一种SIC生产加工的研磨结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种SIC生产加工的研磨结构，属于碳化硅加工领域，一种SIC生产加工的研磨结构，包括两个研磨模具，两个研磨模具相对的一侧均装配有研磨内壳，两个研磨内壳拼合出一研磨腔，研磨模具的两侧均固定连接有侧板，侧板上设置有震动部和为震动部提供动能的驱动部，震动部包括有多个转动连接在侧板上的转动杆，转动杆沿研磨内壳的长边方向设置，转动杆的周侧固定连接有多个自适应调节杆，自适应调节杆包括有固定连接在转动杆外侧的定向杆，定向杆的外侧设置有沿其长边滑动的套筒，它可以实现，利用振动力对粘附在研磨层上的粉料进行清理，减少研磨棒材时粘附在研磨层上的粉料，保证装置的研磨效果。保证装置的研磨效果。保证装置的研磨效果。

【技术实现步骤摘要】
一种SIC生产加工的研磨结构


[0001]本技术涉及碳化硅加工领域，更具体地说，涉及一种SIC生产加工的研磨结构。

技术介绍

[0002]碳化硅，是刚玉宝石中除红色的红宝石之外，其它颜色刚玉宝石的通称，主要成分是氧化铝(Al2O3)，碳化硅具有高声速、高硬度、高强度、耐高温、抗腐蚀性、光学穿透带宽、绝缘性好等优良性能，因而被大量用在光学元件、红外装置及光罩材料上；
[0003]其中碳化硅晶棒在成型之后首先要使用对研磨装置对晶棒表面进行抛光研磨，经专利检索发现，公开号为CN207578155U的中国专利公开了一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，该装置通过弹簧可以逐渐增加研磨模具对晶棒的研磨厚度，通过控制研磨模具的内径可以精确的控制晶棒的研磨精度，晶棒的研磨精度和研磨效率大大提高；
[0004]但其在研磨过程中，晶棒会产生处大量的粉料，其中大半部粉料会直接下落，剩余的粉料会粘附在研磨模具研磨层的内壁上，对研磨层的缝隙进行填充，降低研磨层的摩擦力，导致装置的研磨效果下降，为此我们提出一种SIC生产加工的研磨结构。

技术实现思路

[0005]1.要解决的技术问题
[0006]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种SIC生产加工的研磨结构，它可以实现，利用振动力对粘附在研磨层上的粉料进行清理，减少研磨棒材时粘附在研磨层上的粉料，保证装置的研磨效果。
[0007]2.技术方案
[0008]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0009]一种SIC生产加工的研磨结构，包括两个研磨模具，两个所述研磨模具相对的一侧均装配有研磨内壳，两个所述研磨内壳拼合出一研磨腔；
[0010]所述研磨模具的两侧均固定连接有侧板，所述侧板上设置有震动部和为震动部提供动能的驱动部。
[0011]进一步的，所述震动部包括有多个转动连接在侧板上的转动杆，所述转动杆沿研磨内壳的长边方向设置，所述转动杆的周侧固定连接有多个自适应调节杆。
[0012]进一步的，所述自适应调节杆包括有固定连接在转动杆外侧的定向杆，所述定向杆的外侧设置有沿其长边滑动的套筒，所述定向杆远离转动杆的一端固定连接有第一磁石，所述套筒内部远离转动杆的一端固定连接有与第一磁石磁力相斥的第二磁石。
[0013]进一步的，所述套筒远离研磨模具的一端转动连接有敲击圆轮，所述敲击圆轮的外侧固定连接有多个呈环形阵列的震动凸块。
[0014]进一步的，所述驱动部包括有转动连接在侧板上的动力轮，所述研磨内壳上开设有间隙槽，所述动力轮的边缘位置通过间隙槽延伸至研磨腔的内部，多个所述转动杆和动
力轮之间通过齿轮组和转轮组连接。
[0015]进一步的，所述齿轮组包括有相互啮合的大齿轮和小齿轮，所述大齿轮固定连接在动力轮上，所述小齿轮转动连接在侧板上，所述小齿轮和转动杆之间通过转轮组连接。
[0016]3.有益效果
[0017]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0018](1)本方案通过SIC棒材在转动研磨时产生的动能带动转动杆转动，对研磨内壳进行敲击，使研磨内壳产生震动，利用振动力对粘附在研磨层上的粉料进行清理，避免研磨棒材时产生的粉料粘附在研磨层上，降低研磨层的摩擦力，影响研磨层的研磨效果。
附图说明
[0019]图1为本技术的结构示意图；
[0020]图2为本技术的局部剖切结构示意图；
[0021]图3为本技术的剖切侧视图；
[0022]图4为本技术自适应调节杆的剖切结构示意图。
[0023]图中标号说明：
[0024]1、研磨模具；2、研磨内壳；3、侧板；4、动力轮；5、间隙槽；6、大齿轮；7、小齿轮；8、传动轮；9、传动带；10、转动杆；11、定向杆；12、套筒；13、敲击圆轮；14、震动凸块；15、第一磁石；16、第二磁石。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]实施例：
[0027]请参阅图1
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4所示，一种SIC生产加工的研磨结构，包括两个研磨模具1，研磨模具1的纵向截面均呈C形，且两个研磨模具1的开口相对，其开口内部装配有研磨内壳2，两个研磨内壳2拼合出一个圆柱形的研磨腔，研磨腔的内侧为研磨层，将SIC棒材放置在研磨腔的内部即可对其进行研磨，同时，研磨内壳2根据其内径的不同分为不同型号，分别应用于不同型号的SIC棒材上，通过更换研磨内壳2即可对不同型号的SIC棒材进行研磨。
[0028]上述部分为成熟的现有技术，本技术方案不再对其进行详细介绍，下面对本技术方案中的核心之处进行说明。
[0029]请参阅图1
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3所示，研磨模具1的两侧均固定连接有侧板3，侧板3上设置有震动部和为震动部提供动能的驱动部；
[0030]其中，震动部用于对研磨内壳2进行敲击，使研磨内壳2发生震动，利用振动力对粘附在研磨层上的粉料进行清理，避免研磨棒材时产生的粉料粘附在研磨层上，降低研磨层的摩擦力，影响研磨层的研磨效果；
[0031]震动部包括有多个转动连接在侧板3上的转动杆10，转动杆10沿研磨内壳2的长边方向设置，转动杆10的周侧固定连接有多个自适应调节杆，转动杆10转动使自适应调节杆
会不停的与研磨内壳2接触，对研磨内壳2进行敲击，使研磨内壳2产生震动。
[0032]同时，当转动杆10转动时，自适应调节杆的长度会自动发生变化，让自适应调节杆能够与研磨内壳2接触，且不会让研磨内壳2将自适应调节杆拦停，造成卡死现象。
[0033]其中，请参阅图4所示，自适应调节杆包括有固定连接在转动杆10外侧的定向杆11，定向杆11的外侧设置有沿其长边滑动的套筒12，定向杆11远离转动杆10的一端固定连接有第一磁石15，套筒12内部远离转动杆10的一端固定连接有与第一磁石15磁力相斥的第二磁石16，此时，通过第一磁石15和第二磁石16之间的磁力带动套筒12朝远离转动杆10的方向进行移动，相对与弹簧，其使用寿命较长，能够带动套筒12进行更多次的反复移动。
[0034]进一步，为了减小套筒12转动时对研磨内壳2造成的磨损，套筒12远离研磨模具1的一端转动连接有敲击圆轮13，敲击圆轮13为圆柱形，当套筒12与研磨内壳2接触时，敲击圆轮13会在研磨内壳2的侧面上进行转动，让敲击圆轮13进行自转，减小敲击圆轮13和研磨内壳2之间的摩擦力。
[0035]同时，敲击圆轮13的外侧固定连接有多个呈环形阵列的震动凸块14，当敲击圆轮13转动时，敲击圆轮13的侧边和震动凸块14会不停的循环与研磨内壳2接触，从而对研磨内壳2施加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种SIC生产加工的研磨结构，包括两个研磨模具(1)，其特征在于：两个所述研磨模具(1)相对的一侧均装配有研磨内壳(2)，两个所述研磨内壳(2)拼合出一研磨腔；所述研磨模具(1)的两侧均固定连接有侧板(3)，所述侧板(3)上设置有震动部和为震动部提供动能的驱动部。2.根据权利要求1所述的一种SIC生产加工的研磨结构，其特征在于：所述震动部包括有多个转动连接在侧板(3)上的转动杆(10)，所述转动杆(10)沿研磨内壳(2)的长边方向设置，所述转动杆(10)的周侧固定连接有多个自适应调节杆。3.根据权利要求2所述的一种SIC生产加工的研磨结构，其特征在于：所述自适应调节杆包括有固定连接在转动杆(10)外侧的定向杆(11)，所述定向杆(11)的外侧设置有沿其长边滑动的套筒(12)，所述定向杆(11)远离转动杆(10)的一端固定连接有第一磁石(15)，所述套筒(12)内部远离转动杆(10)的一端固定连...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢乙强，姜宏，周向明，
申请(专利权)人：无锡弘元半导体材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：