一种光阑制造技术

本实用新型专利技术涉及一种光阑，包括：光阑板本体以及设置于光阑板本体上的光阑孔；光阑孔规则排列在光阑板本体上；光阑孔的孔径沿运动方向依次增大或减小设置。通过在光阑板本体上设置规则排列的光阑孔，并且光阑孔的孔径按规律依次增大或减小进行排列，从而使得不同的光阑孔可选择不同的束流强度，对不同的材料、不同的加工面积以及不同的工艺进行加工，为材料的加工提供了更多的选择，从而提高了材料加工的效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种光阑


[0001]本技术属于材料加工
，具体涉及一种光阑。

技术介绍

[0002]聚焦离子束(FIB)是用液态镓离子源作为发射源，用在微纳加工和集成电路失效分析等。在具体运用中需要对发射束流强度控制。参照图1所示的现有技术中的强度控制的原理图，离子源发射出离子后，通过聚光镜1聚焦，形成一束固定强度的平行离子束，穿过光阑2以获得相应强度的平行离子束，再经由物镜3聚焦于样品4表面，其中光阑的使用是由X、Y两个方向的电机驱动，由专用的控制电路和软件控制，从而迅速的和光阑孔对正光路的位置，以实现对样品进行加工。
[0003]然而现有技术中的光阑孔径单一，在需要不同强度的离子束时需要进行频繁的更换，从而降低了材料加工的效率。

技术实现思路

[0004]为了解决现有技术存在的光阑孔径单一、加工效率低的问题，本技术提供了一种光阑，其具有孔径选择更多、提高加工效率等特点。
[0005]本技术所采用的技术方案为：
[0006]一种光阑，包括：光阑板本体以及设置于所述光阑板本体上的光阑孔；
[0007]所述光阑孔规则排列在所述光阑板本体上；
[0008]所述光阑孔的孔径沿运动方向依次增大或减小设置。
[0009]进一步的，所述光阑板本体的两端设有固定孔。
[0010]进一步的，所述光阑孔靠近物镜一侧的开口呈喇叭形。
[0011]进一步的，所述光阑孔分两排设置于所述光阑板本体上。
[0012]进一步的，其中一排的光阑孔的数量为6个，另一排的光阑孔的数量为7个。
[0013]进一步的，每排中的所述光阑孔的间距相同。
[0014]进一步的，两排中所述光阑孔依次增大或减小的方向相同。
[0015]进一步的，所述光阑板本体由金属钼制成。
[0016]本技术的有益效果为：通过在光阑板本体上设置规则排列的光阑孔，并且光阑孔的孔径按规律依次增大或减小进行排列，从而使得不同的光阑孔可选择不同的束流强度，对不同的材料、不同的加工面积以及不同的工艺进行加工，为材料的加工提供了更多的选择，从而提高了材料加工的效率。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提
下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是现有技术中的强度控制的原理图；
[0019]图2是根据一示例性实施例提供的光阑的结构图；
[0020]图3是根据一示例性实施例提供的光阑孔的结构图。
[0021]图中1
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聚光镜；2
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光阑；3
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物镜；4
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样品；5
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光阑板本体；6
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光阑孔；61
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上半部；62
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下半部；7
‑
固定孔。
具体实施方式
[0022]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本技术所保护的范围。
[0023]参照图2所示，本技术的实施例提供了一种光阑，包括：光阑板本体5以及设置于光阑板本体上5的光阑孔6；
[0024]光阑孔6规则排列在光阑板本体5上；
[0025]光阑孔6的孔径沿运动方向依次增大或减小设置。
[0026]具体的，光阑板本体5可采用长条形状，在其上面设有规则排列的光阑孔，并且光阑孔的孔径的大小可根据需要，按照由大到小或者由小到大的顺序进行设置，并且孔径递增或递减的梯度可根据需要进行相应的设定，本技术在此不做限制。这样通过将相应的孔径光阑孔对准后，即可通过光阑孔对束流的强度进行筛选，能够有效减少更换的次数，进而提高材料加工的效率。
[0027]在具体使用时可采用由X、Y两个方向的电机驱动控制从而迅速的找到正确孔径的光阑孔对正光路的位置，以实现对不同强度离子束的切换。可以对多孔光阑结构及材质的优化以达到更清晰的离子束束斑，从而提高离子束的加工精度。
[0028]为进一步优化该技术方案，在本技术的一些具体实施例中，光阑板本体5的两端设有固定孔7。
[0029]通过在条形光阑板本体5的两端设置固定孔，配合相应的固定装置能够方便的将光阑进行固定或拆卸，方便进行维护和日常的更换。
[0030]在本技术的另一些具体实施例中，光阑孔靠近物镜一侧的开口呈喇叭形。
[0031]具体的，参照图3所示，根据实际的需要可将光阑板本体上的光阑孔6分为上半部61和下半部62两部分，在上半部即离子束入射的一侧为圆柱形形状，能够对离子束进行限流进而限制离子束的强度，起到限制离子束强度的作用。
[0032]在下半部为喇叭形开口，在离子束通过光阑孔后能够减少孔壁对离子束的散射影响，从而提高了离子束束斑的锐度，从而提高了离子束的加工的精度。
[0033]其中上半部和下半部各站光阑板本体厚度的比例以及喇叭开口的开度，本领域技术人员可根据实际的加工需要进行相应的设定，本技术在此不做限制。
[0034]在本技术的一些具体实施方式中，光阑孔分两排设置于光阑板本体上。
[0035]其中一排的光阑孔的数量为6个，另一排的光阑孔的数量为7个。
[0036]并且每排中的所述光阑孔的间距相同。
[0037]两排中光阑孔依次增大或减小的方向相同。
[0038]具体的，可采用如图2中所示的排列方式进行光阑孔的设置，其中位于板体的上部的光阑孔的数量为6个，下部的光阑孔的数量为7个，且都为从左到右孔径依次增大进行排列。
[0039]在排列方式上进行了对称的设置，这样能够在进行移动时，更容易进行光阑孔的对准。光阑孔的位置及通光孔的大小对光学系统所成像的明亮程度、清晰度和某些像差的大小有直接关系。该光阑的通光孔越小，球差越小，像越清晰，景深越大；但像的明亮程度越弱。通光孔越大，像的明亮程度越强；但球差越大，像的清晰程度越差，景深越小。
[0040]光阑孔在同一空间才能正确判断。将所有的光孔成像到第一个光孔的物空间，对轴上物点张角最小的那个光孔“像”所共轭的光孔就是孔径光阑，这个光孔“像”叫入射光瞳，这个张角叫物方孔径角。也可以把所有的光孔成像到最后一个光孔的像空间，对轴上像点张角最小的那个光孔“像”所共轭的光孔就是孔径光阑，这个光孔“像”叫出射光瞳，这个张角叫像方孔径角。因此，入射光瞳和孔径光阑关于孔阑前的光学系统共轭，孔径光阑和出射光瞳关于孔阑后的光学系统共轭，入瞳和出瞳关于整个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光阑，其特征在于，包括：光阑板本体以及设置于所述光阑板本体上的光阑孔；所述光阑孔规则排列在所述光阑板本体上；所述光阑孔的孔径沿运动方向依次增大或减小设置。2.根据权利要求1所述的光阑，其特征在于，所述光阑板本体的两端设有固定孔。3.根据权利要求1所述的光阑，其特征在于，所述光阑孔靠近物镜一侧的开口呈喇叭形。4.根据权利要求1所述的光阑，其特征在于，所述光阑孔分两排...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝占海，蔡素枝，陆梁，
申请(专利权)人：大束科技北京有限责任公司，
类型：新型
国别省市：