一种平板玻璃用离子束形成模块制造技术

本实用新型专利技术提供一种平板玻璃用离子束形成模块，属于半导体器件制造技术领域，包括有离子源腔体及设置于其内的离子源装置，在离子源装置的输出侧设置有离子引出电极，离子引出电极上设有电极固定架；在离子源腔体的壁板上开设有贯通的轨道槽，电极固定架通过轨道槽穿出离子源腔体并在外端连接有电极平移机构；电极平移机构设置于离子源腔体外，在电极平移机构外设有引出电极壳体，引出电极壳体与离子源腔体密封连接。本方案解决了引出电极无法或不便于调节位置的问题，从而能够更加便捷地获得所需要求的离子束，有助于提高离子植入工艺效率及品质。率及品质。率及品质。

【技术实现步骤摘要】
一种平板玻璃用离子束形成模块


[0001]本技术属于半导体器件制造
，具体涉及一种平板玻璃用离子束形成模块。

技术介绍

[0002]在目前的电子工业中，离子植入已成为半导体工艺及微电子工艺中的一项重要的掺杂技术。例如对于液晶显示屏中采用的薄膜晶体管(Thinfilmtransistors)阵列基板，其需要将平板玻璃作为基板，在其上进行离子植入。离子束形成模块是离子植入工艺中最重要的部件之一，其中主要具有离子源装置和离子引出电极，离子源装置用于产生离子，离子引出电极用于形成电场从而使离子定向运动。传统的离子束形成模块中，离子引出电极是固定安装设置的，难以或无法对位置进行调整，仅能够通过调整输入电流大小进行电场的调节，而不能灵活地调整电场的位置，不能调整离子源装置相对于电场中的位置，不便于调整得到所需的离子束浓度分布及形状。
[0003]现有申请公开号为CN102347191A的中国专利技术专利提出一种分体式离子源引出电极系统，其中减速电极通过减速电极连接杆连接固定到基座上，加速电极通过加速电极连接杆连接固定到基座上，连接方式使得加速本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平板玻璃用离子束形成模块，其特征在于，包括有离子源腔体及设置于其内的离子源装置，在离子源装置的输出侧设置有离子引出电极，离子引出电极上设有电极固定架；在离子源腔体的壁板上开设有贯通的轨道槽，电极固定架通过轨道槽穿出离子源腔体并在外端连接有电极平移机构；电极平移机构设置于离子源腔体外，在电极平移机构外设有引出电极壳体，引出电极壳体与离子源腔体密封连接。2.如权利要求1所述的平板玻璃用离子束形成模块，其特征在于，电极平移机构包括有螺杆，螺杆两端与螺杆连接座转动连接，螺杆连接座位于引出电极壳体内部两侧；螺杆的一端通过旋转轴密封结构穿出至引出电极壳体外侧，并在末端与伺服电机传动连接；电极固定架上设有贯通的螺孔并相匹配地螺纹连接于螺杆外。3.如权利要求2所述的平板玻璃用离子束形成模块，其特征在于，在离子源腔体的壁板内侧或外侧，或者在轨道槽的内侧面，设置有限位滑轨，电极固定架中部外侧与限位滑轨滑动连接。4.如权利要求1所述的平板玻璃用离子束形成模块，其特征在于，电极平移机构为线性模组。5.如权利要求1所述的平板玻璃用离子束形成模块，其特征在于，在离子源腔体内，在离子引出电极的输出侧设有离子束质量和电荷比值分析磁场单元；在离子源腔体的末端设有离子源门阀。6.如权利要求5所述的平板玻璃用离子束形成模块，其特征在于，离子源门阀的阀板在朝向离子...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈维，邝斌，
申请(专利权)人：浙江鑫钰新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：