喷嘴型沉积装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及喷嘴型沉积装置，更详细地，涉及将用于沉积图案的原料按所需提供到图案沉积，并进行沉积可最小化原料的使用量，并且根据仅在需形成图案的部位供给原料，从而可进行精确的图案沉积，并且防止原料的扩散，可从根源上防止原料沉积到其他部位，利用加热气体可防止供给原料的排管及喷嘴的堵塞，并且根据以喷嘴方式供给原料，从而可简易并有效地构成沉积装置的喷嘴型沉积装置。积装置的喷嘴型沉积装置。积装置的喷嘴型沉积装置。

【技术实现步骤摘要】
喷嘴型沉积装置


[0001]本专利技术涉及为了在基板形成图案，吐出用于形成图案的原料并且照射激光进行沉积的沉积装置。更详细地，在基板形成用于各种电路配线的图案，但是，以往这些电路图案是在如化学气相沉积装置(Chemical Vapor Deposition；CVD)的大规模设备中形成，但本专利技术涉及在普通的大气环境下，在基板形成微细的电路图案的沉积装置。

技术介绍

[0002]薄膜图案形成在用于驱动含有半导体晶片并包括LCD、OLED的平板显示器的基板上，并且薄膜图案通常使用诸如CVD的大规模设备进行沉积。尤其，通常是通过利用掩膜的曝光、蚀刻、沉积固定来制造纳米级或微米级单位的微细的图案。
[0003]在包括LCD、OLED的平板显示器中，一般都是在基板沉积用于表示图像发光的构成和用于像素的开/关的配线电路，但是，形成电路图案的基板由于各种原因会出现如微细的电路的断线/短路等缺陷，并且用于修复这些缺陷的修复过程是必不可少的。对于修复工艺，需要切割或连接形成在基板上的图案。在连接图案的过程中，需要沉积微细的图案，但是，以往将形成图案的金本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴型沉积装置，用于在基板沉积图案的沉积装置中，所述喷嘴型沉积装置包括：激光模块，照射激光用于在所述基板形成图案；第一喷嘴，吐出需沉积的原料用于在所述基板沉积图案；第二喷嘴，形成在所述第一喷嘴的外框部，喷射以预定的温度加热的气体；喷嘴外壳，在内部收纳所述第一喷嘴及第二喷嘴；以及加热部，收纳在所述喷嘴外壳内部用于加热所述第一喷嘴及第二喷嘴。2.根据权利要求1所述的喷嘴型沉积装置，其中，所述第一喷嘴插入并安装在第二喷嘴的内部，从所述第二喷嘴喷出的气体沿着第一喷嘴的外框部被喷射。3.根据权利要求2所述的喷嘴型沉积装置，其中，所述第一喷嘴从第二喷嘴的末端按预定的长度被突出地设置，所述第二喷嘴从所述喷嘴外壳的末端按预定的长度被突出地设置。4.根据权利要求2所述的喷嘴型沉积装置，其中，通过所述第二喷嘴喷出的气体沿第一喷嘴的外框部被喷射，喷射至比沉积到所述基板的图案更广的预定的一定区域。5.根据权利要求1所述的喷嘴型沉积装置，其中，从所述第一喷嘴喷射的原料是包含钨、钴的金属粉末，从所述第二喷嘴喷射的气...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑流淙，都映元，张宰荣，薛捧浩，
申请(专利权)人：灿美工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：