烘干组件及具有其的烘干设备制造技术

本申请公开了一种烘干组件及具有其的烘干设备，属于硅片烘干设备技术领域。一种烘干组件，包括：底板、通风板和调节连接件；所述底板具有多个透气孔，用于与外部的风机连通；所述通风板位于底板的进风面上方，且所述通风板与底板通过调节连接件连接，通过所述调节连接件能带动通风板朝向靠近或者远离底板的方向移动；所述通风板包括第一孔区域，所述第一孔区域设有多个通风孔，所述通风孔与透气孔连通；所述烘干组件上设置用于盛放硅片的花篮，所述花篮包括底杆，所述底杆位于所述第一孔区域的正上方。本申请可解决当前的烘干设备对花篮底杆的烘干效果差，容易导致硅片出现不良品的问题，有助于改善烘干效果，提高产品良率。提高产品良率。提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】
烘干组件及具有其的烘干设备


[0001]本申请属于硅片烘干设备
，具体涉及一种烘干组件及具有其的烘干设备。

技术介绍

[0002]在光伏、半导体领域的产品制作过程中，需要进行清洗和烘干工作，烘干工作通常都是利用烘干槽来完成的。例如，在光伏太阳能电池片的制作过程中，针对硅片的烘干，目前烘干槽的设计是内部放置固定有硅片的花篮，然后从侧面和下面对花篮进行吹风，达到对花篮及硅片的烘干效果。
[0003]相关技术中，在太阳能电池的制作过程中，对硅片烘干之前一般都会经过慢提拉步骤，这样有利于烘干处理。由于硅片本身经过慢提拉之后，表面具有的水分会减少，因此在烘干工序中会比较快的被烘干，但是花篮的底杆部分会比较难烘干；从而，在相同时间内，硅片完成了烘干，而水分在重力作用下汇集在花篮底杆底部，花篮的底杆仍具有水分未被烘干。由于目前硅片尺寸越来越大，所用烘干槽体积也越来越大，槽内单位面积的风量变的非常有限，因此即使延长一定的烘干时间花篮底杆仍然会残留一部分水滴，水滴在工序周转过程中容易弄到硅片上产生污染。也就是，花篮从槽式设备的热烘干槽取出后，花篮的底杆会带有水珠，花篮在自动化设备周转的时候，花篮底杆上的水珠会滴落在硅片上，进而容易污染硅片、导致硅片出现不良品。
[0004]因此，如何解决花篮底杆的水珠的烘干问题，减少或避免污染硅片，已成为目前亟需解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0005]鉴于存在的上述问题，本申请旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本申请提供一种烘干组件及具有其的烘干设备，可以缓解当前的烘干设备对花篮底杆的烘干效果较差，容易导致硅片出现不良品的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
[0007]本申请实施例提供了一种烘干组件，所述烘干组件包括：底板、通风板和调节连接件；
[0008]所述底板具有多个透气孔，用于与外部的风机连通；
[0009]所述通风板位于所述底板的进风面上方，且所述通风板与所述底板通过所述调节连接件连接，通过所述调节连接件能带动所述通风板朝向靠近或者远离所述底板的方向移动；
[0010]所述通风板包括第一孔区域，所述第一孔区域设有多个通风孔，所述通风孔与所述透气孔连通；
[0011]所述烘干组件上设置用于盛放硅片的花篮，所述花篮包括底杆，所述底杆位于所述第一孔区域的正上方。
[0012]根据本技术实施例的烘干组件，其包括底板、通风板和调节连接件，将其置于槽体内，且将风机位于底板下方，则将槽体内的空气通过底板的透气孔向下吸出并加热形成热风，再从槽体侧面的风道进入槽体内，从而使热风吹过硅片表面，以烘干硅片，同时烘干花篮。本申请通过在底板的进风面上方设置具有第一孔区域的通风板，使花篮的底杆位于第一孔区域的正上方，且通风孔与透气孔连通，使得热风在槽体内外循环流通以烘干硅片的同时，还可以使通风板温度升高，从而集中烘干花篮底杆，能更直接有效的将花篮底杆的水滴快速烘干；同时，为了进一步提高烘干效果及烘干效率，还设置了调节连接件，通过调节连接件连接底板和通风板，使通风板能够朝向靠近或远离底板的方向移动，也即可以使通风板的高度可调节，从而针对于不同高度或型号的花篮底杆，可以通过调节通风板的高度，使花篮底杆距离通风板更近，从而可以提高对花篮底杆的烘干效果，缩短烘干时间，提高产能。该烘干组件能够有效地将花篮底杆集聚的水珠快速烘干，提高整体烘干效果，防止花篮底杆的水珠掉落到硅片上对硅片产生污染，提高产品良率。
[0013]另外，根据本申请的烘干组件，还可以具有如下附加的技术特征：
[0014]在其中的一些实施方式中，所述通风板包括两个所述第一孔区域、以及第二孔区域，两个所述第一孔区域沿第一方向分布于所述通风板的两侧，所述第二孔区域位于两个所述第一孔区域之间，所述第二孔区域设有至少一个通孔，所述通孔的尺寸大于所述通风孔的尺寸。
[0015]在其中的一些实施方式中，所述第一孔区域设有沿第一方向分布的多排所述通风孔，每排所述通风孔均包括沿第二方向均匀分布的多个所述通风孔，所述第一方向与所述第二方向相互垂直；和/或，所述第二孔区域设有沿第二方向间隔布置的多个所述通孔，所述通孔的数量小于所述通风孔的数量。
[0016]在其中的一些实施方式中，所述通风板还包括用于与所述调节连接件连接的连接区域，所述第二孔区域的沿第二方向的两端设有所述连接区域；和/或，所述通风板的沿第一方向的两侧端部设置有翻边，所述翻边朝向所述底板的方向延伸。
[0017]在其中的一些实施方式中，所述第一孔区域的宽度大于或等于所述底杆的宽度；和/或，所述第一孔区域与所述底杆的底端之间具有间隙，所述间隙不超过10mm。
[0018]在其中的一些实施方式中，所述调节连接件包括第一连接件、第二连接件和紧固调节件；所述底板上连接有所述第一连接件，所述第二连接件设置在所述第一连接件上，且所述第二连接件与所述通风板连接，所述紧固调节件贯穿所述通风板和所述第二连接件并与所述第一连接件相连接，通过所述紧固调节件能使所述第二连接件相对所述第一连接件上下移动，进而可以调节所述通风板的高度。
[0019]在其中的一些实施方式中，所述底板的外周边缘设置有至少一个高度调节部件，用以调节所述底板和所述通风板的整体高度。
[0020]在其中的一些实施方式中，所述烘干组件还包括用于支撑所述花篮的支撑板，所述支撑板设置于所述底板的两端外侧；所述花篮还包括平行设置的第一侧板和第二侧板，以及连接于所述第一侧板和所述第二侧板之间的多个花篮侧杆，所述底杆的两端分别连接于所述第一侧板和所述第二侧板的侧壁，所述底杆位于硅片的下方，所述花篮侧杆位于所述硅片的侧端；所述第一侧板和所述第二侧板分别固定连接在所述支撑板上。
[0021]在其中的一些实施方式中，所述底板和所述通风板的材质分别为不锈钢材质；或
者，所述底板和所述通风板的材质分别为表面设有含氟涂层的金属材质。
[0022]本申请实施例还提供了一种烘干设备，其包括槽体以及如前所述的烘干组件，所述烘干组件设置于所述槽体内。
[0023]根据本技术的烘干设备包括上述实施例的烘干组件，由于根据本技术实施例的烘干组件具有上述有益效果，因此通过设置该烘干组件，可以使根据本申请实施例的烘干设备具有相应的有益效果，此处不再赘述。
[0024]本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0025]图1为本申请示例性的一些实施方式提供的烘干组件的结构示意图；
[0026]图2为本申请示例性的一些实施方式提供的烘干组件(通风板下降)的结构示意图；
[0027]图3为本申请示例性的一些实施方式提供的烘干组件(通风板升高)的结构示意图；
[0028]图4为图3中A的放大结构示意图；
[0029]图5为本申请示例性的一些实施方式提供的烘干组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烘干组件，其特征在于，所述烘干组件包括：底板、通风板和调节连接件；所述底板具有多个透气孔，用于与外部的风机连通；所述通风板位于所述底板的进风面上方，且所述通风板与所述底板通过所述调节连接件连接，通过所述调节连接件能带动所述通风板朝向靠近或者远离所述底板的方向移动；所述通风板包括第一孔区域，所述第一孔区域设有多个通风孔，所述通风孔与所述透气孔连通；所述烘干组件上设置用于盛放硅片的花篮，所述花篮包括底杆，所述底杆位于所述第一孔区域的正上方。2.根据权利要求1所述的烘干组件，其特征在于，所述通风板包括两个所述第一孔区域、以及第二孔区域，两个所述第一孔区域沿第一方向分布于所述通风板的两侧，所述第二孔区域位于两个所述第一孔区域之间，所述第二孔区域设有至少一个通孔，所述通孔的尺寸大于所述通风孔的尺寸。3.根据权利要求2所述的烘干组件，其特征在于，所述第一孔区域设有沿第一方向分布的多排所述通风孔，每排所述通风孔均包括沿第二方向均匀分布的多个所述通风孔，所述第一方向与所述第二方向相互垂直；和/或，所述第二孔区域设有沿第二方向间隔布置的多个所述通孔，所述通孔的数量小于所述通风孔的数量。4.根据权利要求2所述的烘干组件，其特征在于，所述通风板还包括用于与所述调节连接件连接的连接区域，所述第二孔区域的沿第二方向的两端设有所述连接区域；和/或，所述通风板的沿第一方向的两侧端部设置有翻边，所述翻边朝向所述底板的方向延伸。5.根据权利要求1所述的烘干组件，其特征在于，所述第一孔区域的宽度大于或等于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亮，尤小军，龚庆，裴文龙，
申请(专利权)人：江苏启威星装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：