一种双加载互锁模块制造技术

本实用新型专利技术提供一种双加载互锁模块，包括并排设置的第一加载互锁模块和第二加载互锁模块，第一加载互锁模块和第二加载互锁模块的结构相同；第一加载互锁模块和第二加载互锁模块均包括有加载互锁模块腔体；在加载互锁模块腔体内设置有静电吸附载台，静电吸附载台与加载互锁模块腔体内壁通过载台升降部相连接；在静电吸附载台的两侧还设置有机械夹爪，相对的两个或两组机械夹爪共同夹持一片平板玻璃；机械夹爪通过夹爪连接杆与加载互锁模块腔体相连接，夹爪连接杆位于载台升降部的外侧。本方案工作效率高，有效减少等待时间，并且加载互锁模块腔体体积较小，加工成本相对低，且空间利用率高，同时实现对大面积平板玻璃固持及交接稳定可靠。接稳定可靠。接稳定可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种双加载互锁模块


[0001]本技术属于半导体器件制造设备
，具体涉及一种双加载互锁模块。

技术介绍

[0002]在目前的半导体设备工艺中，例如离子植入，通常需要在真空环境中进行，因此需要在工艺处理腔室前设置加载互锁模块，将待处理的材料置于其中进行抽真空，然后再将加载互锁模块与工艺处理腔室连通；工艺结束后取出材料时亦与此类似，需要加载互锁模块进行过渡中转工作。
[0003]现有的加载互锁模块例如授权公告号为CN107615446B的中国专利技术专利，其中与各处理腔室相邻配置有加载互锁模块，加载互锁模块具有闸阀和输送装置，输送装置用于向处理腔室内输入基板，以及在工艺完成后从处理腔室将基板送回加载互锁模块。
[0004]此种现有结构中，由于输送装置设置在加载互锁模块内，并需要能够输出基板至加载互锁模块外，此输送装置所需的移动距离较长，又由于加载互锁模块的两端具有闸阀，限制了输送装置占据的空间，因此会产生矛盾。尤其对于面积较大的平板玻璃作为基板时，为使其能够平稳移动，通常需要设置轨道，若将输送装置及其轨道都设置在加载互锁模块内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双加载互锁模块，其特征在于，包括并排设置的第一加载互锁模块和第二加载互锁模块，第一加载互锁模块和第二加载互锁模块的结构相同；第一加载互锁模块和第二加载互锁模块均包括有加载互锁模块腔体；在加载互锁模块腔体内设置有静电吸附载台，静电吸附载台与加载互锁模块腔体内壁通过载台升降部相连接；在静电吸附载台的两侧还设置有机械夹爪，相对的两个或两组机械夹爪共同夹持一片平板玻璃；机械夹爪通过夹爪连接杆与加载互锁模块腔体相连接，夹爪连接杆位于载台升降部的外侧。2.如权利要求1所述的双加载互锁模块，其特征在于，载台升降部的两侧通过升降导轨与加载互锁模块腔体内壁滑动连接。3.如权利要求2所述的双加载互锁模块，其特征在于，加载互锁模块腔体呈扁长方体形，机械夹爪位于加载互锁模块腔体内的上下两侧，升降导轨位于加载互锁模块腔体内的左右两侧。4.如权利要求2所述的双加载互锁模块，其特征在于，升降导轨设置于夹爪连接杆朝向载台升降部的侧面上，或者升降导轨与夹爪连接杆为...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈维，杨一，
申请(专利权)人：浙江鑫钰新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：