一种具有双加载互锁模块的多离子源植入系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种具有双加载互锁模块的多离子源植入系统，包括有依次相连接的离子束形成模块、植入模块和加载互锁模块；加载互锁模块包括有并排设置的第一加载互锁模块和第二加载互锁模块，第一加载互锁模块和第二加载互锁模块用于交替进行平板玻璃的上载和下载；植入模块中具有一个真空机械手臂，真空机械手臂连接有伸缩机构和移动机构，真空机械手臂用于进入第一加载互锁模块和第二加载互锁模块进行取放平板玻璃以及固持平板玻璃进行移动扫描。本方案能够得到极高的有效高度的平行带状离子束，同时显著提升工艺效率，并且成本较低，便于系统控制。便于系统控制。便于系统控制。

【技术实现步骤摘要】
一种具有双加载互锁模块的多离子源植入系统


[0001]本技术属于半导体器件制造
，具体涉及一种具有双加载互锁模块的多离子源植入系统。

技术介绍

[0002]离子植入是指将离子束射向固体材料(靶片)，并最终停留在该固体材料表面或内部的处理工艺。例如在电子工业中，液晶显示屏中采用的薄膜三极管阵列基板，在生产过程中便需要对平板玻璃(或称平板玻璃)进行离子植入工艺。
[0003]目前液晶显示器中采用的平板玻璃所需的离子注入剂量大，例如为10
15
/cm2，平板玻璃的面积也较大，例如宽2200mm、长2500mm的长方形。目前的离子注入机只能做到有效高度为1500mm的符合要求离子束，大面积平板玻璃的离子注入已成为阻碍平板显示等半导体电子行业技术发展、困扰国内外企业的重要技术难题。
[0004]此外，离子植入工艺的效率及成本也面临着重大挑战，传统的单一加载互锁模块的结构方案已无法满足目前高效生产的需要，但如要增加加载互锁模块，离子植入工艺腔室的结构也需要相应修改设计，例如采用两个机械手臂分别在与加载互锁模块相对应的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有双加载互锁模块的多离子源植入系统，其特征在于，包括有依次相连接的离子束形成模块、植入模块和加载互锁模块；加载互锁模块包括有并排设置的第一加载互锁模块和第二加载互锁模块，第一加载互锁模块和第二加载互锁模块用于交替进行平板玻璃的加载和卸载；植入模块中具有一个真空机械手臂，真空机械手臂连接有伸缩机构和移动机构，真空机械手臂用于进入第一加载互锁模块和第二加载互锁模块进行取放平板玻璃以及固持平板玻璃进行移动扫描。2.如权利要求1所述的具有双加载互锁模块的多离子源植入系统，其特征在于，在植入模块的腔体内侧底部设置有平移导轨，该平移导轨滑动连接有伸缩杆，伸缩杆的另一端连接真空机械手臂；平移导轨的方向垂直于离子束行进方向，伸缩杆的长度方向平行于离子束行进方向。3.如权利要求2所述的具有双加载互锁模块的多离子源植入系统，其特征在于，平移导轨为线性模组；在植入模块的腔体外侧安装有机械手臂控制器，机械手臂控制器通过软质的控制线与平移导轨及伸缩杆相连接。4.如权利要求3所述的具有双加载互锁模块的多离子源植入系统，其特征在于，离子束形成模块及其产生的离子束均位于植入模块的腔体的一端位置，机械手臂控制器位于植入模块的腔体一侧的中部位置。5.如权利要求1
‑
4中任意一项所述的具有双加载互锁模块的多离子源植入系统，其特征在于，真空机械手臂包括有静电吸附臂固定部，静电吸附臂固定部与伸缩杆相连接，静电吸附臂固定部上设置有静电吸附臂；静电吸附臂呈L形，连接在静电吸附臂固定部远离离子束形成模块的一侧，从而在朝向离子束形成模块的一侧形成平板玻璃的放置空间。6.如权利要求5所述的具有双加载互锁模块的多离子源植入系统，其特征在于，第一加载互锁模块和第二加载互锁模块内...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈维，杨一，
申请(专利权)人：浙江鑫钰新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：