电子装置制造方法及图纸

本揭露提供一种电子装置，包括基板以及多个晶体管。多个晶体管设置于基板上。多个晶体管中至少一个包括半导体层、绝缘层、栅极以及第一电极。半导体层设置于基板上。绝缘层设置于半导体层上且包括多个第一接触孔。栅极与半导体层重叠。第一电极设置于绝缘层上。第一电极通过多个第一接触孔接触半导体层。于电子装置的上视方向观察,多个第一接触孔的一个具有一轮廓,部分的多个第一接触孔中的一个的轮廓位于半导体层外。本揭露实施例的电子装置可具有较小的尺寸。有较小的尺寸。有较小的尺寸。

【技术实现步骤摘要】
电子装置
[0001]相关分案申请
[0002]本揭露是2020年09月17日所提出的申请号为202010979495.2、专利技术名称为《电子装置》的专利技术专利申请的分案申请。


[0003]本揭露涉及一种电子装置，尤其涉及一种可具有较小的尺寸的电子装置。

技术介绍

[0004]平面显示面板已广泛地应用于电子设备例如移动电话、电视、监视器、平板电脑、车用显示器、穿戴装置以及台式电脑中。随电子产品蓬勃发展，对于电子产品上的显示品质的要求越来越高，使得用于显示的电子装置不断朝向更大及更高解析度的显示效果改进。

技术实现思路

[0005]本揭露是提供一种电子装置，其可具有较小的尺寸。
[0006]根据本揭露的实施例，电子装置包括基板以及多个晶体管。多个晶体管设置于基板上。多个晶体管包括半导体层、绝缘层、栅极以及第一电极。半导体层设置于基板上。绝缘层设置于半导体层上且包括多个第一接触孔。栅极与半导体层重叠。第一电极设置于绝缘层上。第一电极通过多个第一接触孔接触半导体层。于电子装置的上视方向观察,多个第一接触孔的一个具有一轮廓,部分的多个第一接触孔中的一个的轮廓位于半导体层外。
[0007]根据本揭露的实施例，电子装置包括基板、第一晶体管、第二晶体管以及金属走线。第一晶体管与第二晶体管设置于基板上且设置于非显示区中。第二晶体管与第一晶体管相邻。第二晶体管与第一晶体管各自包括：半导体层、绝缘层、栅极、第一电极以及第二电极。半导体层设置于基板上。绝缘层设置于半导体层上。绝缘层包括多个第一接触孔与多个第二接触孔。栅极与半导体层重叠。第一电极设置于绝缘层上。第一电极通过多个第一接触孔接触半导体层。第二电极设置于绝缘层上。第二电极通过多个第二接触孔接触半导体层。金属走线设置于基板上，且设置于第一晶体管与第二晶体管之间。
附图说明
[0008]包含附图以便进一步理解本揭露，且附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图说明本揭露的实施例，并与描述一起用于解释本揭露的原理。
[0009]图1A为本揭露一实施例的电子装置的上视示意图；
[0010]图1B为图1A的电子装置沿剖面线A
‑
A
’
的剖面示意图；
[0011]图1C为本揭露另一实施例的电子装置的上视示意图；
[0012]图2为本揭露另一实施例的电子装置的上视示意图；
[0013]图3为本揭露另一实施例的电子装置的上视示意图；
[0014]图4A为本揭露另一实施例的电子装置的剖面示意图；
[0015]图4B为图4A的电子装置沿剖面线B
‑
B
’
的剖面示意图；
[0016]图5为本揭露另一实施例的电子装置的剖面示意图；
[0017]图6A为本揭露另一实施例的电子装置的剖面示意图；
[0018]图6B为图6A的电子装置沿剖面线C
‑
C
’
的剖面示意图。
[0019]附图标号说明
[0020]100、100a、100b、100c、100d、100e：电子装置；
[0021]110：基板；
[0022]120、120
’
、120a、120a
’
、120b、120b
’
、120c、120c
’
、120d、120d
’
、120e：晶体管；
[0023]131、131a、131a
’
、132、132a、132a
’
、133：第一接触孔；
[0024]131
’
、132
’
、133
’
：第一边缘；
[0025]134、134a、134a
’
、135、136：第二接触孔；
[0026]134
’
、135
’
、136
’
：第二边缘；
[0027]140、141：绝缘层；
[0028]142：缓冲层；
[0029]150：介电层；
[0030]151、152、153：第一开孔；
[0031]154、155、156：第二开孔；
[0032]160：金属走线；
[0033]A
‑
A
’
、B
‑
B
’
、C
‑
C
’
：剖面线；
[0034]CH、CH1、CH2：通道层；
[0035]D1、D1
’
、D1c
’
、D1d
’
、D2、D3、D3
’
、D3c
’
、D3d
’
、D4：最小距离；
[0036]G1：第一间隙；
[0037]G2：第二间隙；
[0038]GE、GE
’
：栅极；
[0039]GI：栅极绝缘层；
[0040]L：左臂；
[0041]P1、P1
’
、P2、P3、P3
’
：间距；
[0042]R：右臂；
[0043]SD1、SD1
’
：第一电极；
[0044]SD1a、SD1a
’
：第一侧；
[0045]SD2：第二电极；
[0046]SD2a：第二侧；
[0047]SE、SEc、SEd、SEe：半导体层；
[0048]SE1、SE1c、SE1d：第一侧边；
[0049]SE2、SE2c、SE2d：第二侧边；
[0050]W1、W2、W3、W4：宽度；
[0051]X、Y：方向。
具体实施方式
[0052]通过参考以下的详细描述并同时结合附图可以理解本揭露，需注意的是，为了使读者能容易了解及为了附图的简洁，本揭露中的多张附图只绘出电子装置的一部分，且附图中的特定元件并非依照实际比例绘图。此外，图中各元件的数量及尺寸仅作为示意，并非用来限制本揭露的范围。
[0053]在下文说明书与权利要求中，“含有”与“包括”等词为开放式词语，因此其应被解释为“含有但不限定为
…”
之意。
[0054]应了解到，当元件或膜层被称为在另一个元件或膜层“上”或“连接到”另一个元件或膜层时，它可以直接在此另一元件或膜层上或直接连接到此另一元件或层，或者两者之间存在有插入的元件或膜层(非直接情况)。相反地，当元件被称为“直接”在另一个元件或膜层“上”或“直接连接到”另一个元件或膜层时，两者之间不存在有插入的元件或膜层。
[0055]虽然术语第一、第二、第三
…
可用以描述多种组成元件，但组成元件并不以此术语为限。此术语仅用于区别说明书内单一组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子装置，其特征在于，包括：基板；以及多个晶体管，设置于所述基板上，其中所述多个晶体管中至少一个，包括：半导体层，设置于所述基板上；绝缘层，设置于所述半导体层上，且包括多个第一接触孔；栅极，与所述半导体层重叠；以及第一电极，设置于所述绝缘层上，且通过所述多个第一接触孔接触所述半导体层；其中于所述电子装置的上视方向观察,所述多个第一接触孔的一个具有轮廓,部分的所述多个第一接触孔中的所述一个的所述轮廓位于所述半导体层外。2.根据权利要求1所述的电子装置，其特征在于，所述半导体层具有远离所述栅极的第一侧边，所述多个第一接触孔暴露部分的所述第一侧边。3.根据权利要求1所述的电子装置，其特征在于，所述栅极具有延伸方向,且所述多个第一接触孔沿所述延伸方向排列。4.根据权利要求3所述的电子装置，其特征在于，所述多个晶体管中的至少一个还包括第二电极,所述绝缘层还包括多个第二接触孔,所述第二电极通过所述多个第二接触孔接触所述半导体层,且所述多个第一接触孔与所述多个第二接触孔交错排列。5.根据权利要求4所述的电子装置，其特征在于，所述第二接触孔沿所述延伸方向排列。6.根据权利要求4所述的电子装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴名柔，蔡嘉豪，程怡瑄，
申请(专利权)人：群创光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：