一种平板玻璃用离子植入系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种平板玻璃用离子植入系统，包括有依次相连接的离子源组合单元、离子束质量和电荷比值分析磁场单元、拓展磁铁组合单元、准直磁铁组合单元以及植入模块；在离子束质量和电荷比值分析磁场单元和拓展磁铁组合单元之间设置有离子源门阀，离子源门阀具有贯通的门阀腔，门阀腔的形状为沿离子束质量和电荷比值分析磁场单元至拓展磁铁组合单元的方向上高度逐渐增加。本方案在离子束质量和电荷比值分析磁场单元与拓展磁铁组合单元之间设有特定结构的离子源门阀，便于检修维护，可在门阀关闭后实现隔离，并且门阀腔与离子束的路径相匹配，不阻碍离子束的传输，同时也不会大幅增加系统真空腔室体积，有助于提高植入工艺品质和效率。工艺品质和效率。工艺品质和效率。

【技术实现步骤摘要】
一种平板玻璃用离子植入系统


[0001]本技术属于半导体器件制造
，具体涉及一种平板玻璃用离子植入系统。

技术介绍

[0002]离子植入是指将离子束射向固体材料(靶片)，并最终停留在该固体材料表面或内部的处理工艺。例如对于液晶显示屏中采用的薄膜晶体管(Thinfilm transistors)阵列基板，其需要将平板玻璃作为基板，在其上进行离子植入。
[0003]现有的一种离子植入系统例如申请公开号为CN109243958A的中国专利技术专利，其中离子源通过管道形结构直接与植入工艺腔相连接，此种结构不便于维修及调试，设置有金属离子吸收部件，但其采用电极方式，在调节电压时还是可能导致杂质离子进入植入工艺腔而造成污染；以及如其说明书所述，金属离子吸收部件处的管道还需要定期整体拆卸更换；因此在植入工艺的质量及调试维护效率方面有待改进。
[0004]此外，目前液晶显示屏中采用的平板玻璃基板所需的离子植入剂量大，例如为10
15
/cm2，平板玻璃的面积也较大，例如宽2200mm、长2500mm的长方形。目前的离子植入本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平板玻璃用离子植入系统，其特征在于，包括有依次相连接的离子源组合单元、离子束质量和电荷比值分析磁场单元、拓展磁铁组合单元、准直磁铁组合单元以及植入模块；在离子束质量和电荷比值分析磁场单元和拓展磁铁组合单元之间设置有离子源门阀，离子源门阀具有贯通的门阀腔，门阀腔的形状为沿离子束质量和电荷比值分析磁场单元至拓展磁铁组合单元的方向上高度逐渐增加。2.如权利要求1所述的平板玻璃用离子植入系统，其特征在于，离子源门阀包括有门阀腔、阀板和气缸；门阀腔的上方密封连接有用于容纳阀板的阀板腔；阀板位于门阀腔和阀板腔的内部空间；阀板腔上方与气缸密封连接，气缸的活塞杆朝下并与阀板相连接。3.如权利要求1所述的平板玻璃用离子植入系统，其特征在于，门阀腔包括依次相连的门阀前段、门阀中段和门阀后段，门阀前段与离子束质量和电荷比值分析磁场单元密封连接，阀板腔位于门阀中段，门阀后段与拓展磁铁组合单元密封连接；门阀后段的内部空间高度大于门阀前段的内部空间高度。4.如权利要求2所述的平板玻璃用离子植入系统，其特征在于，门阀腔的内侧底面设有阀板凹槽，阀板凹槽的形状及位置与阀板腔相对应；在阀板凹槽的内侧底面上设置有密封带。5.如权利要求2所述的平板玻璃用离子植入系统，其特征在于，阀板在朝向离子束质量和电荷比值分析磁场单元的一侧面上设置有离子接收板。6.如权利要求2所述的平板玻璃用离子植入系统，其特征在于，阀板与...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈维，邝斌，
申请(专利权)人：浙江鑫钰新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：