集束传输设备制造技术

本发明专利技术提供了一种集束传输设备，包括底座、腔体、机械手、机械手驱动机构、控制系统、驱动轴、多个侧面法兰及与侧面法兰相互对应的传感器、闸门及闸门驱动机构，腔体呈中空结构，中空结构形成机械手活动腔，驱动轴的一端密封穿过腔体的底部且延伸入机械手活动腔内并与机械手连接，驱动轴另一端与机械手驱动机构连接，机械手驱动机构与控制系统电连接，侧面法兰具有传输通道，侧面法兰设置于腔体的侧壁上且传输通道与机械手活动腔连通，闸门安装于侧面法兰的传输通道内并与闸门驱动机构连接，闸门驱动机构安装于腔体上且与传感器电连接，传感器与控制系统电连接。本发明专利技术能充分利用腔体内部空间且其结构紧凑、兼容性高并便于腔体内产品传输。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于提供传输空间的传输设备，尤其涉及一种用于为生产 设备之间起传递产品或半产品的机械手的活动提供密封传输空间的集束传输设 备。
技术介绍
随着经济的不断发展、科技的不断进步及可利用的土地资源的日益减少， 人们越来越重视资源节约及其利用效率，以减少对人类生存的环保破坏，使得 人类与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道蹈要求。其中，在半导体行业、电子行业及机械行业等的加工集群设备中，产品成品与半成品之间的传输也是很重要的一部分。因为它关系到提高产品的质量、 效率及合格率的重要因素之一，也是降低企业生产成本重要因素之一。因此，在企业用地的成本日益增加的今天，企业越来越重视传输设备的空间利用效率，减少企业对土地的使用量以降低企业生产产品的成本，从而提高企业在市场中竟争力。但是，市场上的传输设备普遍存在以下的缺点目前，在传输系统中，传输设备一般都是单对单对的工作模式，即是产品 在某一个工序时却需要用一个传输设备去执行产品的传输任务。但是，在产品 流水线的生产过程中，为了能满足产品的流水线生产要求，尤其是满足生产工 序种类繁多的半导体产品的生产要求，却需要许多传输设备去负责各工序间的 产品传输以实现流水线生产作业目的。 一方面使得半导体产品在流水线作业生 产过程中需求大量的传输设备去执行半导体产品的传输任务，增加了制造和使 用传输设备的成本；另一方面使得传输设备占用了大量的土地资源，增加了土 地的使用成本，从而增加了企业产品的生产成本以及P争低企业在市场上竟争力。4同时，由于传输设备是针对某一半导体产品的流水线作业要求而设计制造的， 当该半导体产品更新换代后，应用于该半导体产品上的大多数传输设备均不能 适用新的半导体产品的传输要求，从而使得传输设备的兼容性差。因此，急需要一种结构紧凑、兼容性好及能有效缩小占地面积的用于为生产 设备之间起传递产品或半产品的机械手的活动提供密封传输空间的集束传输设 备。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种结构紧凑、兼容性好及能有效缩小占地面积的 用于为生产设备之间起传递产品或半产品的机械手的活动提供密封传输空间的 集束传输设备。为实现上述目的，本专利技术的技术方案为提供一种集束传输设备，其中， 所述集束传输设备包括底座、腔体、机械手、机械手驱动机构、控制系统、驱 动轴、多个侧面法兰及与所述侧面法兰相互对应的传感器、闸门及闸门驱动枳j 构，所述腔体呈中空结构，所述中空结构形成^L械手活动腔，所述腔体设置于 所述底座之上，所述驱动轴的一端密封穿过所述腔体的底部且延伸入所述机械 手活动腔内并与所述机械手连接，所述驱动轴的另 一端与所述机械手驱动机构 连接，所述机械手驱动机构与所述控制系统电连接，所述侧面法兰具有传输通 道，所述侧面法兰设置于所述腔体的侧壁上且所述传输通道与所述机械手活动接，所述闸门驱动机构安装于所述腔体上且与所述传感器电连接，所述传感器 与所述控制系统电连接，所述传感器控制所述闸门驱动机构对所述闸门进行开 启或关闭。较佳地，所述集束传输设备还包括腔体顶盖及顶盖驱动机构，所述腔体的 顶部开设有腔体开口 ，所述腔体顶盖枢接于所述腔体上且与所述顶盖驱动机构 连接，所述顶盖驱动机构安装于所述腔体上，所述顶盖驱动机构控制所述腔体 顶盖对所述腔体开口进行密封关闭或打开。通过所述腔体开口，方便于腔体内部件的装拆及便于腔体的维护；通过腔体顶盖及顶盖驱动机构，使得腔体顶盖 对腔体开口进行打开或关闭极易且密封性能优异。具体地，所述集束传输设备 还包括上密封部件，所述上密封部件包括上封头及上部法兰，所述上封头的一 端连接于所述腔体的腔体开口的开口处，另一端与所述上部法兰连接，所述上 部法兰均匀分布有密封连接孔，所述腔体顶盖具有与所述密封连接孔对应的密 封销柱。通过由上封头及上部法兰组成的上密封部件，使得集束传输设备内传 输的产品的处于真空的环境下工作，防止污染物质对集束传输设备内的传输产 品污染，提高产品的加工质量；通过腔体顶盖的密封销柱和上部法兰的密封连 接孔，使得腔体顶盖与上部法兰密封更可靠，固定更方便。具体地，所述腔体 顶盖开设有呈透明状的观察窗。通过所述透明状的观察窗，方便操作人员对集 束传输设备实时监控及维护。较佳地，所述集束传输设备还包括窗口法兰，所述窗口法兰的顶面呈透明 状，所述传感器安装于呈透明状的窗口法兰的顶面上，所述窗口法兰相对应地 设置于所述侧面法兰的传输通道的末端且分别位于所述腔体的顶部和底部；通 过所述呈透明状的窗口法兰和设置于其上的传感器， 一方面使得传感器能精准 地检测到集束传输设备的机械手移动，从而精准地打开或关闭闸门，使得集束 传输设备内的产品传输更协调、更一致；另一方面便于操作人员对腔体内部进 行实时监控。较佳地，所述集束传输设备还包括真空泵，所述真空泵倒立安装于所述腔 体的底部并与所述机械手活动腔连通。通过所述真空泵，使得集束传输设备内 部具有高的真空度；通过所述真空泵的倒立安装，能防止灰尘、油污等小物体 损坏了真空泵，延长真空泵的使用寿命。较佳地，所述集束传输设备还包括移动支撑组件，所述移动支撑组件包括 滑动轮及支撑块，所述滑动轮与所述底座枢接，所述支撑块与所述底座可伸缩 的连接。通过所述滑动轮，便于集束传输设备定位和使用；通过所述支撑块， 使得集束传输设备工作时更稳定、更可靠。较佳地，所述集束传输设备还包括支承环，所述支承环安装于所述腔体的6底部，所述驱动轴密封穿过所述支承环且延伸入所述机械手活动腔内，所述支 承环与所述腔体的内壁之间设有内加强筋，所述腔体的外壁与所述側面法兰之间设有外加强筋。通过所述支承环，使得驱动轴安装更方便、可靠；通过所述 内、外加强筋，增加集束传输设备的整体刚度，防止集束传输设备变形，保证 集束传输设备更可靠地工作。具体地，所述侧面法兰呈平板状，通过平板状的 侧面法兰，使得集束传输设备与各种不同类型的生产设备连接简单、密封可靠， 从而使得集束传输设备具有优异的兼容性。较佳地，所述腔体呈圆柱体或多边形柱体。通过呈圆柱体或多边形柱体的 腔体，使得腔体的结构更紧凑且利用率更高。与现有技术相比，由于本专利技术的腔体、机械手、机械手驱动机构、控制系 统及驱动轴，且腔体形成机械手活动腔，使本专利技术的集束传输设备能充分利用 腔体内部的空间，提高腔体内部空间的利用率，使得集束传输设备的结构更紧 凑以减少集束传输设备对宝贵的土地资源的占用量，从而降低企业产品的生产 成本。同时，由于本专利技术的具有传输通道的侧面法兰， 一方面使得与传输通道 相连通的腔体内的产品传输更容易；另 一方面使得集束传输设备能同时与各种 不同类型的生产设备连接，且连接简单、密封可靠，从而使集束传输设备具有 优异的兼容性能。附图说明图l是本专利技术集束传输设备的结构示意图。 图2是本专利技术集束传输设备的另 一结构示意图。 图3是本专利技术集束传输设备夹持基片时的状态图。图4是本专利技术集束传输设备拆卸腔体顶盖、顶盖驱动机构及底座后的结构 示意图。图5是本专利技术集束传输设备拆卸腔体顶盖、顶盖驱动机构及底座后的另一 结构示意图。图6是本专利技术集束传输设备的机械手夹持基片时的状态图。图7是本专利技术集束传输设备的机械手的流程图。 具体实施例方式为了详细说明本专利技术集束传输设备的
技术实现思路
、构造本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集束传输设备，其特征在于：包括底座、腔体、机械手、机械手驱动机构、控制系统、驱动轴、多个侧面法兰及与所述侧面法兰相互对应的传感器、闸门及闸门驱动机构，所述腔体呈中空结构，所述中空结构形成机械手活动腔，所述腔体设置于所述底座之上，所述驱动轴的一端密封穿过所述腔体的底部且延伸入所述机械手活动腔内并与所述机械手连接，所述驱动轴的另一端与所述机械手驱动机构连接，所述机械手驱动机构与所述控制系统电连接，所述侧面法兰具有传输通道，所述侧面法兰设置于所述腔体的侧壁上且所述传输通道与所述机械手活动腔连通，所述闸门安装于所述侧面法兰的传输通道内并与所述闸门驱动机构连接，所述闸门驱动机构安装于所述腔体上且与所述传感器电连接，所述传感器与所述控制系统电连接，所述传感器控制所述闸门驱动机构对所述闸门进行开启或关闭。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，范继良，郭远伦，王曼媛，王勇，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：发明
国别省市：44[]