一种具有定位机构的晶舟盒运输载具制造技术

本申请涉及一种具有定位机构的晶舟盒运输载具，载具车能够自主移动从而无需人工推动，载具车上的机械手保证了晶舟盒的抓取盒摆放能够由机械手来进行操作，避免了人工的操作，载具车上的晶舟盒装载机构能够装载晶舟盒，晶舟盒装载机构能够从安装到载具车或者从载具车上卸下，为了使晶舟盒装载机构稳定地由载具车负载，载具车顶部设置承载板，承载板上设置有呈矩形设置的缓冲柱和定位机构，通过定位机构保证了晶舟盒装载机构每次均位于相同的位置。通过上述设置使得具有定位机构的晶舟盒运输载具能够方便、稳定地运输晶舟盒，降低了人工成本，提高了自动化程度。提高了自动化程度。提高了自动化程度。

【技术实现步骤摘要】
一种具有定位机构的晶舟盒运输载具


[0001]本申请属于机械人设备
，尤其是涉及一种具有定位机构的晶舟盒运输载具。

技术介绍

[0002]晶舟盒(Wafer Cassette BOX)用于将多片晶圆片装载在一起，晶舟盒内具有与晶圆匹配的卡槽，卡槽一方面能够固定晶圆的位置，另一方面避免相连的晶圆发生碰撞，从而能够保护晶圆片在运输转移过程中不受破坏。晶舟盒在各个工位进行运输时，需要使用运输车来进行。中国技术专利文献CN216185199U公开了一种运输推车，用于运输装载晶圆的晶舟盒，其包括：安装架和存放装置，存放装置设置在安装架，存放装置包括相对设置的第一支撑表面和第二支撑表面，第一支撑表面的内端与第二支撑表面的内端相连，第一支撑表面和第二支撑表面自内而外呈向上倾斜设置，第一支撑表面的倾斜程度大于第二支撑表面的倾斜程度，第一支撑表面与第二支撑表面之间形成存储空间；晶舟盒放置在存储空间时，晶舟盒的底面与第二支撑表面贴合，晶舟盒的一侧面与第一支撑表面接触，以使存放在晶舟盒中的晶圆的重心偏向第一支撑表面。
[0003]另一中国技术专利文献CN204155913U公开了一种金属晶舟盒固定装置及晶舟盒推车，金属晶舟盒固定装置包括：底板、底部表面固定在底板上的底座及首尾相连组成方形固定在底板上方的护栏，其中，底座顶部表面与水平面之间呈预定夹角。金属晶舟盒固定装置内设有顶部表面具有一定倾斜角度，并将金属晶舟盒固定装置固定在晶舟盒推车上，在金属晶舟盒放置在金属晶舟盒固定装置内时，位于金属晶舟盒内的晶圆也会倾向一侧，紧贴卡槽的一侧，从而避免在传输金属晶舟盒时晶圆在卡槽内发生剧烈晃动。
[0004]但是上述文献中的推车均需要手动推动，需要一种具有自主动力的能够稳定装载晶舟盒的运输载具。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种具有自主动力的能够稳定装载晶舟盒的运输载具。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0007]一种具有定位机构的晶舟盒运输载具，包括：
[0008]载具车，能够自主移动，顶部一侧固定安装有承载板，所述承载板上设置有呈矩形设置的缓冲柱，所述承载板上靠近高台部分的一侧设置有定位机构，所述定位机构的顶部和侧面具有开口，且侧面的开口从开口往内部方向宽度逐渐变小；
[0009]机械手，设置在载具车顶部另一侧上；
[0010]晶舟盒装载机构，具有至少一个用于放置晶舟盒的容纳平台，所述晶舟盒装载机构放置在所述承载板上，由缓冲柱所支撑，所述晶舟盒装载机构底部一侧设置有能够伸入定位机构内的限位凸块。
[0011]优选地，本技术的具有定位机构的晶舟盒运输载具，所述定位机构的顶部的开口边缘为斜面。
[0012]优选地，本技术的具有定位机构的晶舟盒运输载具，所述定位机构的侧面为具有螺孔的安装块。
[0013]优选地，本技术的具有定位机构的晶舟盒运输载具，所述定位机构的顶部和底部为镂空的U字形块，底部安装在承载板11上而底部封闭，顶部保留开口。
[0014]优选地，本技术的具有定位机构的晶舟盒运输载具，所述定位机构和限位凸块均为两个。
[0015]优选地，本技术的具有定位机构的晶舟盒运输载具，所述载具车顶部形成高度较高的高台部分和高度较低的低台部分，机械手设置在载具车顶部的高台部分上，所述承载板设置在载具车顶部的低台部分上。
[0016]优选地，本技术的具有定位机构的晶舟盒运输载具，晶舟盒装载机构为阶梯型，包括多个容纳平台。
[0017]优选地，本技术的具有定位机构的晶舟盒运输载具，所述载具车为无人搬运车。
[0018]本技术的有益效果是：
[0019]本技术的具有定位机构的晶舟盒运输载具，载具车能够自主移动从而无需人工推动，载具车上的机械手保证了晶舟盒的抓取盒摆放能够由机械手来进行操作，避免了人工的操作，载具车上的晶舟盒装载机构能够装载晶舟盒，晶舟盒装载机构能够从安装到载具车或者从载具车上卸下，为了使晶舟盒装载机构稳定地由载具车负载，载具车顶部设置承载板，承载板上设置有呈矩形设置的缓冲柱和定位机构，通过定位机构保证了晶舟盒装载机构每次均位于相同的位置。通过上述设置使得具有定位机构的晶舟盒运输载具能够方便、稳定地运输晶舟盒，降低了人工成本，提高了自动化程度。
附图说明
[0020]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0021]图1是本申请实施例的具有定位机构的晶舟盒运输载具的结构示意图；
[0022]图2是本申请实施例的具有定位机构的晶舟盒运输载具的侧视图；
[0023]图3是本申请实施例的具有定位机构的晶舟盒运输载具隐藏晶舟盒装载机构后的结构示意图；
[0024]图4是本申请实施例的定位机构的结构示意图；
[0025]图5是本申请实施例的晶舟盒装载机构的结构示意图；
[0026]图中的附图标记为：
[0027]1 载具车；
[0028]2 机械手；
[0029]3 晶舟盒装载机构；
[0030]11 承载板；
[0031]12 定位机构；
[0032]13 缓冲柱；
[0033]31 第一容纳平台；
[0034]32 第二容纳平台；
[0035]33 第三容纳平台；
[0036]34 限位凸块；
[0037]121 侧面开口；
[0038]122 顶部开口；
[0039]123 斜面；
[0040]124 安装块。
具体实施方式
[0041]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0042]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0043]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有定位机构的晶舟盒运输载具，其特征在于，包括：载具车(1)，能够自主移动，顶部一侧固定安装有承载板(11)，所述承载板(11)上设置有呈矩形设置的缓冲柱(13)，所述承载板(11)上靠近高台部分的一侧设置有定位机构(12)，所述定位机构(12)的顶部和侧面具有开口，且侧面的开口从开口往内部方向宽度逐渐变小；机械手(2)，设置在载具车(1)顶部另一侧上；晶舟盒装载机构(3)，具有至少一个用于放置晶舟盒的容纳平台，所述晶舟盒装载机构(3)放置在所述承载板(11)上，由缓冲柱(13)所支撑，所述晶舟盒装载机构(3)底部一侧设置有能够伸入定位机构(12)内的限位凸块(34)。2.根据权利要求1所述的具有定位机构的晶舟盒运输载具，其特征在于，所述定位机构(12)的顶部的开口边缘为斜面(123)。3.根据权利要求1或2所述的具有定位机构的晶舟盒运输载具，其特征在于，所述定位机...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯杨，
申请(专利权)人：苏州拓德机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：