机械手制造技术

本发明专利技术提供机械手，即使盒的搁板与搁板的距离小，机械手也能够不碎裂地吸引保持晶片而出入。机械手(6)是板状的机械手，其安装于机器人(1)，并且在吸附面(60)上具有对呈穹顶状弯曲的晶片(90)的凸球面进行吸引保持的吸引口(62)，其中，该机械手具有：安装部(61)，其配置于后端，向机器人安装；以及第1吸引部(64)和第2吸引部(65)，第1、第2吸引部作为机械手的前端侧，按照成为两股的方式形成，配置有对晶片进行吸引的吸引口(62)，第1吸引部(64)和第2吸引部(65)交替地形成有多个缝(640)(缝(650))，以使得第1、第2吸引部能够沿着晶片的凸球面像手指那样屈曲。指那样屈曲。指那样屈曲。

【技术实现步骤摘要】
机械手


[0001]本专利技术涉及对晶片进行保持的板状的机械手。

技术介绍

[0002]在将穹顶状翘曲的晶片利用机械手进行吸引保持而从盒中搬出时，使用专利文献1所公开的具有吸盘的机械手。为了利用这样的包含吸盘的整体厚度厚的机械手搬出收纳于盒中的晶片，使盒的载置晶片的搁板与搁板的距离增大。因此，存在如下的问题：能够收纳于盒中的晶片的张数减少，更换盒的频率增多。
[0003]为了消除这样的问题，例如如专利文献2所公开的那样，使用具有对晶片的外周部分进行吸引保持的吸盘的机械手，以便能够搬出收纳于搁板与搁板的距离小的盒中的晶片。
[0004]专利文献1：日本特开2020
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202324号公报
[0005]专利文献2：日本特开2017
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045784号公报
[0006]但是，在专利文献2所公开的机械手中，在晶片薄的情况下，存在所保持的晶片会碎裂的问题。

技术实现思路

[0007]因此，谋求一种即使盒的搁板与搁板的距离小也能够使晶片不碎裂地出入的机械手。
[0008]用于解决上述课题的本专利技术是机械手，其是板状的机械手，安装于机器人，并且在吸附面上具有对呈穹顶状弯曲的晶片的凸球面进行吸引保持的吸引口，其中，该机械手具有：安装部，其配置于后端，向该机器人安装；以及第1吸引部和第2吸引部，该第1吸引部和该第2吸引部作为机械手的前端侧按照成为两股的方式形成，配置有对该晶片进行吸引的该吸引口，该第1吸引部和该第2吸引部交替地形成有多个缝，以使得该第1吸引部和该第2吸引部能够沿着该晶片的该凸球面像手指那样屈曲。
[0009]本专利技术的机械手是不具有吸盘等且厚度薄的板状的机械手，因此能够进入至载置于搁板与搁板的距离小的盒的该搁板的晶片的上方，使进入至盒内的机械手例如下降，由此机械手使交替形成的多个缝的宽度扩展，能够按照使吸附面沿着晶片的穹顶状的凸球面效仿的方式与晶片接触。并且，例如配置于机械手的晶片识别传感器进行动作，若晶片识别传感器接通，则使机械手的吸引口与吸引源连通，由此能够在没有真空泄漏的情况下适当地吸引保持呈穹顶状弯曲的晶片。另外，在对呈穹顶状弯曲的晶片进行例如进行了磨削之后，变薄的晶片的弯曲消失。机械手也能够吸引保持该弯曲消失的变薄的晶片，能够将加工后的晶片没有碎裂地搬入至对未弯曲的晶片进行收纳的盒中。
附图说明
[0010]图1是示出收纳晶片的盒和具有本专利技术的机械手的机器人的一例的立体图。
[0011]图2是对收纳于盒中的具有穹顶状的弯曲的晶片进行说明的剖视图。
[0012]图3是示出使吸附面朝向上侧的状态的机械手的一例的立体图。
[0013]图4是示出机械手为了与呈穹顶状弯曲的晶片的凸球面即上表面(背面)接触而下降的状态的侧视图。
[0014]图5是示出机械手沿着晶片的凸球面像手指那样屈曲而效仿并接触呈穹顶状弯曲的晶片的凸球面即上表面的状态的侧视图。
[0015]图6是示出机械手沿着晶片的凸球面像手指那样屈曲而效仿并接触呈穹顶状弯曲的晶片的凸球面即上表面的状态的平面图。
[0016]图7是对机械手吸引保持着磨削后的平坦的晶片的状态进行说明的侧视图。
[0017]标号说明
[0018]1：机器人；3：驱动部；30：机械手连结柱；31：第1臂；32：第2臂；34：机械手水平移动机构；35：升降机构；36：主轴；37：壳体；38：支托；4：盒；44：盒的开口；45：搁板部；6：机械手；60：吸附面；61：安装部；62：吸引口；623：内部吸引路；64：第1吸引部；640：缝；65：第2吸引部；650：缝；66：刚性部；660：安装用凹部；67：晶片检测传感器；671：投光部；672：受光部；673：传感器壳体；69：吸引源；692：外部配管；90：呈穹顶状弯曲的晶片；900：晶片的正面；903：晶片的外周缘；906：晶片的凸球面即背面。
具体实施方式
[0019]图1所示的机器人1是用于将例如收纳于盒4中的呈穹顶状弯曲的晶片90从盒4中搬出或载置于未图示的卡盘工作台、定心工作台或搬入至盒4中的机器人，机器人1具有本专利技术的机械手6，例如配设于未图示的磨削装置、研磨装置或刀具切削装置上。
[0020]图1所示的盒4例如具有底板40、顶板41、后壁42、左右的两个侧壁43以及前方侧(+Y方向侧)的开口44，构成为能够从开口44搬入搬出晶片90。在盒4的内部沿上下方向隔开规定的间隔而形成有多个搁板部45，在搁板部45中能够各收纳一张晶片90。另外，盒4的结构并不限于本例。
[0021]图1、图2所示的俯视圆形状的晶片90例如是硅晶片等，从晶片90的中心朝向外周缘903而逐渐翘曲，由此呈穹顶状弯曲。即，该穹顶状的弯曲是指例如使正面900朝向下侧而将晶片90载置于盒4的搁板部45时晶片90的正面900从其中央侧的区域朝向外周侧的区域逐渐降低那样的弯曲。并且，晶片90的外周缘903与盒4的搁板部45接触，晶片90以凸球面即背面906朝向上侧的状态载置于搁板部45。
[0022]作为呈穹顶状弯曲的晶片90的一例，形成有未图示的器件等的正面900被进行了树脂密封，该穹顶状的弯曲例如主要是由于树脂密封时凝固的树脂的收缩力等而产生的。
[0023]图1所示的机器人1是多关节机器人，具有使机械手6移动至规定位置的驱动部3。驱动部3例如具有：长条板状的第1臂31；长条板状的第2臂32；沿Z轴方向延伸的机械手连结柱30；使机械手6在水平方向上移动的机械手水平移动机构34；以及简化示出的升降机构35。
[0024]在机械手连结柱30的下端连结有第1臂31的一端的上表面。在第1臂31的另一端的下表面经由未图示的旋转轴等而连结有第2臂32的一端的上表面。第2臂32的另一端的下表面侧经由臂驱动电动机340而与升降机构35连结。
[0025]升降机构35例如是电动气缸等，在Z轴方向上使机械手6升降。机械手水平移动机构34是由配设于第1臂31和第2臂32内的未图示的环形带、未图示的带轮和臂驱动电动机340等构成的带轮机构等。另外，机器人1整体能够通过未图示的电动机所产生的旋转力以Z轴为轴而在水平面内(X轴Y轴平面内)旋转。另外，通过臂驱动电动机340产生的旋转力，能够一边使第1臂31和第2臂32在水平面内按照相互交叉或呈直线状排列的方式移动，一边使机械手6在水平面内直动。
[0026]在机械手连结柱30的上端侧固定有壳体37，该壳体37将具有在图1中与铅垂方向(Z轴方向)垂直的X轴方向的轴心的主轴36支承为能够旋转。例如在壳体37的内部收纳有使主轴36旋转驱动的未图示的电动机。
[0027]主轴36的前端侧从壳体37向
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X方向突出，在该前端侧配设有安装机械手6的后端侧的支托38。随着未图示的电动机使主轴36旋转，借助支托38而与主轴36连接的机械手6进行旋转，使机械手6的吸附面60和机械手6的吸附面60的反面上下翻转。
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手，其是板状的机械手，安装于机器人，并且在吸附面上具有对呈穹顶状弯曲的晶片的凸球面进行吸引保持的吸引口，其中，该机械手具有：安装部，其配置于后端，向该机器人安装；以及第1吸引部和第2吸引部，该第1吸引部和该...

【专利技术属性】
技术研发人员：中塚敦，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：