一种硅片板输送清洗设备及工作方法技术

本发明专利技术涉及输送清洗技术领域，具体涉及一种硅片板输送清洗设备及工作方法。本发明专利技术提供了一种硅片板输送清洗设备，包括：清洗部、干燥部和若干调整输送件，干燥部固定在清洗部的一侧，干燥部适于干燥清洗后的硅片板；清洗部的两侧分别开设有两工件槽，硅片板一端插入工件槽内后，清洗部的活动端周向转动，以驱动硅片板在清洗部内水平往复移动；若干调整输送件可转动的等间距设置在清洗部内，且调整输送件与清洗部的活动端联动；其中，调整输送件顺时针转动时，适于顶推位于调整输送件上方的硅片板，使其向上翘起；调整输送件逆时针转动时，调整输送件的活动端向内收缩，以挤压调整输送件内的洗涤液喷射向调整输送件外壁。内的洗涤液喷射向调整输送件外壁。内的洗涤液喷射向调整输送件外壁。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片板输送清洗设备及工作方法


[0001]本专利技术涉及输送清洗
，具体涉及一种硅片板输送清洗设备及工作方法。

技术介绍

[0002]传统的硅片板在生产加工之前，需要对硅片板进行清洗，清洗结束后，输送至烘干设备，以清除硅片表面的水分；而传统的清洗方式是在硅片的上下两侧分别设置有喷淋装置，输送辊驱动硅片板水平往复移动，喷淋装置上下同时对硅片板进行清洗；但是这样的方式，硅片板在水平移动，因此，硅片板上的杂质不太容易向下滴落，会导致部分杂质仍然残留在硅片板上；因此，研发一种硅片板输送清洗设备及工作方法是很有必要的。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种硅片板输送清洗设备及工作方法。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种硅片板输送清洗设备，包括：清洗部、干燥部和若干调整输送件，所述干燥部固定在所述清洗部的一侧，所述干燥部适于干燥清洗后的硅片板；所述清洗部的两侧分别开设有两工件槽，硅片板一端插入所述工件槽内后，所述清洗部的活动端周向转动，以驱动硅片板在清洗部内水平往复移动；若干所述调整输送件可转动的等间距设置在所述清洗部内，且所述调整输送件与所述清洗部的活动端联动；其中，调整输送件顺时针转动时，适于顶推位于调整输送件上方的硅片板，使其向上翘起；调整输送件逆时针转动时，调整输送件的活动端向内收缩，以挤压调整输送件内的洗涤液喷射向调整输送件外壁。
[0005]作为优选，所述调整输送件包括：内套筒、外套筒、固定板和若干凸起柱，所述内套筒可转动的设置在所述外套筒内；所述内套筒沿轴向开设有一通槽，所述固定板可升降的设置在所述通槽内；若干内套筒上开设有若干与所述凸起柱相适配的通孔，所述凸起柱垂直固定在所述固定板上，且所述凸起柱凸出所述外套筒外壁。
[0006]作为优选，所述外套筒一端可转动的设置有一送水管，所述送水管与所述通槽连通，所述送水管适于向所述通槽内输送洗涤液。
[0007]作为优选，所述外套筒外壁开设有若干开口槽，一个开口槽对应一个凸起柱；所述开口槽呈矩形，且所述开口槽的开槽宽度大于所述凸起柱的直径。
[0008]作为优选，所述凸起柱一侧设置有一圆弧面，所述圆弧面与所述开口槽联动；其中，外套筒逆时针周向转动时，开口槽与圆弧面相抵，并能够推动所述凸起柱向所述通槽内收缩；
外套筒顺时针周向转动时，开口槽与凸起柱侧壁相抵，外套筒适于带动内套筒同步周向转动。
[0009]作为优选，所述外套筒外壁套设有一海绵层，所述海绵层的厚度小于所述凸起柱凸出所述外套筒的高度；所述内套筒沿径向开设有若干第一出水孔；所述外套筒沿径向开设有若干第二出水孔；其中，凸起柱向下收缩时，挤压所述固定板向内收缩，所述固定板挤压内套筒内的液体通过所述第一出水孔和所述第二出水孔喷射向海绵层。
[0010]作为优选，所述通槽内底壁固定有若干压缩弹簧，所述压缩弹簧另一端固定在所述固定板下端，所述压缩弹簧适于推动所述固定板使其与通槽内顶壁相抵。
[0011]作为优选，所述清洗部包括：清洗池、若干驱动辊、驱动电机和喷淋装置，所述清洗池水平固定；所述驱动电机固定在所述清洗池侧壁；若干所述驱动辊可转动的设置在所述清洗池内，所述驱动辊适于驱动硅片板水平往复移动，且所述驱动辊与所述驱动电机传动连接；所述喷淋装置固定在所述清洗池的一侧，所述喷淋装置的喷淋头设置在所述驱动辊上方，所述喷淋装置适于清洗硅片板。
[0012]作为优选，所述喷淋装置包括：储水池、供水管、喷淋管和若干喷淋头，所述储水池固定在所述清洗池的一侧；所述喷淋管固定在所述驱动辊上方，且一个喷淋管对应一个驱动辊；若干所述喷淋头等间距固定在所述喷淋管上，所述供水管一端与所述储水池连通，所述供水管另一端与喷淋管连通。
[0013]作为优选，所述干燥部包括：干燥支架、若干放置辊、干燥风机和筛网，所述干燥支架水平设置，若是所述放置辊可转动的设置在所述干燥支架上，所述放置辊适于驱动硅片板水平移动；所述筛网设置在所述放置辊的下方；所述干燥风机固定在所述干燥支架下端，所述干燥风机适于向干燥支架上输送干燥空气，以吹干放置辊上硅片板上的水分。
[0014]另一方面，本专利技术还提供了一种硅片板输送清洗设备的工作方法，所述驱动电机适于驱动所述驱动辊周向转动，以使插入工件槽内的硅片板能够在所述清洗池内水平往复移动；所述供水管适于将储水池内的水，通过所述喷淋头喷射向硅片板上，以清理硅片板；当硅片板移动至外套筒上方时，此时所述外套筒顺时针周向转动时，开口槽与凸起柱侧壁相抵，外套筒适于带动内套筒同步周向转动，所述凸起柱适于从下方顶起硅片板，以使硅片板一端翘起，从而能够使得硅片板从水平状态转变成倾斜状态；喷淋头上喷出的水流适于冲走硅片板上残留的杂质；而当外套筒逆时针周向转动时，开口槽与圆弧面相抵，并能够推动所述凸起柱向所述通槽内收缩；此时，凸起柱同步带动所述固定板向内收缩，固定板能够挤压通槽内的洗
涤液，使其流向外套筒外壁的海绵层，而海绵层与硅片板相抵，以起到去污效果；而当外套筒转动一圈，至开口槽位于凸起柱上方时，所述压缩弹簧适于推动所述凸起柱向上弹起复位。
[0015]本专利技术的有益效果是，本专利技术的一种硅片板输送清洗设备，通过调整输送件和驱动辊的配合，驱动辊适于驱动硅片板在清洗池内水平往复移动，以便于喷淋头喷淋清洗硅片板，而外套筒同步随着驱动辊顺时针或逆时针转动，硅片板移动至调整输送件上方，调整输送件的周向转动，适于将硅片板翘起，不仅有助于清洗硅片板，还有利于将硅片板上残留的杂质自硅片板上清理走，提高了工作效率。
[0016]本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。
[0017]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本专利技术的一种硅片板输送清洗设备的优选实施例的立体图；图2是本专利技术的清洗部的第一角度立体图；图3是本专利技术的清洗部的第二角度立体图；图4是本专利技术的喷淋管的立体图；图5是本专利技术的干燥部的立体图；图6是本专利技术的调整输送件的立体图；图7是本专利技术的调整输送件的内部立体图；图8是本专利技术的调整输送件的纵截面剖视图。
[0020]图中：1、清洗部；10、工件槽；11、清洗池；12、驱动辊；13、驱动电机；14、储水池；15、供水管；16、喷淋管；17、喷淋头；2、干燥部；21、干燥支架；22、放置辊；23、干燥风机；24、筛网；3、调整输送件；31、内套筒；32、外套筒；33、固定板；34、凸起柱；35、通槽；36、送水管；37、开口槽；38、圆弧面；39、海绵层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，包括：清洗部（1）、干燥部（2）和若干调整输送件（3），所述干燥部（2）固定在所述清洗部（1）的一侧，所述干燥部（2）适于干燥清洗后的硅片板；所述清洗部（1）的两侧分别开设有两工件槽（10），硅片板一端插入所述工件槽（10）内后，所述清洗部（1）的活动端周向转动，以驱动硅片板在清洗部（1）内水平往复移动；若干所述调整输送件（3）可转动的等间距设置在所述清洗部（1）内，且所述调整输送件（3）与所述清洗部（1）的活动端联动；其中，调整输送件（3）顺时针转动时，适于顶推位于调整输送件（3）上方的硅片板，使其向上翘起；调整输送件（3）逆时针转动时，调整输送件（3）的活动端向内收缩，以挤压调整输送件（3）内的洗涤液喷射向调整输送件（3）外壁；所述调整输送件（3）包括：内套筒（31）、外套筒（32）、固定板（33）和若干凸起柱（34），所述内套筒（31）可转动的设置在所述外套筒（32）内；所述内套筒（31）沿轴向开设有一通槽（35），所述固定板（33）可升降的设置在所述通槽（35）内；若干内套筒（31）上开设有若干与所述凸起柱（34）相适配的通孔，所述凸起柱（34）垂直固定在所述固定板（33）上，且所述凸起柱（34）凸出所述外套筒（32）外壁。2.如权利要求1所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，所述外套筒（32）一端可转动的设置有一送水管（36），所述送水管（36）与所述通槽（35）连通，所述送水管（36）适于向所述通槽（35）内输送洗涤液。3.如权利要求2所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，所述外套筒（32）外壁开设有若干开口槽（37），一个开口槽（37）对应一个凸起柱（34）；所述开口槽（37）呈矩形，且所述开口槽（37）的开槽宽度大于所述凸起柱（34）的直径。4.如权利要求3所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，所述凸起柱（34）一侧设置有一圆弧面（38），所述圆弧面（38）与所述开口槽（37）联动；其中，外套筒（32）逆时针周向转动时，开口槽（37）与圆弧面（38）相抵，并能够推动所述凸起柱（34）向所述通槽（35）内收缩；外套筒（32）顺时针周向转动时，开口槽（37）与凸起柱（34）侧壁相抵，外套筒（32）适于带动内套筒（31）同步周向转动。5.如权利要求4所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，所述外套筒（32）外壁套设有一海绵层（39），所述海绵层（39）的厚度小于所述凸起柱（34）凸出所述外套筒（32）的高度；所述内套筒（31）沿径向开设有若干第一出水孔；所述外套筒（32）沿径向开设有若干第二出水孔；其中，凸起柱（34）向下收缩时，挤压所述固定板（33）向内收缩，所述固定板（33）挤压内套筒（31）内的液体通过所述第一出水孔和所述第二出水孔喷射向海绵层（39）。6.如权利要求5所述的一种硅片板输送清洗设备，其特征在于，所述通槽（35）内底壁固定有若干压缩弹簧（40），所述压缩弹簧（40）另一端固定在所述
固定板（33）下端，所述压缩弹簧（40）适于推动所述固定板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾广春，庄正军，邹开峰，上官泉元，
申请(专利权)人：常州比太科技有限公司，
类型：发明
国别省市：