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本发明涉及一种利用带电粒子的样品处理装置，更加详细地，涉及一种为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品进行照射的路径上形成孔隙从而可提高带电粒子向样品传递的效率，并且将形成孔隙的孔隙模块以导电性材料构成并在孔隙与样品之间形成电场，通过此...
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