一种LED晶圆片归盘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种LED晶圆片归盘装置，包括工作平台、卡塞、装载盘、机械臂组件和推杆；所述卡塞、装载盘和机械臂组件均设置在工作平台上，所述卡塞上表面均匀设有多个晶圆槽，所述装载盘设有多个并层叠设置；所述机械臂组件用于移动晶圆片和装载盘；所述工作平台上设有第一放置槽，所述第一放置槽设置在卡塞和装载盘之间；所述推杆水平移动且设置在工作平台上，所述推杆抵接在第一放置槽中的装载盘的侧壁。本实用新型专利技术的有益效果在于：本实用提供的LED晶圆片归盘装置可避免晶圆片在装载盘上的错误放置，提高了LED芯片生产加工的效率。LED芯片生产加工的效率。LED芯片生产加工的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种LED晶圆片归盘装置


[0001]本技术涉及LED芯片
，具体涉及一种LED晶圆片归盘装置。

技术介绍

[0002]LED(Light Emitting Diode)即发光二极管，是一种电能转化为光能的固态半导体器件。作为新型的发光器件，LED具有高光效、节能、使用寿命长、响应时间短、环保等优点，因此被称为最有潜力的新一代光源，在照明领域应用领域极为常见。
[0003]LED晶圆片又可以称为晶圆片；按照LED芯片加工的制程，工作人员需要将晶圆片放置在装载盘上的对应位置，装载盘上通常有6个放置晶圆片的槽，一旦工作人员将晶圆片放置在装载盘上的错误位置，将造成后续晶圆片的录入片源信息错误或者晶圆片的片源信息贴标错误。
[0004]现有技术中缺少避免工作人员错误放置晶圆片的装置。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题是：提供一种LED晶圆片归盘装置，避免将晶圆片放置在装载盘上错误的位置。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术采用的一种技术方案为：一种LED晶圆片归盘装置，包括工作平台、卡塞本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED晶圆片归盘装置，其特征在于，包括工作平台、卡塞、装载盘、机械臂组件和推杆；所述卡塞、装载盘和机械臂组件均设置在工作平台上，所述卡塞上表面均匀设有多个晶圆槽，所述装载盘设有多个并层叠设置；所述机械臂组件用于移动晶圆片和装载盘；所述工作平台上设有第一放置槽，所述第一放置槽设置在卡塞和装载盘之间；所述推杆水平移动且设置在工作平台上，所述推杆抵接在第一放置槽中的装载盘的侧壁。2.根据权利要求1所述的LED晶圆片归盘装置，其特征在于，所述装载盘俯视投影为矩形，所述推杆平行并抵接于装载盘的宽边的侧壁，所述推杆的长度等于装载盘的宽度；所述推杆的两端分别设有一个水平的限位杆，两个所述限位杆在靠近装载盘的方向上互相远离。3.根据权利要求1所述的LED晶圆片归盘装置，其特征在于，所述机械臂组件包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手的固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄章挺，郑高林，黄自培，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：