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本发明涉及喷嘴型沉积装置，更详细地，涉及将用于沉积图案的原料按所需提供到图案沉积，并进行沉积可最小化原料的使用量，并且根据仅在需形成图案的部位供给原料，从而可进行精确的图案沉积，并且防止原料的扩散，可从根源上防止原料沉积到其他部位，利用加热...
该专利属于灿美工程股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过灿美工程股份有限公司授权不得商用。

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