利用带电粒子的样品处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种利用带电粒子的样品处理装置，更加详细地，涉及一种为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品进行照射的路径上形成孔隙从而可提高带电粒子向样品传递的效率，并且将形成孔隙的孔隙模块以导电性材料构成并在孔隙与样品之间形成电场，通过此调整带电粒子的路径可提高加工及观察的精密度，并且通过多节孔隙板可提高利用带电粒子的加工及观察的精密度。及观察的精密度。及观察的精密度。

【技术实现步骤摘要】
利用带电粒子的样品处理装置


[0001]本专利技术涉及一种利用带电粒子加工样品的样品处理装置。更加详细地，涉及一种在利用带电粒子精密加工样品的装置中，在大气压下处理样品时，最大限度的防止带电粒子与大气中的空气粒子碰撞发生的散射，从而可进行精密加工的利用带电粒子的样品处理装置。

技术介绍

[0002]近来，由于显示器和半导体的高附着力，对样品进行精密加工的需求日益增加。因此，以利用现有的激光加工无法进行精密加工，或者受到材料的限制。这是因为激光加工基本上是由热加工对柔性基板进行加工时，样品会因热而发生变形。
[0003]为此，利用聚焦离子束(FIB，Focused Ion Beam)的加工成为话题，但是，通常利用聚焦离子束的加工以将离子与样品进行碰撞的物理加工作为基本，并且为了精密控制离子束，在高真空腔体内形成加工。
[0004]但是，在腔体内进行加工时，如果样品是大面积的显示面板，则腔体也必须配置适合的大面积，因此不仅设备的尺寸增大而且可加工的样品也有限制，并且向腔体内移动样品并加工后取出，因此存在需要大量的加工时间的缺点。
[0005]最近正在对于将样品放置在大气中进行观察的扫描电子显微镜进行研究，其也应用于精密观察显示器的特定部分以使显示器的工艺最佳化，或者应用于在大气压下分析大面积的显示器以分析异物的成分。
[0006]将样品放置在大气中进行加工时，具有可以克服作为在腔体内进行加工的缺点的样品的大小限制、为了加工形成真空所需的时间的优点，但是，由于大气的气体分子和带电粒子相碰撞并被散射，从而存在保持加工精密度具有限制，并且难以进行有效加工的问题。
[0007]大气中的空气分子和带电粒子的碰撞是密度问题，因此，不使用在真空腔体内的，而是在大气中利用带电粒子将样品加工成所需的程度，为此有必要降低大气分子的密度并增加平均自由程(Mean Free Path)，或者将与大气分子碰撞而散射(Scattered)的带电粒子再次以样品再聚焦，或者最大限度的去除散射的带电粒子，或者最大限度的去除在样品与设备之间产生反射碰撞的带电粒子。
[0008]在韩国公开专利第2014
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0027687号中公开有用于防止电子穿透膜的寿命缩短的电子穿透膜保护装置以及具备其的扫描电子显微镜，然而在韩国公开专利第2014
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0027687号中公开的扫描电子显微镜中均设置有电子穿透膜，因此具有需要对电子穿透膜进行维护的问题，而且无法阻止因样品和电子穿透膜之间的大气而发生散射和二次电子等的消失，具有难以进行精密的观察以及加工的问题。

技术实现思路

[0009]技术问题
[0010]本专利技术是为了解决如上所述的问题，提供一种样品处理装置，其为了加工样品而
产生带电粒子，在向样品照射的路径上形成孔隙，从而可以提高向样品传输带电粒子的效率，而且产生的带电粒子从物镜向样品聚焦之后到达样品之前，向导电性材料的孔隙施加电压形成电场，通过此调整带电粒子的路径从而可提高加工的精密度，向多层结构的孔隙施加电压再次聚合带电粒子的路径或者防止与样品碰撞之后的二次加工。
[0011]解决问题的技术方案
[0012]为了达成如上所述的目的，本专利技术的利用带电粒子的样品处理装置为利用带电粒子在大气压下加工样品的样品处理装置，其中，包括：样品放置台，放置有样品，用于在大气压下加工所述样品；柱部，释放用于加工放置在所述样品放置台上的样品的带电粒子；柱壳体，在内部容纳有所述柱部并将从柱部释放的带电粒子向样品照射；孔隙模块，以导电性材料设置在所述柱壳体的下部，并在从所述柱部释放的带电粒子向样品照射的路径上形成孔隙；电源供给部，为了在所述孔隙模块和样品之间形成电场，向孔隙模块供给电源；以及控制部，为了调整形成在所述孔隙模块和样品之间的电场强度，控制所述电源供给部。
[0013]另外，为了控制从所述电源供给部供给到孔隙模块的电源调整向所述孔隙模块的带电粒子的路径，所述控制部形成正电压或者负电压。
[0014]另外，所述孔隙模块包括两个以上的孔隙板，所述两个以上的孔隙板叠层形成在带电粒子的移动路径上，并且形成在离样品最远的孔隙板的孔隙的横截面被最小的形成。
[0015]另外，所述孔隙模块由三个孔隙板构成，并且在与样品最近的下部孔隙板与中央孔隙板分别施加不同的电压。
[0016]另外，在所述下部孔隙板施加负电压，在中央孔隙板施加正电压。
[0017]另外，所述中央孔隙板由两个孔隙板形成，在两个孔隙板之间插入非导电材料的隔开部件。
[0018]另外，在所述两个孔隙板中的一个施加正电压，另一个被接地连接。
[0019]另外，所述控制部根据带电粒子的特性、孔隙模块与样品之间的间隔、样品的材料控制电源部，并调整在孔隙模块形成的电场强度。
[0020]专利技术效果
[0021]如上所述结构的本专利技术在带电粒子通过的柱壳体的下部的孔隙模块施加电压，从而可以防止带电粒子向样品照射时的散射。
[0022]另外，在孔隙模块施加正电压或者负电压，从而可以防止仅在所需加工的位置形成加工，并且在不需要的位置也形成加工。
[0023]另外，以多层设置孔隙板并将上部孔隙的横截面最小地形成，从而可以将带电粒子的探针大小(Probe size)保持为所需的形状，并且在带电粒子的路径上形成多节的电场防止带电粒子的散射，可防止散射在不希望的位置的带电粒子被照射，或者加工后将周边部进行二次加工。
附图说明
[0024]图1是示出根据本专利技术的一实施例的利用带电粒子的样品处理装置的局部真空保持装置的概略图。
[0025]图2是示出本专利技术的在孔隙模块形成与带电粒子的移动方向相同方向的电场时的样品处理状态的示图。
[0026]图3是示出本专利技术的在孔隙模块形成与带电粒子的移动方向相反方向的电场时的样品处理状态的示图。
[0027]图4是示出包括本专利技术的多个孔隙板的第一实施例的样品处理状态的示图。
[0028]图5是示出包括本专利技术的多个孔隙板的第二实施例的样品处理状态的示图。
[0029](附图标记说明)
[0030]100：样品放置台；
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200：柱部；
[0031]300：柱壳体；
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400：孔隙模块；
[0032]410：孔隙；
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420、440：中央孔隙板；
[0033]430：下部孔隙板；
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450：上部孔隙板；
[0034]500：电源供给部
具体实施方式
[0035]以下参考附图详细说明根据本专利技术的样品处理装置的局部真空保持装置。
[0036]图1是示出根据本专利技术的一实施例的利用带电粒子的样品处理装置的局部真空保持装置的概略图，图2是示出本专利技术的在孔隙模块形成与带电粒子的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利用带电粒子的样品处理装置，其为利用带电粒子在大气压下加工样品的样品处理装置，其中，包括：样品放置台，放置有样品，用于在大气压下加工所述样品；柱部，释放用于加工放置在所述样品放置台上的样品的带电粒子；柱壳体，在内部容纳有所述柱部并将从柱部释放的带电粒子向样品照射；孔隙模块，以导电性材料设置在所述柱壳体的下部，并在从所述柱部释放的带电粒子向样品照射的路径上形成孔隙；电源供给部，为了在所述孔隙模块和样品之间形成电场，向孔隙模块供给电源；以及控制部，为了调整形成在所述孔隙模块和样品之间的电场强度，控制所述电源供给部。2.根据权利要求1所述的利用带电粒子的样品处理装置，其中，为了控制从所述电源供给部供给到孔隙模块的电源调整向所述孔隙模块的带电粒子的路径，所述控制部形成正电压或者负电压。3.根据权利要求1所述的利用带电粒子的样品处理装置，其中，所述孔隙模块包括两个以上的孔隙板，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：芮世熙，李钟洙，郑流淙，
申请(专利权)人：灿美工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：