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本实用新型提供一种平板玻璃用离子束形成模块，属于半导体器件制造技术领域，包括有离子源腔体及设置于其内的离子源装置，在离子源装置的输出侧设置有离子引出电极，离子引出电极上设有电极固定架；在离子源腔体的壁板上开设有贯通的轨道槽，电极固定架通过轨...
该专利属于浙江鑫钰新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江鑫钰新材料有限公司授权不得商用。

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