一种旋转机构及真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种旋转机构及真空镀膜设备，该旋转机构包括动力源、从动组件、第一传动件和第二传动件，所述动力源与所述从动组件传动连接，所述第一传动件与所述从动组件传动连接，所述第一传动件与所述第二传动件传动连接。该真空镀膜设备包括旋转机构、蒸镀材料加热部件、旋转支架和真空腔体。该旋转机构能够实现360

【技术实现步骤摘要】
一种旋转机构及真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜
，特别是涉及一种旋转机构及真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]目前易清洁纳米涂层技术主要包括两大类，分别是常压喷涂技术、PVD真空镀膜技术。前者在常压下通过喷涂设备将易清洁材料喷涂在基材上，其制备的膜层耐磨和抗刮擦性有限，膜层性能达不到使用PVD真空镀膜设备的膜层性能；后者PVD真空镀膜技术可以得到优良的膜层性能，但是生产效率较低以及使用成本较高，同时在生产过程中易清洁材料对真空腔有严重的污染，导致较高的维护成本。除此之外，此两种技术很难适用于复杂结构的部件，对于3D结构基材很难满足其各个面的同时涂层和膜层的均匀和一致性。

技术实现思路

[0003]鉴于以上现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种旋转机构及真空镀膜设备，以解决现有技术中的问题。
[0004]为实现上述目的及其他相关目的，本技术第一方面提供一种旋转机构，包括动力源、从动组件、第一传动件和第二传动件，所述动力源与所述从动组件传动连接，所述第一传动件与所述从动组件传动连接，所述第一传动件与所述第二传动件传动连接。
[0005]优选地，所述动力源为电机；
[0006]和/或，所述动力源与所述从动组件的传动连接为柔性铰链连接；
[0007]和/或，所述旋转机构还包括支撑件，所述从动组件、所述第一传动件和所述第二传动件设于所述支撑件上。
[0008]更优选地，所述动力源与所述第一从动轮传动连接为柔性铰链连接；
[0009]优选地，所述从动组件包括依次啮合连接的第一从动轮和第二从动轮，所述动力源与所述第一从动轮传动连接，用于带动所述第一从动轮的旋转，所述第一传动件与所述第二从动轮同轴连接。
[0010]更优选地，所述从动组件还包括第三从动轮，所述第一从动轮、所述第三从动轮和所述第二从动轮依次啮合连接。
[0011]本技术第二方面提供一种真空镀膜设备，包括上述旋转机构、蒸镀材料加热部件、旋转支架和真空腔体，所述蒸镀材料加热部件和所述旋转支架设于所述真空腔体内，所述旋转支架包括旋转件和基材旋转支撑件，所述旋转机构与所述旋转件传动连接，所述基材旋转支撑件设于所述旋转件上。
[0012]优选地，所述第二传动件与所述旋转件传动连接；
[0013]和/或，所述支撑件固定于真空腔体的内壁上；
[0014]和/或，所述旋转件包括第一旋转单元和第二旋转单元；所述旋转机构与所述第一旋转单元传动连接，所述第二旋转单元与所述第一旋转单元连接，用于支撑所述第一旋转单元的旋转；
[0015]和/或，所述基材旋转支撑件设有一层以上基材放置单元，各层之间的基材放置单元通过一个以上连接杆连接；
[0016]和/或，使用状态下，所述蒸镀材料加热部件设于所述旋转支架的上方；
[0017]和/或，所述蒸镀材料加热部件包括加热支撑架、一个以上蒸镀材料加热单元，所述加热支撑架固定于真空腔体的内壁上，各蒸镀材料加热单元设于所述加热支撑架且设有蒸镀材料放置凹槽；
[0018]和/或，所述真空腔体为圆柱状，圆柱状的中心轴为水平方向；
[0019]和/或，所述真空镀膜设备还包括固定水平控制杆，所述固定水平控制杆与所述旋转件连接。
[0020]更优选地，所述第二传动件与所述旋转件或者所述第一旋转单元的传动连接为摩擦传动连接；
[0021]和/或，所述支撑件与所述第二旋转单元固定连接；
[0022]和/或，所述第一旋转单元呈圆环状；
[0023]和/或，所述第二旋转单元呈圆环状；
[0024]和/或，所述旋转件还包括一个以上连接单元，各连接单元包括连接轴和旋转连接件，所述连接轴的一侧与所述第二旋转单元固定连接，另一侧外套所述旋转连接件，所述旋转连接件设有凹槽，所述凹槽与所述第一旋转单元匹配，所述第一旋转单元能在所述凹槽内旋转；
[0025]和/或，各基材放置单元设有一个以上通孔；
[0026]和/或，所述蒸镀材料加热部件还包括一个以上温度传感器，所述温度传感器与所述蒸镀材料加热单元连接，所述温度传感器用于获取蒸镀材料加热单元的温度信号；
[0027]和/或，所述固定水平控制杆为可伸缩式；
[0028]和/或，所述固定水平控制杆与所述第二旋转单元连接。
[0029]优选地，所述真空镀膜设备还包括控制单元，所述控制单元与选自蒸镀材料加热部件和所述旋转机构中的至少一项连接。
[0030]更优选地，所述真空镀膜设备还包括控制面板，所述控制面板与所述控制单元连接；
[0031]和/或，所述控制单元与蒸镀材料加热单元和温度传感器中的至少一项连接。
[0032]上述技术方案具有如下有益效果中的至少一项：
[0033]1)本技术旋转机构能够实现360
°
旋转，可应用与真空镀膜设备中，能够实现旋转支架在真空腔体内的水平方向360
°
旋转；
[0034]2)本技术真空镀膜设备适用于结构复杂的镀膜部件，各个表面能够同时完成镀膜，从真空腔体内取出的镀膜部件无需后续处理。
附图说明
[0035]图1是本技术第一实施例旋转机构和旋转支架的结构示意图。
[0036]图2是本技术第一实施例旋转机构和旋转支架的详细结构示意图。
[0037]图3是本技术第一实施例真空镀膜设备的结构示意图。
[0038]图4是本技术第一实施例真空镀膜设备中蒸镀材料加热部件的结构示意图。
[0039]附图标记
[0040]1旋转机构
[0041]11动力源
[0042]12从动组件
[0043]121第一从动轮
[0044]122第二从动轮
[0045]123第三从动轮
[0046]13第一传动件
[0047]14第二传动件
[0048]15支撑件
[0049]2蒸镀材料加热部件
[0050]21加热支撑架
[0051]22蒸镀材料加热单元
[0052]3旋转支架
[0053]31旋转件
[0054]311第一旋转单元
[0055]312第二旋转单元
[0056]313连接单元
[0057]3131连接轴
[0058]3132旋转连接件
[0059]3133凹槽
[0060]32旋转支撑架
[0061]321基材放置单元
[0062]4真空腔体
[0063]5固定水平控制杆
具体实施方式
[0064]在本技术的描述中，需要说明的是，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转机构，其特征在于，包括动力源(11)、从动组件(12)、第一传动件(13)和第二传动件(14)，所述动力源(11)与所述从动组件(12)传动连接，所述第一传动件(13)与所述从动组件(12)传动连接，所述第一传动件(13)与所述第二传动件(14)传动连接。2.如权利要求1所述的旋转机构，其特征在于，所述动力源(11)为电机；和/或，所述动力源(11)与所述从动组件(12)的传动连接为柔性铰链连接；和/或，所述旋转机构还包括支撑件(15)，所述从动组件(12)、所述第一传动件(13)和所述第二传动件(14)设于所述支撑件(15)上。3.如权利要求1所述的旋转机构，其特征在于，所述从动组件(12)包括依次啮合连接的第一从动轮(121)和第二从动轮(122)，所述动力源(11)与所述第一从动轮(121)传动连接，用于带动所述第一从动轮(121)的旋转，所述第一传动件(13)与所述第二从动轮(122)同轴连接。4.如权利要求3所述的旋转机构，其特征在于，所述动力源(11)与所述第一从动轮(121)传动连接为柔性铰链连接。5.如权利要求3所述的旋转机构，其特征在于，所述从动组件(12)还包括第三从动轮(123)，所述第一从动轮(121)、所述第三从动轮(123)和所述第二从动轮(122)依次啮合连接。6.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至5任一项所述的旋转机构(1)、蒸镀材料加热部件(2)、旋转支架(3)和真空腔体(4)，所述蒸镀材料加热部件(2)和所述旋转支架(3)设于所述真空腔体(4)内，所述旋转支架(3)包括旋转件(31)和基材旋转支撑件(32)，所述旋转机构(1)与所述旋转件(31)传动连接，所述基材旋转支撑件(32)设于所述旋转件(31)上。7.如权利要求6所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第二传动件(14)与所述旋转件(31)传动连接；和/或，所述支撑件(15)固定于真空腔体(4)的内壁上；和/或，所述旋转件(31)包括第一旋转单元(311)和第二旋转单元(312)；所述旋转机构(1)与所述第一旋转单元(311)传动连接，所述第二旋转单元(312)与所述第一旋转单元(311)连接，用于支撑所述第一旋转单元(311)的旋转；和/或，所述基材旋转支撑件(32)设有一层以上...

【专利技术属性】
技术研发人员：李燕燕，
申请(专利权)人：上海德弘世恩科技有限公司，
类型：新型
国别省市：