实施例中，所述第二定位面构造为垂直于所述第一方向的平面。
[0014]在其中一个实施例中，所述第二定位面在所述参考面上的正投影以及所述底壁在所述参考面上的正投影构成目标投影；
[0015]所述目标投影覆盖所述保持器组件在所述参考面上的正投影。
[0016]在其中一个实施例中，所述定位部连接所述定位槽的一端为起始端，所述定位部背离所述定位槽的一端为终止端；
[0017]所述起始端指向所述终止端的方向与所述第一方向彼此垂直。
[0018]在其中一个实施例中，所述定位部在所述起始端和所述终止端之间沿直线延伸设置。
[0019]在其中一个实施例中，所述定位部与所述治具本体为一体式结构。
[0020]在其中一个实施例中，所述第一定位面构造为垂直于所述第一方向的平面；和/或
[0021]所述底壁构造为垂直于所述第一方向的平面。
[0022]在其中一个实施例中，三个所述定位槽沿所述通孔的外周等间距分布。
[0023]上述安装治具中，安装治具用于安装摩尔环和保持器组件，安装治具至少包括治具本体，治具本体上设有通孔及定位槽，定位槽与摩尔环的凸部相对应，通过在定位槽内设置台阶部，以形成用于对保持器组件限位的第一容置空间以及用于对凸部进行限位的第二容置空间，进而使得摩尔环和保持器组件能够被限位，改善在安装过程中摩尔环和保持器组件之间产生偏移的情形，从而提高了安装效率。
[0024]本申请实施例的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请实施例的实践了解到。
附图说明
[0025]通过阅读对下文实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在全部附图中，用相同的附图标号表示相同的部件。
[0026]在附图中：
[0027]图1为本申请一实施例中摩尔环和保持器组件组装在一起的结构示意图；
[0028]图2为图1示意出的另一个视角下摩尔环和保持器组件组装在一起的结构示意图；
[0029]图3为图1示意出的摩尔环和保持器组件的爆炸结构示意图；
[0030]图4为本申请一实施例中的基座的结构示意图；
[0031]图5为本申请一实施例中摩尔环、晶片分度板和基座相配合的结构示意图；
[0032]图6为本申请一实施例中安装治具的结构示意图；
[0033]图7为图6中A处的局部放大结构示意图；
[0034]图8为图6示意出的安装治具的剖视结构示意图；
[0035]图9为图8中B处的局部放大结构示意图；
[0036]图10为图6示意出的安装治具的俯视结构示意图。
[0037]具体实施方式中的附图标号如下：
[0038]摩尔环100，环本体110，凸部120；
[0039]保持器组件200；
[0040]紧固件300；
[0041]基座400，安装部410；
[0042]晶片分度板500，配合部510；
[0043]安装治具10，治具本体11，通孔k，第一表面s1，定位槽g，台阶部t，第一定位面m1，底壁b，第一侧壁c1，第二侧壁c2，定位部12，第二定位面m2，起始端12a，终止端12b；
[0044]第一方向F1。
具体实施方式
[0045]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请实施例的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请实施例。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。本申请实施例能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此，本申请实施例不受下面公开的具体实施例的限制。
[0046]可以理解，本申请所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种专业名词，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。但除非特别说明，这些专业名词不受这些术语限制。这些术语仅用于将一个专业名词与另一个专业名词区分。在本申请实施例的描述中，“多个”、“若干”的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种安装治具，用于安装摩尔环和保持器组件，其特征在于，所述摩尔环包括环本体以及间隔设于所述环本体外周的三个凸部，所述凸部用于与所述保持器组件可拆卸连接；所述安装治具包括治具本体；所述治具本体上设有沿第一方向设有通孔，所述治具本体的第一表面上设有三个定位槽，三个所述定位槽间隔设于所述通孔的外周，且与三个所述凸部一一对应；所述定位槽设有台阶部，所述台阶部具有第一定位面；所述定位槽具有底壁、连接于所述底壁和所述第一定位面之间的第一侧壁，以及连接于所述第一表面和所述第一定位面之间的第二侧壁；所述底壁和所述第一侧壁限定形成用于对所述保持器组件限位的第一容置空间，所述第一定位面和所述第二侧壁限定形成用于对所述凸部限位的第二容置空间，所述第一容置空间和所述第二容置空间彼此连通；其中，所述第一方向垂直于所述第一表面。2.根据权利要求1所述的安装治具，其特征在于，所述安装治具还包括与所述定位槽相连接的定位部，所述定位部用于在所述第一方向上对所述保持器组件限位；所述定位部在参考面上的正投影位于所述通孔在所述参考面上的正投影内，所述参考面为垂直于所述第一方向的平面。3.根据权利要求2所述的安装治具，其特征在于，所述定位部具有与所述底壁相连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪常刚，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：