【技术实现步骤摘要】
利用带电粒子的样品处理装置
[0001]本专利技术涉及一种利用带电粒子加工样品的样品处理装置。更加详细地，涉及一种在利用带电粒子精密加工样品的装置中，在大气压下处理样品时，最大限度的防止带电粒子与大气中的空气粒子碰撞发生的散射，从而可进行精密加工的利用带电粒子的样品处理装置。
技术介绍
[0002]近来，由于显示器和半导体的高附着力，对样品进行精密加工的需求日益增加。因此，以利用现有的激光加工无法进行精密加工，或者受到材料的限制。这是因为激光加工基本上是由热加工对柔性基板进行加工时，样品会因热而发生变形。
[0003]为此，利用聚焦离子束(FIB，Focused Ion Beam)的加工成为话题，但是，通常利用聚焦离子束的加工以将离子与样品进行碰撞的物理加工作为基本，并且为了精密控制离子束，在高真空腔体内形成加工。
[0004]但是，在腔体内进行加工时，如果样品是大面积的显示面板，则腔体也必须配置适合的大面积，因此不仅设备的尺寸增大而且可加工的样品也有限制，并且向腔体内移动样品并加工后取出，因此存在需要大量的
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种利用带电粒子的样品处理装置，其为利用带电粒子在大气压下加工样品的样品处理装置，其中，包括：样品放置台，放置有样品，用于在大气压下加工所述样品；柱部，释放用于加工放置在所述样品放置台上的样品的带电粒子；柱壳体，在内部容纳有所述柱部并将从柱部释放的带电粒子向样品照射；孔隙模块，以导电性材料设置在所述柱壳体的下部，并在从所述柱部释放的带电粒子向样品照射的路径上形成孔隙；电源供给部，为了在所述孔隙模块和样品之间形成电场，向孔隙模块供给电源；以及控制部，为了调整形成在所述孔隙模块和样品之间的电场强度，控制所述电源供给部。2.根据权利要求1所述的利用带电粒子的样品处理装置，其中，为了控制从所述电源供给部供给到孔隙模块的电源调整向所述孔隙模块的带电粒子的路径，所述控制部形成正电压或者负电压。3.根据权利要求1所述的利用带电粒子的样品处理装置，其中，所述孔隙模块包括两个以上的孔隙板，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：芮世熙，李钟洙，郑流淙，
申请(专利权)人：灿美工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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