一种LED晶圆片归盘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种LED晶圆片归盘装置，包括工作平台、卡塞、装载盘、机械臂组件和推杆；所述卡塞、装载盘和机械臂组件均设置在工作平台上，所述卡塞上表面均匀设有多个晶圆槽，所述装载盘设有多个并层叠设置；所述机械臂组件用于移动晶圆片和装载盘；所述工作平台上设有第一放置槽，所述第一放置槽设置在卡塞和装载盘之间；所述推杆水平移动且设置在工作平台上，所述推杆抵接在第一放置槽中的装载盘的侧壁。本实用新型专利技术的有益效果在于：本实用提供的LED晶圆片归盘装置可避免晶圆片在装载盘上的错误放置，提高了LED芯片生产加工的效率。LED芯片生产加工的效率。LED芯片生产加工的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种LED晶圆片归盘装置


[0001]本技术涉及LED芯片
，具体涉及一种LED晶圆片归盘装置。

技术介绍

[0002]LED(Light Emitting Diode)即发光二极管，是一种电能转化为光能的固态半导体器件。作为新型的发光器件，LED具有高光效、节能、使用寿命长、响应时间短、环保等优点，因此被称为最有潜力的新一代光源，在照明领域应用领域极为常见。
[0003]LED晶圆片又可以称为晶圆片；按照LED芯片加工的制程，工作人员需要将晶圆片放置在装载盘上的对应位置，装载盘上通常有6个放置晶圆片的槽，一旦工作人员将晶圆片放置在装载盘上的错误位置，将造成后续晶圆片的录入片源信息错误或者晶圆片的片源信息贴标错误。
[0004]现有技术中缺少避免工作人员错误放置晶圆片的装置。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是：提供一种LED晶圆片归盘装置，避免将晶圆片放置在装载盘上错误的位置。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术采用的一种技术方案为：一种LED晶圆片归盘装置，包括工作平台、卡塞、装载盘、机械臂组件和推杆；
[0007]所述卡塞、装载盘和机械臂组件均设置在工作平台上，所述卡塞上表面均匀设有多个晶圆槽，所述装载盘设有多个并层叠设置；所述机械臂组件用于移动晶圆片和装载盘；
[0008]所述工作平台上设有第一放置槽，所述第一放置槽设置在卡塞和装载盘之间；所述推杆水平移动且设置在工作平台上，所述推杆抵接在第一放置槽中的装载盘的侧壁。
[0009]进一步地，所述装载盘俯视投影为矩形，所述推杆平行并抵接于装载盘的宽边的侧壁，所述推杆的长度等于装载盘的宽度；
[0010]所述推杆的两端分别设有一个水平的限位杆，两个所述限位杆在靠近装载盘的方向上互相远离。
[0011]进一步地，所述机械臂组件包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手的固定端和第二机械手的固定端均连接工作平台，所述第一机械手的活动端连接吸盘，所述第二机械手的活动端设有夹具，所述夹具包括两个夹块，所述夹块的端部铰接于第二机械手的活动端，所述夹块上具有夹取面，两个所述夹块的夹取面随着夹块的旋转互相靠近并贴合。
[0012]进一步地，两个所述夹块表面设有橡胶层。
[0013]进一步地，所述装载盘的角部设倒圆角；所述推杆平行并抵接于装载盘的宽边的侧壁，所述推杆的长度等于装载盘的宽度；
[0014]所述推杆的两端分别设有一个水平的限位杆，两个所述限位杆平行，所述装载盘设置在两个限位杆之间，并贴附限位杆。
[0015]进一步地，所述卡塞与工作平台可拆卸连接，所述工作平台上设有第二放置槽，所述卡塞设置在第二放置槽中。
[0016]本技术的有益效果在于：本技术提供的LED晶圆片归盘装置中，晶圆片放置在卡塞中，所述机械臂组件可驱动晶圆片或装载盘移动；正常情况下，机械臂组件取下层叠的多个装载盘中的一个装载盘将其放置在放置槽中，随后将晶圆片放置在装载盘上的对应位置，因为机械臂组件可以设置固定的动作，使晶圆片和装载盘的移动路径固定，因此避免了晶圆片在装载盘上的放置位置错误。
[0017]但由于层叠的装载盘使人工手动方式在工作平台上的，每一批层叠的装载盘放置位置可能会变化，同一批层叠的装载盘也难以保证整齐的竖直层叠，因此造成非正常情况，非正常情况下装载盘在第一放置槽中的放置位置将不规范，因此设置推杆，所述推杆移动，将装载盘推动使装载盘抵接第一放置槽的一槽壁，使每次装载盘在第一放置槽中的放置位置较为规范，进而使晶圆片在装载盘上的放置位置更为准确。
[0018]所述第一放置槽设置在卡塞和装载盘之间，减小了晶圆片和装载盘的移动距离，提高了晶圆片的装载效率。
[0019]故本实用提供的LED晶圆片归盘装置可避免晶圆片在装载盘上的错误放置，提高了LED芯片生产加工的效率。
附图说明
[0020]图1为本技术具体实施方式的一种LED晶圆片归盘装置的整体结构示意图；
[0021]图2为本技术具体实施方式的一种LED晶圆片归盘装置的整体结构示意图；
[0022]标号说明：
[0023]1、工作平台；2、卡塞；3、装载盘；
[0024]4、机械臂组件；41、第一机械手；42、第二机械手；43、夹具；
[0025]5、推杆；6、限位杆。
具体实施方式
[0026]为详细说明本技术的
技术实现思路
、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
[0027]请参照图1
‑
2，一种LED晶圆片归盘装置，包括工作平台1、卡塞2、装载盘3、机械臂组件4和推杆5；
[0028]所述卡塞2、装载盘3和机械臂组件4均设置在工作平台1上，所述卡塞2上表面均匀设有多个晶圆槽，所述装载盘3设有多个并层叠设置；所述机械臂组件4用于移动晶圆片和装载盘3；
[0029]所述工作平台1上设有第一放置槽，所述第一放置槽设置在卡塞2和装载盘3之间；所述推杆5水平移动且设置在工作平台1上，所述推杆5抵接在第一放置槽中的装载盘3的侧壁。
[0030]由上描述可知，本技术的有益效果在于：本技术提供的LED晶圆片归盘装置中，晶圆片放置在卡塞2中，所述机械臂组件4可驱动晶圆片或装载盘3移动；正常情况下，机械臂组件4取下层叠的多个装载盘3中的一个装载盘3将其放置在放置槽中，随后将晶圆
片放置在装载盘3上的对应位置，因为机械臂组件4可以设置固定的动作，使晶圆片和装载盘3的移动路径固定，因此避免了晶圆片在装载盘3上的放置位置错误。
[0031]但由于层叠的装载盘3使人工手动方式在工作平台1上的，每一批层叠的装载盘3放置位置可能会变化，同一批层叠的装载盘3也难以保证整齐的竖直层叠，因此造成非正常情况，非正常情况下装载盘3在第一放置槽中的放置位置将不规范，因此设置推杆5，所述推杆5移动，将装载盘3推动使装载盘3抵接第一放置槽的一槽壁，使每次装载盘3在第一放置槽中的放置位置较为规范，进而使晶圆片在装载盘3上的放置位置更为准确。
[0032]所述第一放置槽设置在卡塞2和装载盘3之间，减小了晶圆片和装载盘3的移动距离，提高了晶圆片的装载效率。
[0033]故本实用提供的LED晶圆片归盘装置可避免晶圆片在装载盘3上的错误放置，提高了LED芯片生产加工的效率。
[0034]进一步地，所述装载盘3俯视投影为矩形，所述推杆5平行并抵接于装载盘3的宽边的侧壁，所述推杆5的长度等于装载盘3的宽度；
[0035]所述推杆5的两端分别设有一个水平的限位杆6，两个所述限位杆6在靠近装载盘3的方向上互相远离。
[0036]由上描述可知，单独一个推杆5仅能规范装载盘3长度方向的位置，故而设置两个限位杆6，使装载盘3宽度方向的位置被规范。
[0037]两个所述限位杆6远离推杆5的端部距离较大，使装载盘3容易进入两个限位杆6之本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED晶圆片归盘装置，其特征在于，包括工作平台、卡塞、装载盘、机械臂组件和推杆；所述卡塞、装载盘和机械臂组件均设置在工作平台上，所述卡塞上表面均匀设有多个晶圆槽，所述装载盘设有多个并层叠设置；所述机械臂组件用于移动晶圆片和装载盘；所述工作平台上设有第一放置槽，所述第一放置槽设置在卡塞和装载盘之间；所述推杆水平移动且设置在工作平台上，所述推杆抵接在第一放置槽中的装载盘的侧壁。2.根据权利要求1所述的LED晶圆片归盘装置，其特征在于，所述装载盘俯视投影为矩形，所述推杆平行并抵接于装载盘的宽边的侧壁，所述推杆的长度等于装载盘的宽度；所述推杆的两端分别设有一个水平的限位杆，两个所述限位杆在靠近装载盘的方向上互相远离。3.根据权利要求1所述的LED晶圆片归盘装置，其特征在于，所述机械臂组件包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手的固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄章挺，郑高林，黄自培，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：