机械手制造技术

本发明专利技术提供机械手，即使盒的搁板与搁板的距离小，机械手也能够不碎裂地吸引保持晶片而出入。机械手(6)是板状的机械手，其安装于机器人(1)，并且在吸附面(60)上具有对呈穹顶状弯曲的晶片(90)的凸球面进行吸引保持的吸引口(62)，其中，该机械手具有：安装部(61)，其配置于后端，向机器人安装；以及第1吸引部(64)和第2吸引部(65)，第1、第2吸引部作为机械手的前端侧，按照成为两股的方式形成，配置有对晶片进行吸引的吸引口(62)，第1吸引部(64)和第2吸引部(65)交替地形成有多个缝(640)(缝(650))，以使得第1、第2吸引部能够沿着晶片的凸球面像手指那样屈曲。指那样屈曲。指那样屈曲。

【技术实现步骤摘要】
机械手


[0001]本专利技术涉及对晶片进行保持的板状的机械手。

技术介绍

[0002]在将穹顶状翘曲的晶片利用机械手进行吸引保持而从盒中搬出时，使用专利文献1所公开的具有吸盘的机械手。为了利用这样的包含吸盘的整体厚度厚的机械手搬出收纳于盒中的晶片，使盒的载置晶片的搁板与搁板的距离增大。因此，存在如下的问题：能够收纳于盒中的晶片的张数减少，更换盒的频率增多。
[0003]为了消除这样的问题，例如如专利文献2所公开的那样，使用具有对晶片的外周部分进行吸引保持的吸盘的机械手，以便能够搬出收纳于搁板与搁板的距离小的盒中的晶片。
[0004]专利文献1：日本特开2020
‑
202324号公报
[0005]专利文献2：日本特开2017
‑
045784号公报
[0006]但是，在专利文献2所公开的机械手中，在晶片薄的情况下，存在所保持的晶片会碎裂的问题。

技术实现思路

[0007]因此，谋求一种即使盒的搁板与搁板的距离小也能够使晶片不碎裂地出入的机械手。
[0008本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手，其是板状的机械手，安装于机器人，并且在吸附面上具有对呈穹顶状弯曲的晶片的凸球面进行吸引保持的吸引口，其中，该机械手具有：安装部，其配置于后端，向该机器人安装；以及第1吸引部和第2吸引部，该第1吸引部和该...

【专利技术属性】
技术研发人员：中塚敦，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：