温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及LED芯片技术领域，具体涉及一种LED晶圆片归盘装置，包括工作平台、卡塞、装载盘、机械臂组件和推杆；所述卡塞、装载盘和机械臂组件均设置在工作平台上，所述卡塞上表面均匀设有多个晶圆槽，所述装载盘设有多个并层叠设置；所述机械臂组件...
该专利属于福建兆元光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建兆元光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。